JP5917526B2 - 光学素子を位置合わせするシステム及びその方法 - Google Patents
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Description
a)6つのヘキサポッド支持構造であり、それぞれが、
aa)第1結合端を担持構造に、第2結合端を光学素子に結合可能であり、
ab)支持構造が定める主軸に沿った担持構造と光学素子との間の距離に対応する作用長を割り当てられて画定する、
6つのヘキサポッド支持構造を有するヘキサポッドシステムに関する。
第1結合端を担持構造に、第2結合端を光学素子に結合可能であり、
支持構造が定める主軸に沿った担持構造と光学素子との間の距離に対応する作用長を割り当てられて画定し、
第1結合端を第2結合端に対して回転させること及び/又は主軸に対して垂直な平面内で第2結合端に対して傾斜させることができる少なくとも1つの一体関節部を備えた
6つのヘキサポッド支持構造を有するヘキサポッドシステムにも関する。
第1結合端を担持構造に、第2結合端を光学素子に結合され、
支持構造が定める主軸に沿った担持構造と光学素子との間の距離に対応する作用長を割り当てられて画定する
方法に関する。
b)第1結合端と担持構造との結合及び第2結合端と光学素子との結合を維持したままスペーサ要素を支持構造から取り外すことができるか又はスペーサ要素を支持構造に加えることができるよう、少なくとも1つの調整可能な支持構造を構成する
ことにより達成される。
6つの支持構造のうち少なくとも1つの作用長を調整できる、少なくとも1つの方向で大きさが異なる1組の少なくとも2つの交換可能なスペーサ要素
により達成される。
ES=支持構造の平均ヤング率、
AS=主軸に対して垂直な支持構造の有効断面積AS、
LS=主軸の方向の支持構造の有効長
として特性値ZS=ES×AS/LSを規定し、
ES=スペーサ要素の平均ヤング率、
AS=主軸に対して垂直なスペーサ要素の有効断面積AS、
LS=主軸の方向のスペーサ要素の有効長
として各スペーサ要素の上記特性値ZD=ED×AD/LDが調整可能な支持構造の最小特性値ZS=ES×AS/LSの少なくとも10倍、好ましくは100倍であるようスペーサ要素を構成した場合である。
第1結合端と担持構造との結合及び第2結合端と光学素子との結合を維持したままスペーサ要素を支持構造から取り外すか又はスペーサ要素を支持構造に加える
ことにより達成される。
a)第1結合端(46;46’)を担持構造(38;38’)に、第2結合端(54a;54’)を光学素子(34:34’)に結合可能である少なくとも1つの支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)を備えた調整ユニット(36;36’)を有し、
b)支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)は、支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)が定める主軸(52;52’)に沿った担持構造(38;38’)と光学素子(34;34’)との間の距離に対応する作用長を割り当てられて画定する、
システムにおいて、
c)支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)の作用長を調整できるようにする、少なくとも1つの方向で大きさが異なる1組の少なくとも2つの交換可能なスペーサ要素(94)
を特徴とするシステム。
Claims (22)
- 半導体クリーンルーム内又は真空中で光学素子を位置合わせするヘキサポッドシステムであって、
a)6つのヘキサポッド支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)であり、それぞれが、
aa)第1結合端(46;46’)を担持構造(38;38’)に、第2結合端(54a;54’)を前記光学素子(34;34’)に結合可能であり、
ab)前記支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)が定める主軸(52;52’)に沿った前記担持構造(38;38’)と前記光学素子(34;34’)との間の距離に対応する作用長を割り当てられて画定する、
6つのヘキサポッド支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)を有するヘキサポッドシステムにおいて、
b)前記第1結合端(46;46’)と前記担持構造(38;38’)との結合及び前記第2結合端(54a;54’)と前記光学素子(34;34’)との結合を維持したままスペーサ要素(94;94’;130)を前記支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)から取り外すことができるか又はスペーサ要素(94;94’;130)を前記支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)に加えることができるよう、前記少なくとも1つの調整可能な支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)を構成し、
前記少なくとも1つの調整可能な支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)は、前記第2結合端(54a;54’)側から前記第1結合端(46;46’)と前記第2結合端(54a,54’)との間の結合を調整するための貫通路(50)を有する
ことを特徴とするヘキサポッドシステム。 - 請求項1に記載のヘキサポッドシステムにおいて、前記6つの支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)のうち少なくとも1つの前記作用長を調整できるようにする、少なくとも1つの方向で大きさが異なる1組の少なくとも2つの交換可能なスペーサ要素(94;94’;130)を特徴とするヘキサポッドシステム。
