JP6573476B2 - アライメント調節装置 - Google Patents

Description

本発明は、焦点面アセンブリのためのアライメント調節装置に関する。このアライメント調節装置は焦点面アセンブリに組込むのに適した装置であり、その焦点面アセンブリは検出面を有するデテクタを備えており、また、その焦点面アセンブリは焦点面を有する光学アセンブリに搭載されるアセンブリである。このアライメント調節装置は、デテクタの検出面と光学アセンブリの焦点面との間のアライメントを取るための装置である。

光学機器の光検出用デテクタにはアライメント調節装置が用いられている。光学機器の光検出用デテクタでは、光路の長さをミクロン単位の精度で調節する必要がある。その調節を行うためのアライメント調節装置は、焦点面アセンブリに、任意の移動方向へ所与の距離だけ移動させる調節、及び／または、任意の回転軸心の周りに所与の角度だけ回転させる調節を施すことができる。従来のアライメント調節方法では、その調節のために、複数の精密ストッパないし複数のウェッジ・リングを交換する必要があった。それら精密ストッパやウェッジ・リングは、指定寸法の通りに製作されていなければならない。また、それら精密ストッパやウェッジ・リングは、折々に手入れをする必要があり、新品への更新が必要なこともある。更に、光路の長さの変更、及び／または、回転角度の変更を行う際には、複数の精密ストッパないし複数のウェッジ・リングを交換しなければならない。それらのうちの１個でも交換したならば、交換以前に調節されて設定されていた、そのアライメント調節装置の様々な部材の角度などを再び調節し直さねばならない。そのため、アライメントを取る作業が、複雑で時間のかかる作業となっていた。

本発明の目的は、任意の軸心方向の位置ないし任意の軸心周りの回転角度についてのアライメントを取る作業を容易にした、焦点面アセンブリのためのアライメント調節装置を提供することにある。

上記目的は請求項１に記載した特徴を備えたアライメント調節装置により達成される。従属請求項は好適な実施の形態に係る特徴を記載したものである。

本発明によれば、焦点面アセンブリのためのアライメント調節装置が提供される。前記焦点面アセンブリは検出面を有するデテクタを備えており、また、前記焦点面アセンブリは焦点面を有する光学アセンブリに搭載されるアセンブリである。該アライメント調節装置は、前記焦点面と、画像領域である前記検出面との間のアライメントを取るための装置である。該アライメント調節装置は、前記デテクタが取付けられるデテクタ支持要素と、複数の部材とを備えている。前記複数の部材のうちの第１部材は前記デテクタ支持要素に連結されており、前記複数の部材のうちの第２部材は、前記光学アセンブリに連結されるフランジに連結されている。前記第１部材と、前記第２部材と、前記複数の部材のうちの残りの部材とは、２つずつの部材が組を成して、それら２つの部材が複数のバネ及び／または複数の支持要素を介して互いに可動に連結されている。前記複数のバネ及び／または前記複数の支持要素は、所与の座標系の複数の座標軸の夫々の座標軸方向の移動、及び／または、前記所与の座標系の前記複数の座標軸の夫々の座標軸周りの回転を許容するように構成されている。前記所与の座標系は例えば３本の座標軸が互いに直交した直交座標系などである。

本発明に係るアライメント調節装置に用いられている複数のバネないし複数の支持要素は、ただ１つの方向（座標軸方向）の移動だけを、ないしは、ただ１つの座標軸の座標軸周りの回転だけを許容するものである。複数のバネは、特定の調節操作を行うことによって伸張させることができる。調節操作が完了したならば、それらバネを固定する。それらバネを固定する際に、調節した状態が変化することがないようにしてある。こうすることで、各々の自由度（各々の座標軸の座標軸周りの回転、及び、各々の座標軸の座標軸方向の移動）を、個別に調節することが可能となっている。複数のバネ及び複数の支持要素が用いられていることにより、移動量では１ミクロンの精度で、また角度では５秒の精度で任意の方向の調節を行うことが可能となっている。更に、個々の調節操作を任意の順序で行うことが可能となっている。

前記焦点面と前記検出面との間のアライメントを取るために、前記焦点面アセンブリを前記光学アセンブリから取外す必要はない。更に、このアライメント調節装置では、任意の軸方向の位置調節ないし任意の軸周りの回転調節が必要な場合に、このアライメント調節装置を分解することなくそれらの調節を行うことができる。

