JP2015215615A - アライメント調節装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】焦点面アセンブリは光学アセンブリに搭載され、またデテクタを備えている。該アライメント調節装置は、デテクタが取付けられるデテクタ支持要素23と、複数の部材15、13、8、等とを備えている。第1部材15は前記デテクタ支持要素23に連結されており、第2部材8は、前記光学アセンブリに連結されるフランジ1に連結されている。第1部材15と、第2部材8と、複数の部材のうちの残りの部材とは、2つずつの部材が組を成して、それら2つの部材が複数のバネ及び/または複数の支持要素5、等を介して互いに可動に連結されている。複数のバネ及び/または前記複数の支持要素5、等は、所与の座標系の複数の座標軸の夫々の座標軸方向の移動、及び/または、夫々の座標軸周りの回転を許容するように構成される。
【選択図】図2
Description
2 デテクタ
3 取付ボルト
4 アウター・フレーム
5 フレキシブル・ジョイント(z軸方向の移動、x軸周りの回転、y軸周りの回転)
6 マイクロメータ・スクリュー(z軸方向の移動、x軸周りの回転、y軸周りの回転)
7 取付部材
8 中間リング
9 止めネジ(z軸周りの回転)
10 止めネジ(z軸方向の移動、x軸周りの回転、y軸周りの回転)
11 板バネ
12 インナー・フレーム
13 フレキシブル・ジョイント(x軸方向の移動)
14 止めネジ(x軸方向の移動)
15 フレキシブル・ジョイント(y軸方向の移動)
16 止めネジ(y軸方向の移動)
17 止めネジ
18 スプリング・プランジャ
19 調節バー
20 マイクロメータ・スクリュー(z軸方向の移動)
21 マイクロメータ・スクリュー(x軸方向の移動)
22 マイクロメータ・スクリュー(y軸方向の移動)
23 デテクタ支持要素
24 止めネジ
25 取付部材
26 止めネジ
Claims (17)
- 焦点面アセンブリのためのアライメント調節装置において、前記焦点面アセンブリは検出面を有するデテクタ(2)を備えており、前記焦点面アセンブリは焦点面を有する光学アセンブリに搭載されるアセンブリであり、該アライメント調節装置は、画像領域である前記検出面と前記焦点面との間のアライメントを取るための装置であり、
該アライメント調節装置は、前記デテクタ(2)が取付けられるデテクタ支持要素(23)を備えており、
該アライメント調節装置は、複数の部材(15、13、12、4、8)を備えており、前記複数の部材のうちの第1部材(15)は前記デテクタ支持要素(23)に連結されており、前記複数の部材のうちの第2部材(8)は、前記光学アセンブリに連結されるフランジ(1)に連結されており、
前記第1部材(15)と、前記第2部材(8)と、前記複数の部材のうちの残りの部材とは、2つずつの部材が組を成して、それら2つの部材が複数のバネ(11)及び/または複数の支持要素(5、7)を介して互いに可動に連結されており、前記複数のバネ(11)及び/または前記複数の支持要素(5、7)は、所与の座標系の複数の座標軸(x、y、z)の夫々の座標軸方向の移動、及び/または、前記所与の座標系の前記複数の座標軸(x、y、z)の夫々の座標軸周りの回転を許容するように構成されている、
ことを特徴とするアライメント調節装置。 - 前記複数のバネ(11)は、前記複数の座標軸のうちのただ1つの座標軸の座標軸周りの回転だけを許容するように構成されていることを特徴とする請求項1記載のアライメント調節装置。
- 前記複数の支持要素(5、7)は、前記複数の座標軸のうちのただ1つの座標軸の座標軸方向の移動だけを許容し、及び/または、前記複数の座標軸のうちのただ1つの座標軸の座標軸周りの回転だけを許容するように構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のアライメント調節装置。
- 前記複数の部材(15、13、12、4、8)のうちの前記残りの部材の各々は、前記複数の部材(15、13、12、4、8)のうちの、他の2つの部材にのみ連結されていることを特徴とする請求項1〜請求項3の何れか1項記載のアライメント調節装置。
- 前記複数の部材(15、13、12、4、8)のうちには、
複数本の脱着可能な止めネジ(9)を介して前記フランジ(1)に連結された、前記第2部材である中間リング(8)と、
前記中間リング(8)に固定連結された、略々円筒形の形状を有するアウター・フレーム(4)と、
前記アウター・フレーム(4)と同軸心的に配設された、略々円筒形の形状を有するインナー・フレーム(12)と、