- 半導体クリーンルーム内又は真空中で光学素子を位置合わせするヘキサポッドシステムであって、
a)6つのヘキサポッド支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)であり、それぞれが、
第1結合端(46;46’)を担持構造(38;38’)に、第2結合端(54a;54’)を前記光学素子(34;34’)に結合可能であり、
前記支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)が定める主軸(52;52’)に沿った前記担持構造(38;38’)と前記光学素子(34;34’)との間の距離に対応する作用長を割り当てられて画定し、
前記第1結合端(46;46’)を前記第2結合端(54a;54’)に対して回転させること及び/又は前記主軸(52;52’)に対して垂直な平面内で前記第2結合端(54a;54’)に対して傾斜させることができる少なくとも1つの一体関節部(60、76;60’、76’)を備えた、
6つのヘキサポッド支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)を有するヘキサポッドシステムにおいて、
前記6つの支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)のうち少なくとも1つの前記作用長を調整できるようにする、少なくとも1つの方向で大きさが異なる1組の少なくとも2つの交換可能なスペーサ要素(94;130)
を特徴とし、
前記少なくとも1つの調整可能な支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)は、前記第2結合端(54a;54’)側から前記第1結合端(46;46’)と前記第2結合端(54a;54’)との間の結合を調整するための貫通路(50)を有するヘキサポッドシステム。 - 請求項3に記載のヘキサポッドシステムにおいて、前記第1結合端(46;46’)と前記担持構造(38;38’)との結合及び第2結合端(54a;54’)と前記光学素子(34;34’)との結合を維持したままスペーサ要素(94;94’;130)を前記少なくとも1つの調整可能な支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)から取り外すことができるか又はスペーサ要素(94;94’;130)を前記少なくとも1つの調整可能な支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)に加えることができるよう、該少なくとも1つの調整可能な支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)を構成したことを特徴とするヘキサポッドシステム。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載のヘキサポッドシステムにおいて、前記少なくとも1つの調整可能な支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)の前記第1結合端(46;46’)を第1モジュール(46;46’、106)で構成し、前記少なくとも1つの調整可能な支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)の前記第2結合端(54a;54’)を第2モジュール(48、86;48’)で構成し、これらを接続手段(92、90b;92’、90b)により相互に接続して、前記第1モジュール(46;46’、106)と前記第2モジュール(48、86;48’)との間の距離を変えることができるようにしたことを特徴とするヘキサポッドシステム。
- 請求項5に記載のヘキサポッドシステムにおいて、前記第1モジュール(46)及び前記第2モジュール(48、86)を相互に対して回転可能に接続固定し、特に前記第1モジュール(46;46’、106)と前記第2モジュール(48、86;48’)との接続部で生じるトルクを吸収できるよう誘導することを特徴とするヘキサポッドシステム。
- 請求項5又は6に記載のヘキサポッドシステムにおいて、前記2つのモジュール(46;46’、106;48、86;48’)の少なくとも一方は一体アーム要素(48;48’)を含むことを特徴とするヘキサポッドシステム。
- 請求項5〜7のいずれか1項に記載のヘキサポッドシステムにおいて、1つ又は複数のスペーサ要素(94;94’;130)を、前記少なくとも1つの調整可能な支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)の前記第1モジュール(46;46’、106)と前記第2モジュール(48、86;48’)との間に配置できることを特徴とするヘキサポッドシステム。
- 請求項5〜8のいずれか1項に記載のヘキサポッドシステムにおいて、前記第1モジュール(46;46’、106)及び前記第2モジュール(48、86;48’)を、ねじ接続部(92、90b;92’、90b’)により相互に接続したことを特徴とするヘキサポッドシステム。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載のヘキサポッドシステムにおいて、前記少なくとも1つの調整可能な支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)は、前記第1結合端(46;46’)を前記第2結合端(54a;54’)に対して、特に前記支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)の前記主軸(52;52’)を中心として回転させることができる一体軸方向関節部(60;60’)を備えることを特徴とするヘキサポッドシステム。