前記焦点面と前記検出面との間のアライメントを取るための調節は、手動で行うこともでき、一般的な簡単な工具を用いて行うようにしてもよい。

好適な１つの実施の形態によれば、前記複数のバネは、前記複数の座標軸のうちのただ１つの座標軸の座標軸周りの回転だけを許容するように構成されている。更なる実施の形態によれば、前記複数の支持要素は、前記複数の座標軸のうちのただ１つの座標軸の座標軸方向の移動だけを許容し、及び／または、前記複数の座標軸のうちのただ１つの座標軸の座標軸周りの回転だけを許容するように構成されている。これらの構成によれば、個々の調節操作を任意の順序で実施することができる。更に、任意の座標軸の座標軸周りの回転調節と、任意の座標軸の座標軸方向の移動調節とを、個別に行うことができる。

更なる好適な実施の形態によれば、前記複数の部材のうちの前記残りの部材の各々は、前記複数の部材のうちの、他の２つの部材にのみ連結されている。従って、前記複数の部材のうちの、前記デテクタ支持要素に連結されている前記第１部材は、前記複数の部材のうちの前記残りの部材のうちの１つにも連結されている。このことは、前記複数の部材が、２つずつの部材が組を成して、それら２つの部材が互いに可動に連結されているという特徴からの必然的帰結である。同様に、前記複数の部材のうちの、前記フランジに連結されている前記第２部材は、前記複数の部材のうちの前記残りの部材のうちの１つにも連結されている。

更なる実施の形態によれば、前記複数の部材のうちには、複数本の脱着可能な止めネジを介して前記フランジに連結された、前記第２部材である中間リングと、前記中間リングに固定連結された、略々円筒形の形状を有するアウター・フレームと、前記アウター・フレームと同軸心的に配設された、略々円筒形の形状を有するインナー・フレームと、前記インナー・フレームに連結された第１フレキシブル・ジョイントと、前記第１部材である第２フレキシブル・ジョイントとが含まれている。

第１座標軸は、互いに同軸心的に配設されている前記インナー・フレーム及び前記アウター・フレームの中心線である。前記アウター・フレームは、前記フランジに対して相対的に、前記第１座標軸の座標軸周りに所定角度だけ回転させることができる。前記第１座標軸の座標軸周りに回転させる調節が完了したならば、前記脱着可能な止めネジを前記フランジに締結する。

更なる実施の形態によれば、前記調節機構の各々は、スプリング・プランジャと、前記中間リングの調節バーに作用を及ぼす第１マイクロメータ・スクリューとを備えている。前記調節バーは前記中間リングに一体形成したものとすることができる。

更なる実施の形態によれば、前記調節機構は前記フランジに取付けられており、前記調節機構は前記止めネジによる締結がなされている状態で前記フランジから取外し可能である。ただし、前記調節機構を取外しても、前記複数の部材が回転してしまうことはない。

更なる好適な実施の形態によれば、前記インナー・フレームは等間隔に配設された３つの調節手段を介して前記アウター・フレームに連結されており、それら調節手段によって、それら調節手段のうちの調節操作される調節手段の個数と調節操作量とに応じて、前記インナー・フレーム、前記第１フレキシブル・ジョイント、及び前記第２フレキシブル・ジョイントの、前記第１座標軸の座標軸方向の位置、第２座標軸の座標軸周りの回転角度、及び第３座標軸の座標軸周りの回転角度の調節が可能とされている。

前記３つの調節手段は各々が第３フレキシブル・ジョイントと、第２マイクロメータ・スクリューと、取付部材とを備えているようにするとよく、前記インナー・フレームは前記取付部材に連結されているようにするとよく、前記第３フレキシブル・ジョイントは前記第２マイクロメータ・スクリューによって調節可能であるようにするとよい。前記第１座標軸の座標軸方向の移動は、前記３つの調節手段を互いに同期させて操作することにより達成させることができる。前記第２座標軸の座標軸周りの回転、及び前記第３座標軸の座標軸周りの回転角度を達成させるには、前記３つの調節手段を、即ちそれら調節手段のマイクロメータ・スクリューを、個別に回転させるようにすればよい。

