JP5793737B1 - 蒸着装置 - Google Patents
蒸着装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5793737B1 JP5793737B1 JP2014142082A JP2014142082A JP5793737B1 JP 5793737 B1 JP5793737 B1 JP 5793737B1 JP 2014142082 A JP2014142082 A JP 2014142082A JP 2014142082 A JP2014142082 A JP 2014142082A JP 5793737 B1 JP5793737 B1 JP 5793737B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dome
- tray
- rotating plate
- rotation axis
- rail
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 title claims abstract description 62
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 42
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
歯車1020の単位時間当たりの回転数
=歯車1015の単位時間当たりの回転数×歯車1015の歯数/歯車1020の歯数
したがって、回転板1010が所定の単位時間当たりの回転数で回転すると、トレイ1035が以下の単位時間当たりの回転数で回転する。
トレイ1035の単位時間当たりの回転数
=回転板1010の単位時間当たりの回転数×歯車1015の歯数/歯車1020の歯数
b1−b0=b0−b2=8.6(ミリメータ)
上記の距離は、水平枠部材153の、基準位置から右方向及び左方向へのx軸方向の移動距離に相当する。
+θ=β−α (1)
−θ=γ−α (2)
角度+θ及び−θを揺動角度と呼称する。さらに、図8の断面において、傾斜軸1027から、回転板1010がレール1530と接触する点までの距離をaで表すと、以下の関係が成立する。
sinα=b0/a (3)
sinβ=b1/a (4)
sinγ=b2/a (5)
このように、式(3)乃至式(5)から揺動角度を求めることができる。
sinα=b0/a=14.59/47.33
sinβ=b1/a=(14.59+8.6)/47.33
sinγ=b2/a=(14.59−8.6)/47.33
α=17°56’
β=29°21’
γ=7°18’
上記の値を式(1)及び式(2)に代入すると以下の値が得られる。
+θ=β−α= 11°25’
−θ=γ−α=−10°38’
sinα=b0/a=19.22/47.43
sinβ=b1/a=(19.22+8.6)/47.43
sinγ=b2/a=(19.22−8.6)/47.43
α=23°53’
β=35°57’
γ=12°57’
上記の値を式(1)及び式(2)に代入すると以下の値が得られる。
+θ=β−α= 12°04’
−θ=γ−α=−10°56’
sinα=b0/a=23.65/47.52
sinβ=b1/a=(23.65+8.6)/47.52
sinγ=b2/a=(23.65−8.6)/47.52
α=29°52’
β=42°46’
γ=18°29’
上記の値を式(1)及び式(2)に代入すると以下の値が得られる。
+θ=β−α= 12°54’
−θ=γ−α=−11°23’
sinα=b0/a=25.0/47.9
sinβ=b1/a=(25.0+8.6)/47.9
sinγ=b2/a=(25.0−8.6)/47.9
α=31°28’
β=44°30’
γ=20°00’
上記の値を式(1)及び式(2)に代入すると以下の値が得られる。
+θ=β−α= 13°02’
−θ=γ−α=−11°28’
DA=60×(60/36)×(100/10)=1000(ミリメータ)
DB=60×(54/40)×(100/10)=810(ミリメータ)
DC=60×(48/49)×(100/10)=588(ミリメータ)
DD=60×(35/57)×(100/10)=368(ミリメータ)
Claims (7)
- 蒸着源と、
前記蒸着源を覆い、回転可能なドームと、
前記蒸着源及び前記ドームを取り囲むチャンバーと、
回転板と、取付部材と、を備え、前記取付部材によって前記ドームの面に設置されたトレイ保持具であって、前記回転板が自身の回転軸の周りに回転すると、保持されたトレイが自身の回転軸の周りに回転するように構成されたトレイ保持具と、
前記ドームの外側において前記チャンバーに結合された枠部と、
前記ドームの回転軸を囲んで前記ドームの外側の面に沿って配置されるように、前記枠部に固定されたレールと、を備え、
前記レールの周囲と前記回転板の周囲とが接触するように配置され、前記ドームが回転すると、前記レールによって前記回転板が自身の回転軸の周りに回転し、前記トレイ保持具に保持されたトレイが自身の回転軸の周りに回転するように構成され、
前記トレイ保持具は、前記取付部材によって、前記ドームに回転可能に取り付けられた傾斜軸の周りに傾斜することができるように取り付けられ、前記レールは、前記ドームに対して、少なくとも一つの方向に移動することができるように構成され、前記レールが移動した結果、前記トレイ保持具が前記傾斜軸の周りに傾斜し、前記トレイ保持具に保持されたトレイ及び前記回転板の回転軸が傾斜するように構成された蒸着装置。 - 前記傾斜軸が、前記ドームの回転方向に配置された請求項1に記載の蒸着装置。