- 請求項1〜10のいずれか1項に記載のヘキサポッドシステムにおいて、前記少なくとも1つの調整可能な支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)は、前記第1結合端(46;46’)を前記主軸(52;52’)に対して垂直な平面内で前記第2結合端(54a;54’)に対して傾斜させることができる少なくとも1つの一体自在関節部(76、76b)を備えることを特徴とするヘキサポッドシステム。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載のヘキサポッドシステムにおいて、前記少なくとも1つの調整可能な支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)は、20℃で180GPa〜230GPaの平均ヤング率を有することを特徴とするヘキサポッドシステム。
- 請求項1〜12のいずれか1項に記載のヘキサポッドシステムにおいて、前記少なくとも1つの調整可能な支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)は、20℃で600MPaを超える0.2%降伏強度Rp0.2を有することを特徴とするヘキサポッドシステム。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載のヘキサポッドシステムにおいて、前記少なくとも1つの調整可能な支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)は、20℃で205GPaのヤング率及び20℃で650MPaの0.2%降伏強度Rp0.2を有する高強度鋼、特にクロムニッケル鋼で実質的にできていることを特徴とするヘキサポッドシステム。
- 請求項1〜14のいずれか1項に記載のヘキサポッドシステムにおいて、少なくとも1つのバイポッドユニット(40;40’)を、調整可能な第1支持構造(42、46、94;42’、46’、94’、106)及び調整可能な第2支持構造(44、46、94;44’、46’、94’、106)から形成したことを特徴とするヘキサポッドシステム。
- 請求項15に記載のヘキサポッドシステムにおいて、軸受台(46;46’)が、前記調整可能な第1支持構造(42、46、94;42’、46’、94’、106)の第1結合端及び前記調整可能な第2支持構造(44、46、94;44’、46’、94’、106)の第1結合端の両方を形成することを特徴とするヘキサポッドシステム。
- 請求項15又は16に記載のヘキサポッドシステムにおいて、前記調整可能な第1支持構造及び前記調整可能な第2支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)の前記主軸(52;52’)は、相互に対して0°以外の角度で延びることを特徴とするヘキサポッドシステム。
- 請求項15〜17のいずれか1項に記載のヘキサポッドシステムにおいて、ヘキサポッドを形成する3つのバイポッドユニット(40;40’)を設けたことを特徴とするヘキサポッドシステム。
- 請求項1〜18のいずれか1項に記載のヘキサポッドシステムにおいて、前記少なくとも1つの調整可能な支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)は、
ES=前記支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)の平均ヤング率、
AS=前記主軸(52;52’)に対して垂直な前記支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)の有効断面積AS、
LS=前記主軸(52;52’)の方向の前記支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)の有効長
として特性値ZS=ES×AS/LSを規定し、
E D =前記スペーサ要素(94;94’;130)の平均ヤング率、
A D =前記主軸(52;52’)に対して垂直な前記スペーサ要素(94;94’;130)の有効断面積A D 、
L D =前記主軸(52;52’)の方向の前記スペーサ要素(94;94’;130)の有効長
として各前記スペーサ要素(94;94’;130)のかかる特性値ZD=ED×AD/LDが前記調整可能な支持構造(42、44;42’、44’)の最小特性値ZS=ES×AS/LSの少なくとも10倍であるよう前記スペーサ要素(94;94’;130)を構成したことを特徴とするヘキサポッドシステム。 - 請求項1〜19のいずれか1項に記載のヘキサポッドシステムにおいて、前記主軸(52;52’)に沿って得られる前記支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)の作用長を画定する前記スペーサ要素(94;94’;130)の厚さを変更及び調整できるよう該スペーサ要素(94;94’;130)を構成したことを特徴とするヘキサポッドシステム。
- 請求項1〜20の何れか1項に記載のヘキサポッドシステムを備えるマイクロリソグラフィEUV投影露光装置用の照明デバイス。
- 6つのヘキサポッド支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)を備えたヘキサポッドシステムによって半導体クリーンルーム内又は真空中で光学素子を位置合わせする方法であって、各支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)は、
第1結合端(46;46’)を担持構造(38;38’)に、第2結合端(54a;54’)を前記光学素子(34;34’)に結合され、
前記支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)が定める主軸(52;52’)に沿った前記担持構造(38;38’)と前記光学素子(34;34’)との間の距離に対応する作用長を割り当てられて画定する