前記インナー・フレーム(12)に連結された第1フレキシブル・ジョイント(13)と、
前記第1部材である第2フレキシブル・ジョイント(15)と、
が含まれていることを特徴とする請求項1〜請求項4の何れか1項記載のアライメント調節装置。 - 前記複数本の止めネジ(9)による締結を解除し、1つまたは2つ以上の調節機構(18、19、20)によって前記中間リング(8)の外周縁を接線方向に移動させる調節を行うことで、前記複数の部材(15、13、12、4、8)を前記フランジ(1)に対して相対的に、第1座標軸(z)の座標軸周りに回転させるようにしてあることを特徴とする請求項5記載のアライメント調節装置。
- 前記調節機構(18、19、20)の各々は、スプリング・プランジャ(18)と、前記中間リング(8)の調節バー(19)に作用を及ぼす第1マイクロメータ・スクリュー(20)とを備えていることを特徴とする請求項6記載のアライメント調節装置。
- 前記調節機構(18、19、20)は前記フランジ(1)に取付けられており、前記調節機構(18、19、20)は前記止めネジ(9)による締結がなされている状態で前記フランジ(1)から取外し可能であることを特徴とする請求項6又は請求項7記載のアライメント調節装置。
- 前記インナー・フレーム(12)は等間隔に配設された3つの調節手段(5、6、7)を介して前記アウター・フレーム(4)に連結されており、それら調節手段によって、前記インナー・フレーム(12)、前記第1フレキシブル・ジョイント(13)、及び前記第2フレキシブル・ジョイント(15)の、前記第1座標軸(z)の座標軸方向の位置、第2座標軸(x)の座標軸周りの回転角度、及び第3座標軸(y)の座標軸周りの回転角度の調節が可能とされていることを特徴とする請求項5〜請求項8の何れか1項記載のアライメント調節装置。
- 前記3つの調節手段(5、6、7)は各々が第3フレキシブル・ジョイント(5)と、第2マイクロメータ・スクリュー(6)と、取付部材(7)とを備えており、前記インナー・フレーム(12)は前記取付部材(7)に連結されており、前記第3フレキシブル・ジョイント(5)は前記第2マイクロメータ・スクリュー(6)によって調節可能であることを特徴とする請求項9記載のアライメント調節装置。
- 前記第2マイクロメータ・スクリュー(6)が前記第3フレキシブル・ジョイント(5)を伸張させるように構成されていることを特徴とする請求項10記載のアライメント調節装置。
- 前記3つの調節手段(5、6、7)によって調節されたアラインメント状態が、それら調節手段に対応した止めネジ(10)によって固定されることを特徴とする請求項9〜請求項11の何れか1項記載のアライメント調節装置。
- 前記3つの調節手段(5、6、7)は前記アウター・フレーム(4)に取付けられており、それら調節手段の夫々の前記第2マイクロメータ・スクリュー(6)は、前記止めネジ(10)が締結された状態で前記アウター・フレーム(4)から取外し可能であることを特徴とする請求項9〜請求項12の何れか1項記載のアライメント調節装置。
- 前記第1フレキシブル・ジョイント(13)は前記インナー・フレーム(12)に連結されており、該第1フレキシブル・ジョイント(13)に対応した第3マイクロメータ・スクリュー(21)を操作することで、前記第2座標軸(x)の座標軸方向の移動が達成されるようにしてあることを特徴とする請求項5〜請求項13の何れか1項記載のアライメント調節装置。
- 前記第2フレキシブル・ジョイント(15)は前記第1フレキシブル・ジョイント(13)に連結されており、該第2フレキシブル・ジョイント(15)に対応した第4マイクロメータ・スクリュー(22)を操作することで、前記第3座標軸(y)の座標軸方向の移動が達成されるようにしてあることを特徴とする請求項5〜請求項14の何れか1項記載のアライメント調節装置。
- 前記第3マイクロメータ・スクリュー(21)及び/または前記第4マイクロメータ・スクリュー(22)は、アライメントが取れた状態に固定した後にそれらマイクロメータ・スクリュー(21、22)に対応した止めネジ(24)の締結を解除することにより取外し可能であることを特徴とする請求項14又は請求項15記載のアライメント調節装置。
- 前記デテクタ支持要素(23)は、前記第2フレキシブル・ジョイント(15)の中心近傍に取付けられていることを特徴とする請求項1〜請求項16の何れか1項記載のアライメント調節装置。
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