更なる好適な実施の形態によれば、前記第１座標軸の座標軸方向の位置、前記第２座標軸の座標軸周りの回転角度、及び前記第３座標軸の座標軸周りの回転角度についてアライメントが取れたならば、前記３つの調節手段の夫々に対応した止めネジを締結することによって、そのアライメントが取れた状態に固定できるようにしてある。また、前記３つの調節手段は、前記アウター・フレームに取付けられており、アライメントが取れた状態に固定する止めネジを締結したままで、それら調節手段の夫々の前記第２マイクロメータ・スクリューを取外せるようにしてある。この場合も、３つの第２マイクロメータ・スクリューを取外すことによって、前記第１座標軸の座標軸方向の位置、前記第２座標軸の座標軸周りの回転角度、及び前記第３座標軸の座標軸周りの回転角度が変化してしまうことはない。

更なる好適な実施の形態によれば、前記第１フレキシブル・ジョイントは前記インナー・フレームに連結されており、該第１フレキシブル・ジョイントに対応した第３マイクロメータ・スクリューを操作することで、前記第２座標軸の座標軸方向の移動を達成させるようにしてある。更に、前記第２フレキシブル・ジョイントは前記第１フレキシブル・ジョイントに連結されており、該第２フレキシブル・ジョイントに対応した第４マイクロメータ・スクリューを操作することで、前記第３座標軸の座標軸方向の移動が達成されるようにしてある。前記第１フレキシブル・ジョイント及び前記第２フレキシブル・ジョイントを個別に操作することによって、所与の調節位置への移動を達成させることができる。

前記第３マイクロメータ・スクリュー及び／または前記第４マイクロメータ・スクリューは、アライメントが取れた状態に固定した後にそれらマイクロメータ・スクリューに対応した止めネジの締結を解除することにより取外し可能であるようにするとよい。

該アライメント調節装置の前記デテクタ支持要素の位置に関しては、前記デテクタ支持要素が、前記第２フレキシブル・ジョイントの中心近傍に取付けられているようにするとよい。そうすることで、前記デテクタを、前記第１座標軸及び前記第３座標軸により規定される平面に関して、並びに、前記第１座標軸及び前記第２座標軸により規定される平面に関して、対称的に位置させることができる。

以下に添付図面を参照しつつ、本発明について更に詳細に説明する。尚、同一ないし対応する参照符号は、同一ないし対応する部材を示すものである。

本発明に係るアライメント調節装置の斜視図である。 図１のアライメント調節装置の分解斜視図である。 検出器の側から見たアライメント調節装置の平面図である。 図３のＩＶ−ＩＶ線に沿ったアライメント調節装置の断面側面図である。 背面側から見たアライメント調節装置の平面図である。 図５のアライメント調節装置の側面図である。 ２つのフレキシブル・ジョイントを示した斜視図であり、一方のフレキシブル・ジョイントはデテクタ支持要素に連結されている。

図１〜図７は、本発明に係るアライメント調節装置が組込まれた焦点面アセンブリを、様々な図によって示したものである。この焦点面アセンブリは光学アセンブリに搭載されているが、ただしその光学アセンブリは図に示していない。更に、例えば、断熱材、光学バッフル、放射線遮蔽材、等々の、アライメントとは無関係な部材も図に示していない。以下に説明するアライメント調節装置は、デテクタの検出面（画像領域）のアライメントを取るための装置である。このアライメント調節装置によれば、直交座標系における任意の座標軸の座標軸方向の移動量に関するアライメントを１ミクロンより良好な精度で取ることができ、また、直交座標系における任意の座標軸の座標軸周りの角度に関するアライメントを５秒より良好な精度で取ることができる。

以下の説明から明らかとなるように、このアライメント調節装置は、不図示の光学アセンブリにフランジ１を取付けたままで、即ち光学アセンブリに連結したままで、アライメントを取る作業を実行することができ、また、アライメント調節装置の構成部品も、光学アセンブリの構成部品も、一切交換することなくアライメントを取れるように構成されている。