- 前記枠部が前記チャンバーに結合された第1の枠部と、前記レールを固定する第2の枠部と、を備え、前記第2の枠部が前記第1の枠部に対して移動することにより、前記レールが、前記ドームに対して、少なくとも一つの方向に移動することができるように構成された請求項1または2に記載の蒸着装置。
- 蒸着源と、
前記蒸着源を覆い、回転可能なドームと、
前記蒸着源及び前記ドームを取り囲むチャンバーと、
回転板と、取付部材と、を備え、前記取付部材によって前記ドームの面に設置されたトレイ保持具であって、前記回転板が自身の回転軸の周りに回転すると、保持されたトレイが自身の回転軸の周りに回転するように構成されたトレイ保持具と、
前記ドームの外側において前記チャンバーに結合された枠部と、
前記ドームの回転軸を囲んで前記ドームの外側の面に沿って配置されるように、前記枠部に固定されたレールと、を備え、
前記レールの周囲と前記回転板の周囲とが接触するように配置され、前記ドームが回転すると、前記レールによって前記回転板が自身の回転軸の周りに回転し、前記トレイ保持具に保持されたトレイが自身の回転軸の周りに回転するように構成され、
前記回転板の回転軸と前記トレイ保持具に保持されたトレイの回転軸とが歯車を介して結合された蒸着装置。 - 蒸着源と、
前記蒸着源を覆い、回転可能なドームと、
前記蒸着源及び前記ドームを取り囲むチャンバーと、
回転板と、取付部材と、を備え、前記取付部材によって前記ドームの面に設置されたトレイ保持具であって、前記回転板が自身の回転軸の周りに回転すると、保持されたトレイが自身の回転軸の周りに回転するように構成されたトレイ保持具と、
前記ドームの外側において前記チャンバーに結合された枠部と、
前記ドームの回転軸を囲んで前記ドームの外側の面に沿って配置されるように、前記枠部に固定された複数のレールと、を備え、
前記複数のレールのうちのいずれかのレールの周囲と前記回転板の周囲とが接触するように配置され、前記ドームが回転すると、前記複数のレールによって前記回転板が自身の回転軸の周りに回転し、前記トレイ保持具に保持されたトレイが自身の回転軸の周りに回転するように構成された蒸着装置。 - 異なるレールに接する複数のトレイが、前記ドームが回転することにより、自身の回転軸の周りに同じ回転速度で回転するように構成された請求項5に記載の蒸着装置。
- 請求項1から6のいずれかの蒸着装置に使用されるトレイ保持具であって、前記回転板は、前記取付部材に回転可能に取り付けられた回転軸に取り付けられ、前記取付部材は、蒸着装置のドームに回転可能に取り付けられた傾斜軸の周りに傾斜することができるように構成され、前記回転板が前記回転軸の周りに回転すると、保持されたトレイが自身の回転軸の周りに回転し、前記回転板が移動すると、前記取付部材が前記傾斜軸の周りに傾斜し、保持されたトレイが傾斜するように構成されたトレイ保持具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014142082A JP5793737B1 (ja) | 2014-07-10 | 2014-07-10 | 蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014142082A JP5793737B1 (ja) | 2014-07-10 | 2014-07-10 | 蒸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5793737B1 true JP5793737B1 (ja) | 2015-10-14 |
JP2016017219A JP2016017219A (ja) | 2016-02-01 |
Family
ID=54330165
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014142082A Active JP5793737B1 (ja) | 2014-07-10 | 2014-07-10 | 蒸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5793737B1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6019310B1 (ja) * | 2015-04-16 | 2016-11-02 | ナルックス株式会社 | 蒸着装置及び蒸着装置による成膜工程を含む製造方法 |
CN115928022A (zh) * | 2022-12-12 | 2023-04-07 | 江苏宜兴德融科技有限公司 | 一种蒸镀设备、镀锅装置及镀膜方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6772315B2 (ja) * | 2019-02-14 | 2020-10-21 | Towa株式会社 | 成膜品の製造方法及びスパッタリング装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62270768A (ja) * | 1986-05-16 | 1987-11-25 | Hitachi Ltd | 真空成膜装置 |
JPH0311056U (ja) * | 1989-06-16 | 1991-02-01 | ||
