JPS6296670A

JPS6296670A - 真空蒸着装置

Info

Publication number: JPS6296670A
Application number: JP23581985A
Authority: JP
Inventors: Takaaki Kato; 高明加藤
Original assignee: Nisshin Koki Co Ltd
Current assignee: Nippon Steel Texeng Co Ltd
Priority date: 1985-10-22
Filing date: 1985-10-22
Publication date: 1987-05-06

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は真空蒸着装置に係り、特に被蒸着物に金属を蒸
発させて被着させるための真空蒸着装置に関する。

（従来の技術）第２図は従来の真空蒸着装置の縦断面図であり、符号ｌ
は、真空チャンバを示している。この真空チャンバｌの
内部中心部分には、２つの電極２゜２が対向して配設さ
れ、これら各電極２，２の間には、蒸着用アルミニウム
３を蒸発させるタングステンワイヤを２．３本より合わ
せてなるフィラメント状の蒸発源４がボルト等により固
定されており、各電極２，２は真空チャンバｌ外部の蒸
発電源５に接続されている。また、真空チャンバ１の内
部周囲には、内歯歯車により構成された公転用リング６
が回転自在に配置されており、この公転用リング６の上
部には、例えばガラス板やプラスチック板等の被蒸着物
７を支持固定する支持台８が取付けられている。公転用
リング６には、公転用ギヤ９が噛み合わされ、この公転
用ギヤ９には、真空チャンバ１の外部に設けられたカッ
プリングｌＯを介してギアードモータ１１に接続されて
おり、このギアードモータ１１の駆動により公転用リン
グ６を回転させるようになされている。さらに、前記真
空チャンバｌの下面には、真空ポンプ等の真空排気系統
に接続される排気口１２が設けられている。

このような装置においては、排気口１２から真空排気を
行ない真空チャンバ１内を真空した後、蒸発電源５をオ
ンして蒸発源４を加熱する。そして、この蒸発源４の加
熱により蒸着用アルミニウム３を蒸発させて、被蒸着物
７の表面に蒸着させることによりミラーが形成される。

このとき、蒸発したアルミニウム３はあらゆる方向へ飛
散されるが。

電極２方向はこの電極２がじゃまとなり、膜厚が薄くな
ってしまうため、ギアードモータ１１を駆動して公転用
リング６上の被蒸着物７を回転させ均一な膜厚分布を得
るようにしている。

（発明が解決しようとする問題点）前記の従来の装置の場合、真空チャンバ１内を油清浄に
保つため、潤滑オイルを用いたボールベアリングやギア
を使用することができず、そのため、ベアリングやギア
を大気中で使うものよりラフで、かつ大きい物が使用さ
れている。これにより、公転用リング６は円滑に回転す
るが、回転に伴なう振動が発生してしまうという問題を
有している。

そして、このような振動は被蒸着物７の全面に蒸着する
場合には、大きな問題とならないが、例えば蒸着マスク
を用いて所定のパターンのみを蒸着しようとする場合に
、蒸着マスクが上記振動により微動してしまい、蒸着さ
れたパターンににじみが生じてしまうという問題点があ
った。

（問題点を解決するための手段）本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、被蒸着物に
対する振動を除去し、にじみのないパターンの蒸着を行
なうことのできる真空蒸着装置を提供することを目的と
するものである。

本発明は、真空チャンバの内部中央部に対向電極を設け
るとともに前記各電極の間に蒸着物を蒸発させる蒸発源
を接続し、前記電極への通電により上記蒸発源を加熱し
て前記蒸着物を蒸発飛散させ、前記真空チャンバ内の被
蒸着物に被着させる真空蒸着装置において、前記電極に
回転駆動装置を接続して前記電極を回転自在に形成し、
前記被蒸着物を固定支持し前記電極を回転させながら蒸
着を行なうようにしたものである。