このアライメント調節装置は、デテクタ２（図３参照）の画像領域の位置及び回転角度を調節するための装置である。デテクタ２の画像領域は、図７に示したｘｙ平面内に、または、そのｘｙ平面に平行な平面内に存在しており、その位置及び回転角度は６つの自由度を有し、このアライメント調節装置はそれら６つの自由度の全てについて調節を行うことができる。それら６つの自由度は、図１、図３、及び図７に示した直交座標系におけるｘ軸方向、ｙ軸方向、及びｚ軸方向の移動に関する３つの自由度、及び、ｘ軸周り、ｙ軸周り、及びｚ軸周りの回転角度に関する３つの自由度である。このアライメント調節装置は、それら６つの自由度の各々についての調節を個別に、また、任意の順序で行うことができる。

図１〜図７に示したアライメント調節装置は、前述のフランジ１が光学アセンブリに連結されることによって、この装置が光学アセンブリに連結されるように構成されている。その連結は、複数本の取付ボルト３によりなされている。図２及び図４から明らかなように、それら複数本の取付ボルト３は、略々円形のフランジ１の外周に沿って等間隔で配置されている。それら取付ボルト３によってフランジ１は光学アセンブリに固定される。

デテクタ支持要素２３（図７参照）の位置及び回転角度（従ってデテクタ２の位置及び回転角度）の調節を、６つの自由度の各々について個別に行えるようにするために、このアライメント調節装置は、調節のための複数の部材を備えている。

それら複数の部材のうちには、フランジ１に連結された中間リング８が含まれる。中間リング８とフランジ１との連結は、複数本の脱着可能な止めネジ９によりなされている。それら止めネジ９は図１及び図２に示されている。

また、上記複数の部材のうちには、中間リング８に固定連結されたアウター・フレーム４が含まれる。図１、図２、図３、及び図５から明らかなように、アウター・フレーム４は略々円筒形の形状を有する。

また、上記複数の部材のうちには、更なる部材として、アウター・フレーム４と同軸心的に配設されたインナー・フレーム１２が含まれる。アウター・フレーム４と同じく、このインナー・フレーム１２も、略々円筒形の形状を有する。インナー・フレーム１２とアウター・フレーム４とは、等間隔で配設された複数の調節手段を介して連結されており、それら調節手段によって、インナー・フレーム１２に対して（従って、このインナー・フレーム１２に連結されているその他の部材に対しても）調節が施される。それら複数の調節手段は、後に更に詳細に説明するように、ｚ軸方向の位置の調節と、ｘ軸周りの回転角度の調節と、ｙ軸周りの回転角度の調節とを行うためのものである。

更に加えて、上記複数の部材のうちには、前述の更なる部材として、第１フレキシブル・ジョイント１３と、第２フレキシブル・ジョイント１５とが含まれる。第１フレキシブル・ジョイント１３はインナー・フレーム１２に連結されている（図５参照）。第２フレキシブル・ジョイント１５は第１フレキシブル・ジョイント１３に連結されている。また、第２フレキシブル・ジョイント１５には、デテクタ支持要素２３を連結できるようにしてある。これらのことは図３及び図７から明らかである。

ｚ軸周りの回転角度のアライメントの調節は、中間リング８に締結されているアウター・フレーム４をフランジ１に対して相対的に回転させることによって行う。それには、先ず、取付ボルト３は締結したままで、止めネジ９の方の締結を解除する。そして、ｚ軸周りの回転を発生させるために、中間リング８の外周縁を接線方向に移動させるための調節を行う。中間リング８は、複数の板バネ１１（図１及び図２参照）によってセンタリングされており、それら板バネ１１は、ｚ軸周りの回転というただ１つの自由度をだけを提供している。ｚ軸周りの回転角度のアライメントが取れたならば、トルクレンチを用いて止めネジ９を締結することにより、そのアライメントが取れた状態に固定する。

中間リング８の外周縁を接線方向に移動させるには、フランジ１の外周縁に沿って等間隔で配設されている３つの調節機構を操作する。それら調節機構は、各々が、スプリング・プランジャ１８と、中間リング８の調節バー１９に作用を及ぼすマイクロメータ・スクリュー２０とを備えている。調節バー１９は中間リング８に一体的に形成されている。調節機構のスプリング・プランジャ１８がフランジ１に組付けられることによって、調節機構がフランジ１に組付けられている。調節機構はフランジ１から取外すことができ、アラインメントが取れたならば、止めネジ９を締結した上で、調節機構をフランジ１から取外すようにする。３つの調節機構のマイクロメータ・スクリュー２０を操作することによって、それら調節機構のマイクロメータ・スクリュー２０とスプリング・プランジャ１８とが協働して力を発生し、その力によって、中間リング８の外周縁が接線方向に移動させられるのである。