JPH04329869A (ja) * | 1991-04-30 | 1992-11-18 | Sony Corp | 蒸着装置及び蒸着方法 |
JP2006111952A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Olympus Corp | 成膜装置 |
-
2014
- 2014-07-10 JP JP2014142082A patent/JP5793737B1/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62270768A (ja) * | 1986-05-16 | 1987-11-25 | Hitachi Ltd | 真空成膜装置 |
JPH0311056U (ja) * | 1989-06-16 | 1991-02-01 | ||
JPH04329869A (ja) * | 1991-04-30 | 1992-11-18 | Sony Corp | 蒸着装置及び蒸着方法 |
JP2006111952A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Olympus Corp | 成膜装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6019310B1 (ja) * | 2015-04-16 | 2016-11-02 | ナルックス株式会社 | 蒸着装置及び蒸着装置による成膜工程を含む製造方法 |
US10507488B2 (en) * | 2015-04-16 | 2019-12-17 | Nalux Co., Ltd. | Deposition apparatus and manufacturing process including film forming step by deposition apparatus |
CN115928022A (zh) * | 2022-12-12 | 2023-04-07 | 江苏宜兴德融科技有限公司 | 一种蒸镀设备、镀锅装置及镀膜方法 |
CN115928022B (zh) * | 2022-12-12 | 2024-05-10 | 江苏宜兴德融科技有限公司 | 一种蒸镀设备、镀锅装置及镀膜方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016017219A (ja) | 2016-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5793737B1 (ja) | 蒸着装置 | |
JP2004269988A5 (ja) | ||
JP6761449B2 (ja) | コーティング膜の製造方法およびコーティング膜を有するオプトエレクトロニクス半導体部品 | |
JP4509943B2 (ja) | グラジエント式光学薄膜形成装置及びその治具 | |
JP2010261100A (ja) | 蒸着装置 | |
CN104379803B (zh) | 用于将涂层施加到球形构件上的方法及工作台组件 | |
CN105051247A (zh) | Pvd处理装置以及pvd处理方法 | |
US10794530B2 (en) | Rotating module | |
TWI607823B (zh) | 浮動式加工平台、浮動式加工系統及浮動式加工方法 | |
KR102454629B1 (ko) | 자동 조정 밸런스 스테이지 | |
JP6019310B1 (ja) | 蒸着装置及び蒸着装置による成膜工程を含む製造方法 | |
JP2009079276A (ja) | 真空蒸着装置 | |
JP5620039B2 (ja) | 少なくとも1つのシステム絞りを備えた光学結像装置 | |
CN209312738U (zh) | 晶片对准装置 | |
CN105690291A (zh) | 固定装置 | |
JP2015026072A (ja) | マイクロレンズアレイを有する拡散板 | |
JP5005205B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
JP2018043444A (ja) | 金型の製造方法およびマイクロレンズアレイの製造方法 | |
US20070002445A1 (en) | Non-planar optical diffraction grating having an arbitrary parallel groove profile | |
JP6635492B1 (ja) | 基板回転装置 | |
JP6526841B2 (ja) | 波動歯車装置およびアクチュエータ | |
JP7133455B2 (ja) | パラレルリンク機構 | |
JP2006111952A (ja) | 成膜装置 | |
CN106239258A (zh) | 一种蜗杆凸轮分度机构 | |
JP2006312765A (ja) | 真空蒸着装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150602 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5793737 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |