JP6460670B2 - 球形状測定方法及び装置 - Google Patents
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Description
又、被測定球を取外している間、前記球保持機構を退避させる機構を更に備えることができる。
本発明は、又、第1の半分と第2の半分を有する被測定球の、各々の回転位置において互いに隣り合う測定領域と重複する領域を有するように設定された複数の測定領域を有する表面形状を測定するための球形状測定方法であって、1)被測定球を第1の回転軸の回りに回転し、被測定球の第2の半分の部分が球保持機構に取付けられている状態で、被測定球の第1の半分の部分の複数の測定領域の一つを測定し、2)第1の半分の部分の測定領域を変更するため、球保持機構から第2の半分の部分を取外すことなく、第1の回転軸に直交する第2の回転軸の回りに球保持機構を回転し、3)第1の半分の部分の全体をカバーする測定が行われるまで、第2の半分の部分を球保持機構から取外すことなく手順1)と2)を繰り返し、4)被測定球が球支持台で保持されている状態で被測定球を球保持機構から取外し、5)被測定球が球支持台で保持され、球保持機構から取外されている状態で、第1の回転軸と直交し、第2の回転軸と同軸である第3の回転軸の回りに球保持機構を回転して、被測定球が保持される位置を第2の半分の部分から第1の半分の部分に変えることにより、球全体の表面形状を測定可能とし、6)球保持機構を第1の半分の部分に取付け、7)被測定球を第1の回転軸の回りに回転し、被測定球の第1の半分の部分が球保持機構に取付けられている状態で、被測定球の第2の半分の部分の複数の測定領域の一つを測定し、8)第2の半分の部分の測定領域を変更するため、球保持機構から第1の半分の部分を取外すことなく、第3の回転軸の回りに球保持機構を回転し、9)第2の半分の部分の全体をカバーする測定が行われるまで、第1の半分の部分を球保持機構から取外すことなく手順7)と8)を繰り返し、10)重複領域の形状をもとに手順3)と9)の結果をスティッチング演算によって接合することにより、球全体の表面形状を測定することを特徴とする球形状測定方法を提供するものである。
12…支持シャフト
20…レーザ干渉計
22…参照球面
34…干渉計用コンピュータ
40…位置変更機構
42…θ回転軸
44…φ回転軸
46…ブラケット
48、82…並進移動機構
50…球保持機構
52…球支持台
52A…受入用凹部
54…Z昇降軸
56、80…台
60…R調整軸
62…コントローラ
64…球形状解析用コンピュータ
70…φ2回転軸
Claims (11)
- 第1の半分と第2の半分を有する被測定球の、各々の回転位置において互いに隣り合う測定領域と重複する領域を有するように設定された複数の測定領域を有する表面形状を測定するための球形状測定方法であって、
1)被測定球を第1の回転軸の回りに回転し、被測定球の第2の半分の部分が球保持機構に取付けられている状態で、被測定球の第1の半分の部分の複数の測定領域の一つを測定し、
2)第1の半分の部分の測定領域を変更するため、球保持機構から第2の半分の部分を取外すことなく、第1の回転軸に直交する第2の回転軸の回りに球保持機構を回転し、
3)第1の半分の部分の全体をカバーする測定が行われるまで、第2の半分の部分を球保持機構から取外すことなく手順1)と2)を繰り返し、
4)被測定球が球支持台で保持されている状態で被測定球を球保持機構から取外し、
5)被測定球が球支持台で保持され、球保持機構から取外されている状態で、第1の回転軸と直交する第2の回転軸の回りに球保持機構を回転して、被測定球が保持される位置を第2の半分の部分から第1の半分の部分に変えることにより、球全体の表面形状を測定可能とし、
6)球保持機構を第1の半分の部分に取付け、
7)被測定球を第1の回転軸の回りに回転し、被測定球の第1の半分の部分が球保持機構に取付けられている状態で、被測定球の第2の半分の部分の複数の測定領域の一つを測定し、
8)第2の半分の部分の測定領域を変更するため、球保持機構から第1の半分の部分を取外すことなく、第2の回転軸の回りに球保持機構を回転し、
9)第2の半分の部分の全体をカバーする測定が行われるまで、第1の半分の部分を球保持機構から取外すことなく手順7)と8)を繰り返し、
10)重複領域の形状をもとに手順3)と9)の結果をスティッチング演算によって接合することにより、球全体の表面形状を測定することを特徴とする球形状測定方法。 - 請求項1において、前記球支持台を回転可能としたことを特徴とする球形状測定方法。
- 請求項1又は2において、被測定球と面形状測定手段の位置を調整可能としたことを特徴とする球形状測定方法。
- 球面の部分的な形状を測定する面形状測定手段と、
被測定球が着脱可能な球保持機構と、
前記球保持機構から取外された被測定球を保持する球支持台と、
被測定球が前記球保持機構に取付けられている状態で、第1の回転手段の中心の回りに被測定球を回転するための第1の回転手段と、
被測定球が前記球支持台に保持され、前記球保持機構から取外された状態で、第2の回転手段の中心の回りに該球保持機構を回転するための第2の回転手段であって、第2の回転手段の中心が第1の回転手段の中心と直交するものと、
第1の回転手段と第2の回転手段を連結するブラケットと、
各々の回転位置において互いに隣り合う測定領域と重複する領域を有するように設定した被測定球の測定領域毎に部分的な球面形状を測定し、これら重複領域の形状をもとに各々の部分的な球面形状をスティッチング演算によって接合することにより、球全体の表面形状を測定する球形状測定装置であって、
前記面形状測定手段が、被測定球が前記球保持機構に取付けられている状態で球表面の部分的な形状を測定可能であり、
前記球支持台が、前記球保持機構から取外された被測定球を受け入れて支持するための受入用凹部を上面に有することを特徴とする球形状測定装置。 - 請求項4において、前記面形状測定手段がレーザ干渉計であることを特徴とする球形状測定装置。
- 請求項4又は5において、更に、前記球支持台を昇降させる機構を備えたことを特徴とする球形状測定装置。
- 請求項4乃至6のいずれかにおいて、更に、被測定球を取外している間、前記球保持機構を退避させる機構を備えたことを特徴とする球形状測定装置。
- 請求項4乃至7のいずれかにおいて、更に、前記球支持台を回転する機構を備えたことを特徴とする球形状測定装置。
- 請求項8において、前記球支持台を回転する機構の回転軸と前記第2の回転手段の中心が互いに同軸とされていることを特徴とする球形状測定装置。
- 請求項4乃至9のいずれかにおいて、更に、被測定球と面形状測定手段の相対位置を調整するための直交3軸方向への並進移動機構を備えたことを特徴とする球形状測定装置。
- 第1の半分と第2の半分を有する被測定球の、各々の回転位置において互いに隣り合う測定領域と重複する領域を有するように設定された複数の測定領域を有する表面形状を測定するための球形状測定方法であって、
1)被測定球を第1の回転軸の回りに回転し、被測定球の第2の半分の部分が球保持機構に取付けられている状態で、被測定球の第1の半分の部分の複数の測定領域の一つを測定し、
2)第1の半分の部分の測定領域を変更するため、球保持機構から第2の半分の部分を取外すことなく、第1の回転軸に直交する第2の回転軸の回りに球保持機構を回転し、
3)第1の半分の部分の全体をカバーする測定が行われるまで、第2の半分の部分を球保持機構から取外すことなく手順1)と2)を繰り返し、
4)被測定球が球支持台で保持されている状態で被測定球を球保持機構から取外し、
5)被測定球が球支持台で保持され、球保持機構から取外されている状態で、第1の回転軸と直交し、第2の回転軸と同軸である第3の回転軸の回りに球保持機構を回転して、被測定球が保持される位置を第2の半分の部分から第1の半分の部分に変えることにより、球全体の表面形状を測定可能とし、
6)球保持機構を第1の半分の部分に取付け、
7)被測定球を第1の回転軸の回りに回転し、被測定球の第1の半分の部分が球保持機構に取付けられている状態で、被測定球の第2の半分の部分の複数の測定領域の一つを測定し、
8)第2の半分の部分の測定領域を変更するため、球保持機構から第1の半分の部分を取外すことなく、第3の回転軸の回りに球保持機構を回転し、
9)第2の半分の部分の全体をカバーする測定が行われるまで、第1の半分の部分を球保持機構から取外すことなく手順7)と8)を繰り返し、
10)重複領域の形状をもとに手順3)と9)の結果をスティッチング演算によって接合することにより、球全体の表面形状を測定することを特徴とする球形状測定方法。
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