JP2016023990A - 球形状測定方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被測定球10を自在に回転可能とし、各々の回転位置において互いに隣り合う測定領域と重複する領域を有するように設定した測定領域毎に部分的な球面形状を測定し、これら重複領域の形状をもとに各々の部分的な球面形状をスティッチング演算によって接合することにより、面形状を測定する球形状測定方法において、被測定球10を自由に着脱できる球保持機構50から被測定球10を脱着している状態において球を球支持台52で保持できるようにし、球を保持する位置を持ち替えることにより、球全体の形状を測定可能とする。
【選択図】図5
Description
12…支持シャフト
20…レーザ干渉計
22…参照球面
34…干渉計用コンピュータ
40…位置変更機構
42…θ回転軸
44…φ回転軸
46…ブラケット
48、82…並進移動機構
50…球保持機構
52…球支持台
52A…受入用凹部
54…Z昇降軸
56、80…台
60…R調整軸
62…コントローラ
64…球形状解析用コンピュータ
70…φ2回転軸
Claims (10)
- 被測定球を自在に回転可能とし、
各々の回転位置において互いに隣り合う測定領域と重複する領域を有するように設定した測定領域毎に部分的な球面形状を測定し、これら重複領域の形状をもとに各々の部分的な球面形状をスティッチング演算によって接合することにより、面形状を測定する球形状測定方法において、
被測定球を自由に着脱できる球保持機構から被測定球を脱着している状態において球を球支持台で保持できるようにし、球を保持する位置を持ち替えることにより、球全体の形状を測定可能とすることを特徴とする球形状測定方法。 - 請求項1において、前記球支持台を回転可能としたことを特徴とする球形状測定方法。
- 請求項1又は2において、被測定球と面形状測定手段の位置を調整可能としたことを特徴とする球形状測定方法。
- 球面の部分的な形状を測定する面形状測定手段と、
被測定球を前記面形状測定手段に対して自在に回転させる位置変更手段と、を備え、
各々の回転位置において互いに隣り合う測定領域と重複する領域を有するように設定した測定領域毎に部分的な球面形状を測定し、これら重複領域の形状をもとに各々の部分的な球面形状をスティッチング演算によって接合することにより、面形状を測定する球形状測定装置において、
被測定球を自由に着脱できる球保持機構、及び、該球保持機構から被測定球を脱着している状態において球を保持する球支持台を有し、球を保持する位置を持ち替えることにより、球全体の形状を測定する手段と、
を備えたことを特徴とする球形状測定装置。 - 請求項4において、前記面形状測定手段がレーザ干渉計であり、前記位置変更手段が、被測定球を第一の回転軸の回りと、該第一の回転軸と直交する第二の回転軸の回りに、被測定球を回転させるものであることを特徴とする球形状測定装置。
- 請求項4において、前記球支持台が、前記球保持機構から脱着された球を受け入れて支持するための受入用凹部を上面に有することを特徴とする球形状測定装置。
- 請求項4乃至6のいずれかにおいて、更に、前記球支持台を昇降させる機構を備えたことを特徴とする球形状測定装置。
- 請求項4乃至7のいずれかにおいて、更に、前記球支持台を回転する機構を備えたことを特徴とする球形状測定装置。
- 請求項8において、前記球支持台を回転する機構の回転軸と前記位置変更手段の第二の回転軸が同軸とされていることを特徴とする球形状測定装置。
- 請求項4乃至9のいずれかにおいて、更に、被測定球と面形状測定手段の相対位置を調整するための直交3軸方向への並進移動機構を備えたことを特徴とする球形状測定装置。
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