JP2016023990A - 球形状測定方法及び装置 - Google Patents

球形状測定方法及び装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2016023990A
JP2016023990A JP2014147226A JP2014147226A JP2016023990A JP 2016023990 A JP2016023990 A JP 2016023990A JP 2014147226 A JP2014147226 A JP 2014147226A JP 2014147226 A JP2014147226 A JP 2014147226A JP 2016023990 A JP2016023990 A JP 2016023990A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measured
sphere
ball
shape measuring
spherical shape
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2014147226A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6460670B2 (ja
Inventor
萩野 健
Takeshi Hagino
健 萩野
横山 雄一郎
Yuichiro Yokoyama
雄一郎 横山
栗山 豊
Yutaka Kuriyama
豊 栗山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp, Mitsutoyo Kiko Co Ltd filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP2014147226A priority Critical patent/JP6460670B2/ja
Priority to DE102015009142.5A priority patent/DE102015009142A1/de
Priority to US14/800,110 priority patent/US10444008B2/en
Priority to CN201510425225.6A priority patent/CN105277134B/zh
Publication of JP2016023990A publication Critical patent/JP2016023990A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6460670B2 publication Critical patent/JP6460670B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2441Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0002Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
    • G01B5/0004Supports
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • G01B9/02034Interferometers characterised by particularly shaped beams or wavefronts
    • G01B9/02038Shaping the wavefront, e.g. generating a spherical wavefront
    • G01B9/02039Shaping the wavefront, e.g. generating a spherical wavefront by matching the wavefront with a particular object surface shape
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • G01B9/02041Interferometers characterised by particular imaging or detection techniques
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2210/00Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
    • G01B2210/52Combining or merging partially overlapping images to an overall image

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

【課題】球全体の形状を高精度に測定可能とする。
【解決手段】被測定球10を自在に回転可能とし、各々の回転位置において互いに隣り合う測定領域と重複する領域を有するように設定した測定領域毎に部分的な球面形状を測定し、これら重複領域の形状をもとに各々の部分的な球面形状をスティッチング演算によって接合することにより、面形状を測定する球形状測定方法において、被測定球10を自由に着脱できる球保持機構50から被測定球10を脱着している状態において球を球支持台52で保持できるようにし、球を保持する位置を持ち替えることにより、球全体の形状を測定可能とする。
【選択図】図5