方法において、
前記第1結合端(46;46’)と前記第2結合端(54a;54’)との間の結合を調整し、前記少なくとも1つの調整可能な支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)は、前記第2結合端(54a;54’)側から該結合を調整するための貫通路(50、84’)を有すること、および、
前記第1結合端(46;46’)と前記担持構造(38;38’)との結合及び前記第2結合端(54a;54’)と前記光学素子(34;34’)との結合を維持したままスペーサ要素(94;94’;130)を前記支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)から取り外すか又はスペーサ要素(94;94’;130)を前記支持構造(42、44、46、94;42’、44’、46’、94’、106)に加えること
を特徴とする方法。
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Families Citing this family (15)
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DE102012214232A1 (de) * | 2012-08-10 | 2013-08-14 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Spiegellagerung für spiegel einer projektionsbelichtungsanlage |
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DE102014225199A1 (de) * | 2014-12-09 | 2016-06-09 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verbindungsanordnung für eine Lithographieanlage |
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JP6597032B2 (ja) * | 2015-07-31 | 2019-10-30 | 日本電気株式会社 | ミラー支持方法、ミラー支持構造およびミラー構造体 |
DE102016216917A1 (de) * | 2016-09-07 | 2018-03-08 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optisches System, insbesondere Lithographieanlage, sowie Verfahren |
DE102016224334A1 (de) | 2016-12-07 | 2017-01-26 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optische vorrichtung sowie fassung und lager- und positioniervorrichtung für optische elemente der optischen vorrichtung |
DE102018203925A1 (de) * | 2018-03-15 | 2019-09-19 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Strahlformungs- und Beleuchtungssystem für eine Lithographieanlage und Verfahren |
DE102020205306A1 (de) | 2020-04-27 | 2021-10-28 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Baugruppe, insbesondere in einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage |
DE102020212870A1 (de) * | 2020-10-13 | 2022-04-14 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optische Komponente und Verfahren zur Justage der optischen Komponente, sowie Projektionsbelichtungsanlage |
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JP2003215423A (ja) * | 2002-01-28 | 2003-07-30 | Nikon Corp | 光学系の製造方法,投影光学装置および露光装置 |
JP2004343101A (ja) * | 2003-04-25 | 2004-12-02 | Canon Inc | 駆動機構、それを有する露光装置、デバイスの製造方法 |
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WO2007017013A2 (de) * | 2005-07-01 | 2007-02-15 | Carl Zeiss Smt Ag | Anordnung zur lagerung eines optischen bauelements |
JP5043468B2 (ja) | 2007-02-23 | 2012-10-10 | キヤノン株式会社 | 保持装置 |
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