ｚ軸方向の位置の調節と、ｘ軸周りの回転角度の調節と、ｙ軸周りの回転角度の調節とは、等間隔で配設された前述の３つの調節手段を操作することによって行う。それら３つの調節手段は各々がマイクロメータ・スクリュー６を備えている（図１、図２、図４、及び図６参照）。ｚ軸方向の移動を達成させるには、それら３つの調節手段のマイクロメータ・スクリュー６を互いに同期させて操作するようにし、一方、ｘ軸周りの回転ないしｙ軸周りの回転を発生させるには、それら３つのマイクロメータ・スクリュー６を個別に操作するようにする。それら３つのマイクロメータ・スクリュー６は、３つのフレキシブル・ジョイント５を夫々に伸張させており、それら３つのフレキシブル・ジョイント５は、夫々に対応する取付部材７を介してインナー・フレーム１２に連結されている。それらフレキシブル・ジョイント５及び取付部材７は、上記調節手段を構成する部材であり、それらは図１、図２、及び図４に示されている。

フレキシブル・ジョイント５は、取付部材７のｚ軸方向の移動量が、この取付部材７に組合わされたマイクロメータ・スクリュー６により生じる移動量の半分の大きさになるように構成されている。また、複数個の取付部材７は、インナー・フレーム１２をセンタリングされた状態に維持し、且つ、インナー・フレーム１２のｚ軸周りの回転を阻止するように構成されている。マイクロメータ・スクリュー６を操作してアライメントの調節を行ったならば、トルクレンチを用いて図１、図２、及び図４に示した止めネジ１０を締結することによって、そのアライメントが取れた状態に固定する。

マイクロメータ・スクリュー６は取外し可能に構成されており、アライメントが取れた状態に固定した後に、止めネジ１７（図１及び図２参照）の締結を解除することにより、そのアライメントが取れた状態を乱すことなく取外すことができる。

ｘ軸方向の位置及びｙ軸方向の位置に関するアライメントの調節は、図２、図３、及び図７に示したマイクロメータ・スクリュー２１及び２２を操作することによって行う。それらマイクロメータ・スクリュー２１及び２２は、夫々に対応したフレキシブル・ジョイント１３及び１５を伸張させている。図７から明らかなように、マイクロメータ・スクリュー２１はフレキシブル・ジョイント１３に組合わされており、一方、マイクロメータ・スクリュー２２はフレキシブル・ジョイント１５に組合わされている。同じく図７から明らかなように、デテクタ支持要素２３は、取付部材２５を介してフレキシブル・ジョイント１５に取付けられている。また、これも図７から明らかなように、２つのフレキシブル・ジョイント１３及び１５を互いに連結している連結構造によって、マイクロメータ・スクリュー２２を操作したならば、フレキシブル・ジョイント１５がフレキシブル・ジョイント１３に対して相対的にｙ軸方向に移動するようにされている。一方、フレキシブル・ジョイント１３とインナー・フレーム１２とを互いに連結している連結構造によって、マイクロメータ・スクリュー２１を操作したならば、フレキシブル・ジョイント１５がフレキシブル・ジョイント１３に対して相対的にｘ軸方向に移動するようにされている。

フレキシブル・ジョイント１３及び１５は、デテクタ支持要素２３がそれらフレキシブル・ジョイントに取付けられている取付箇所のｘ軸方向及びｙ軸方向の移動量が、マイクロメータ・スクリュー２１及び２２により生じる移動量の半分の大きさになるように構成されている。マイクロメータ・スクリュー２１及び２２を操作してアライメントの調節を行ったならば、トルクレンチを用いて図２に示した止めネジ１４及び１６を締結することにより、そのアラインメントが取れた状態に固定する。

マイクロメータ・スクリュー２１及び２２は取外し可能に構成されており、アライメントが取られた状態に固定した後に、図２及び図７に示した止めネジ２４の締結を解除することによって取外すようにすればよい。容易に理解されるように、止めネジ２４の締結を解除することでアライメントが取れた状態が乱されることはない。

デテクタ２（図３参照）を取付けるための部材であるデテクタ支持要素２３は、フレキシブル・ジョイント１５の中心近傍に取付けられており、そのように取付けるために図７に示した取付部材２５が用いられている。