（作用・効果）本発明によれば、被蒸着物の振動が確実に除去され、し
かも、電極を回転させることにより均一な膜厚分布を得
ることができる。したがって、蒸着摩マスクを用いて所
望パターンの蒸着を行なう場合でも、にじみのない蒸着
を行なうことが可能となる。

（実施例）第１図は本発明の一実施例を示したもので、各電極２，
２の下方は、真空チャンバ１の外部に延びる電極台１３
により支持され、各電極２，２の下端には、ｌ！極置台
１３真空チャンバｌより外側部分の外周に周設された集
電用回転電極１４．１４が接続されている。これら各回
転電極１４．１４の外周には。

電極ブラシ１５．１５が接触され、この電極ブラシ１５
゜１５にそれぞれ接続された蒸発電源１６により各電極
２．２へ交流５Ｖ、２００Ａ程度の電力を供給するよう
になされている。また、電極台１３の下端部には、カッ
プリング１７を介してギアードモータ１８が接続され、
電極台１３および各電極２，２を回転自在に形成してい
る。

また、真空チャンバ１の内部周辺部には、支持台８が取
付けられた固定リング１９が配設されている。

本実施例においては、真空チャンバ１内を真空排気した
後、蒸発電源１６をオンにして電極ブラシ１５および回
転電極１４を介して各電極２，２に通電する一方、ギア
ードモータ１８を駆動して電極台１３および各電極２，
２を回転させる。そして、前記通電により蒸発源４が加
熱され、ワイヤ状の蒸着用アルミニウム３を蒸発飛散さ
せることにより、支持台８上に固定された被蒸着物７の
蒸着を行なうものである。このとき、ギアードモータ１
８による電極２の回転は、蒸発源４に掛止された蒸着用
アルミニウム３が落下しないように、約２０〜４０ｒ、
ｐ、ｍの低い回転数が行なわれる。

また、本実施例においては、被蒸着物７の表面には蒸着
マスク２０が密着しており、この蒸着マスク２０は第３
図に示すように、約２８０ｍｍ　Ｘ　２３０ｍｍの大き
さを有し２幅０．５ｍｍ、長さ２７０ｍｍのスリット２
１が０．５１ピツチで形成されており、厚さは０．１〜
０．１２ｍｕｍのステンレス製である。この蒸着マスク
２０を用いることにより被蒸着物７の表面の上記スリッ
ト２１該当位置に蒸着が行なわれる。このように細かい
パターンの蒸着を行なうと、従来の装置ではスリット２
１とスリット２１の間のブリッジ部２２が振動してパタ
ーンかにじんでしまうが、本実施例においては、被蒸着
物７が固定されているので、振動が発生せず、かつ電極
２が回転して均一な膜厚を得ることができることにより
、所定のパターンに従って確実な蒸着を行なうことがで
きる。

なお、多数の被蒸着物を処理するには、固定リング１９
上に多数の支持台を設けるようにすればよく、また、被
蒸着物が大きい場合には、被蒸着物を真空チャンバの一
方に寄せて配置し電極を偏心して配置するようにすれば
よい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係る真空蒸着装置の縦断面図
、第２図は従来の真空蒸着装置を示す縦断面図、第３図
は第１図で使用された蒸着マスクの平面図である。１・・・・真空チャンバ、２・・・・電極、４・・・・
蒸発源、７・・・・被、蒸着物、１８・・・・ギアード
モータ。

Claims

【特許請求の範囲】

真空チャンバの内部中央部に対向電極を設けるとともに
前記各電極の間に蒸着物を蒸発させる蒸発源を接続し、
前記電極への通電により上記蒸発源を加熱して前記蒸着
物を蒸発飛散させ、前記真空チャンバ内の被蒸着物に被
着させる真空蒸着装置において、前記電極に回転駆動装
置を接続して前記電極を回転自在に形成し、前記被蒸着
物を固定支持し前記電極を回転させながら蒸着を行なう
ようにしたことを特徴とする真空蒸着装置。