１ フランジ
２ デテクタ
３ 取付ボルト
４ アウター・フレーム
５ フレキシブル・ジョイント（ｚ軸方向の移動、ｘ軸周りの回転、ｙ軸周りの回転）
６ マイクロメータ・スクリュー（ｚ軸方向の移動、ｘ軸周りの回転、ｙ軸周りの回転）
７ 取付部材
８ 中間リング
９ 止めネジ（ｚ軸周りの回転）
１０ 止めネジ（ｚ軸方向の移動、ｘ軸周りの回転、ｙ軸周りの回転）
１１ 板バネ
１２ インナー・フレーム
１３ フレキシブル・ジョイント（ｘ軸方向の移動）
１４ 止めネジ（ｘ軸方向の移動）
１５ フレキシブル・ジョイント（ｙ軸方向の移動）
１６ 止めネジ（ｙ軸方向の移動）
１７ 止めネジ
１８ スプリング・プランジャ
１９ 調節バー
２０ マイクロメータ・スクリュー（ｚ軸方向の移動）
２１ マイクロメータ・スクリュー（ｘ軸方向の移動）
２２ マイクロメータ・スクリュー（ｙ軸方向の移動）
２３ デテクタ支持要素
２４ 止めネジ
２５ 取付部材
２６ 止めネジ

Claims (16)

1. 焦点面アセンブリのためのアライメント調節装置において、前記焦点面アセンブリは検出面を有するデテクタ（２）を備えており、前記焦点面アセンブリは焦点面を有する光学アセンブリに搭載されるアセンブリであり、該アライメント調節装置は、画像領域である前記検出面と前記焦点面との間のアライメントを取るための装置であり、
   該アライメント調節装置は、前記デテクタ（２）が取付けられるデテクタ支持要素（２３）を備えており、
   該アライメント調節装置は、複数の部材（１５、１３、１２、４、８）を備えており、前記複数の部材のうちの第１部材（１５）は前記デテクタ支持要素（２３）に連結されており、前記複数の部材のうちの第２部材（８）は、前記光学アセンブリに連結されるフランジ（１）に連結されており、
   前記第１部材（１５）と、前記第２部材（８）と、前記複数の部材のうちの残りの部材とは、２つずつの部材が組を成して、それら２つの部材が複数のバネ（１１）及び／または複数の支持要素（５、７）を介して互いに可動に連結されており、前記複数のバネ（１１）及び／または前記複数の支持要素（５、７）は、所与の座標系の複数の座標軸（ｘ、ｙ、ｚ）の夫々の座標軸方向の移動、及び／または、前記所与の座標系の前記複数の座標軸（ｘ、ｙ、ｚ）の夫々の座標軸周りの回転を許容するように構成され、
   前記複数の部材（１５、１３、１２、４、８）のうちには、
   複数本の脱着可能な止めネジ（９）を介して前記フランジ（１）に連結された、前記第２部材である中間リング（８）と、
   前記中間リング（８）に固定連結された、略々円筒形の形状を有するアウター・フレーム（４）と、
   前記アウター・フレーム（４）と同軸心的に配設された、略々円筒形の形状を有するインナー・フレーム（１２）と、
   前記インナー・フレーム（１２）に連結された第１フレキシブル・ジョイント（１３）と、
   前記第１部材である第２フレキシブル・ジョイント（１５）と、
   が含まれていることを特徴とするアライメント調節装置。
2. 前記複数のバネ（１１）は、前記複数の座標軸のうちのただ１つの座標軸の座標軸周りの回転だけを許容するように構成されていることを特徴とする請求項１記載のアライメント調節装置。
3. 前記複数の支持要素（５、７）は、前記複数の座標軸のうちのただ１つの座標軸の座標軸方向の移動だけを許容し、及び／または、前記複数の座標軸のうちのただ１つの座標軸の座標軸周りの回転だけを許容するように構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のアライメント調節装置。
4. 前記複数の部材（１５、１３、１２、４、８）のうちの前記残りの部材の各々は、前記複数の部材（１５、１３、１２、４、８）のうちの、他の２つの部材にのみ連結されていることを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか１項記載のアライメント調節装置。
5. 前記複数本の止めネジ（９）による締結を解除し、１つまたは２つ以上の調節機構（１８、１９、２０）によって前記中間リング（８）の外周縁を接線方向に移動させる調節を行うことで、前記複数の部材（１５、１３、１２、４、８）を前記フランジ（１）に対して相対的に、第１座標軸（ｚ）の座標軸周りに回転させるようにしてあることを特徴とする請求項１記載のアライメント調節装置。
6. 前記調節機構（１８、１９、２０）の各々は、スプリング・プランジャ（１８）と、前記中間リング（８）の調節バー（１９）に作用を及ぼす第１マイクロメータ・スクリュー（２０）とを備えていることを特徴とする請求項５記載のアライメント調節装置。
7. 前記調節機構（１８、１９、２０）は前記フランジ（１）に取付けられており、前記調節機構（１８、１９、２０）は前記止めネジ（９）による締結がなされている状態で前記フランジ（１）から取外し可能であることを特徴とする請求項５又は請求項６記載のアライメント調節装置。
8. 前記インナー・フレーム（１２）は等間隔に配設された３つの調節手段（５、６、７）を介して前記アウター・フレーム（４）に連結されており、それら調節手段によって、前記インナー・フレーム（１２）、前記第１フレキシブル・ジョイント（１３）、及び前記第２フレキシブル・ジョイント（１５）の、前記第１座標軸（ｚ）の座標軸方向の位置、第２座標軸（ｘ）の座標軸周りの回転角度、及び第３座標軸（ｙ）の座標軸周りの回転角度の調節が可能とされていることを特徴とする請求項５〜請求項７の何れか１項記載のアライメント調節装置。
9. 前記３つの調節手段（５、６、７）は各々が第３フレキシブル・ジョイント（５）と、第２マイクロメータ・スクリュー（６）と、取付部材（７）とを備えており、前記インナー・フレーム（１２）は前記取付部材（７）に連結されており、前記第３フレキシブル・ジョイント（５）は前記第２マイクロメータ・スクリュー（６）によって調節可能であることを特徴とする請求項８記載のアライメント調節装置。
10. 前記第２マイクロメータ・スクリュー（６）が前記第３フレキシブル・ジョイント（５）を伸張させるように構成されていることを特徴とする請求項９記載のアライメント調節装置。
11. 前記３つの調節手段（５、６、７）によって調節されたアラインメント状態が、それら調節手段に対応した止めネジ（１０）によって固定されることを特徴とする請求項８〜請求項１０の何れか１項記載のアライメント調節装置。
12. 前記３つの調節手段（５、６、７）は前記アウター・フレーム（４）に取付けられており、それら調節手段の夫々の前記第２マイクロメータ・スクリュー（６）は、前記止めネジ（１０）が締結された状態で前記アウター・フレーム（４）から取外し可能であることを特徴とする請求項９または請求項１０に記載のアライメント調節装置。
13. 前記第１フレキシブル・ジョイント（１３）は前記インナー・フレーム（１２）に連結されており、該第１フレキシブル・ジョイント（１３）に対応した第３マイクロメータ・スクリュー（２１）を操作することで、前記第２座標軸（ｘ）の座標軸方向の移動が達成されるようにしてあることを特徴とする請求項８〜請求項１２の何れか１項記載のアライメント調節装置。
14. 前記第２フレキシブル・ジョイント（１５）は前記第１フレキシブル・ジョイント（１３）に連結されており、該第２フレキシブル・ジョイント（１５）に対応した第４マイクロメータ・スクリュー（２２）を操作することで、前記第３座標軸（ｙ）の座標軸方向の移動が達成されるようにしてあることを特徴とする請求項８〜請求項１３の何れか１項記載のアライメント調節装置。
15. 前記第３マイクロメータ・スクリュー（２１）及び／または前記第４マイクロメータ・スクリュー（２２）は、アライメントが取れた状態に固定した後にそれらマイクロメータ・スクリュー（２１、２２）に対応した止めネジ（２４）の締結を解除することにより取外し可能であることを特徴とする請求項１３を引用する請求項１４記載のアライメント調節装置。
16. 前記デテクタ支持要素（２３）は、前記第２フレキシブル・ジョイント（１５）の中心近傍に取付けられていることを特徴とする請求項１〜請求項１５の何れか１項記載のアライメント調節装置。