Description

本発明は、球形状測定方法及び装置に係り、特に、球全体の形状を高精度に測定することが可能な球形状測定方法及び装置に関する。
ベアリングの球や測定機の基準となる参照球、レンズなど、球や部分的に球形状を有する部品が産業界で広く利用されている。これらの球形状を有する部品の形状を測定するために多くの面形状測定方法や装置が提案されている。干渉計装置はその代表的な例であり、これら球の表面形状を高精度かつ高密度に測定することができる。更に、面形状測定装置の測定可能な面内領域を超える球面の形状を測定するために、面形状測定手段と、測定対象の球面を保持しかつ測定位置を変更するための位置変更手段とを備えた装置も提案されている(特許文献1及び非特許文献1)。
これらの装置は、位置変更手段によって測定対象の球面を移動させることによって測定位置を変更するとともに、複数の部分領域の形状を面形状測定手段によって測定する。それらの複数の領域の測定形状をスティッチングと呼ばれる演算によって接続することにより、広範囲の球面形状を測定している。
ここで、非特許文献1に示される球形状測定装置の概要を説明する。装置の構成を表す側面図を図1に示す。測定装置は面形状測定手段をなす、例えばフィゾー干渉計でなるレーザ干渉計20の部分と、位置変更手段である位置変更機構40の部分とからなる。この装置に用いるレーザ干渉計20は、球面形状を持つ参照球面22を用い、レーザ光源24で発生されたレーザ光線26の波長をものさしとして参照球面22と比較することにより、被測定球10の表面形状を測定する装置である。図において、28は、ビームスプリッタ、30は、レーザ光線26を平行光線化するためのコリメータレンズ、32は、ビームスプリッタ28で合成された干渉光を検出するための撮像素子である。
被測定球(以下、単に球とも称する)10は参照球面22の焦点位置に設置される。レーザ干渉計20によって測定される領域は、レーザ光線26が照射される球10の表面上の一部分であるため、より広い領域を測定するためにはレーザ干渉計20本体もしくは被測定球10の位置を移動する手段が必要である。非特許文献1に示す装置は、被測定球10と支持シャフト12が固定された、軸を有する球を対象にしており、被測定球10を支持シャフト12を介して保持しつつ、θ回転軸42及びθ回転軸42と直交するφ回転軸44の2軸の回転機構によって球10の任意の面をレーザ干渉計20の測定範囲へと移動する位置変更機構40を備えている。
非特許文献1の装置の上面図を図2に示す。φ回転軸44は測定光軸と直角をなし(図2における紙面垂直方向)、その軸上に参照球面22の焦点が一致するよう調整されている。φ回転軸44を回転させると、θ回転軸42を支持するブラケット46をφ軸回りに回転させることができる。θ回転軸42は、この上で360度以上回転することができる。このとき、被測定球10の中心位置がφ回転軸44上になるよう支持シャフト12やブラケット46の腕の長さを調整することによって、被測定球10は参照球面22の焦点位置において任意の角度に回転することができる。このような構成において、被測定球10の半球に及ぶ領域をレーザ干渉計20により測定するためには、θ回転軸42回りに360度、φ回転軸44回りに支持シャフト12が測定光軸と直交する位置から測定光軸と平行になる位置まで90度の範囲で被測定球10を回転させればよい。
このような構成の装置によって測定可能な領域と、θ及びφの二つの回転軸の関係を図3に示す。本図は図1に示す装置を上面から見た図である。はじめに支持シャフト12がレーザ干渉計20の測定光軸と直交する位置にあるときのφ回転軸44の角度を第一支持角度φ1と定義する。この状態を図3の(a)に示す。支持シャフト12の中心軸を被測定球10の極軸と定義すれば、この極軸と直交する位置にある球の表面の輪郭は球の緯線と考えることができ、直径が最大となる位置の輪郭は赤道(第一測定緯線)となる。第一支持角度φ1においてθ回転軸42を回転させることにより、球面の第一測定緯線上の任意の点をレーザ干渉計20に向けることができる。その位置において測定を実施すれば、任意のθ回転軸42の位置における単一測定領域の形状を測定することができる。後に行うスティッチング演算のために、隣り合う単一測定領域が重複領域を有するようにθ回転軸42の回転ステップを決定することが望ましい。この重複領域は、例えばおおよそレーザ干渉計20の視野角の半分程度とすればよい。ここでは第一支持角度φ1を測定光軸と支持シャフト12が直交する位置として説明したが、必ずしもその必要はなく、第一支持角度φ1を任意の位置に設定してもよい。
続いて、φ回転軸44を回転させ、第一支持角度φ1と異なる位置に設定する。この位置を第二支持角度φ2とする。この状態を図3の(b)に示す。その位置においてθ回転軸42を回転させると、レーザ干渉計20の測定光軸と交わる球面上の点はある軌跡を描く。この軌跡により表される輪郭を第二測定緯線とする。第一支持角度φ1における操作と同様にθ回転軸42を回転させることにより、球面の第二測定緯線上において、任意のθ回転軸42の位置における単一測定領域の形状を測定することができる。第一支持角度φ1と第二支持角度φ2の間隔は、θ回転軸42のステップと同様に、例えばおおよそレーザ干渉計20の視野角の半分程度とすればよい。
φ回転軸44の回転範囲において支持角度φを複数設定し、それぞれの位置においてθ回転軸42を操作し、対応する位置の単一測定領域が被測定球10の半球部分を網羅するまでこの手順を実行する。こうして得られる多数の単一測定領域の形状を、θ回転軸42及びφ回転軸44の位置情報を参照してスティッチング演算によってつなぎ合わせることにより、被測定球10の表面形状を測定することができる。φ回転軸44の回転範囲は図2に示した90度の範囲に限られるものではなく、レーザ干渉計20と位置変更機構40との物理的な衝突等が発生しなければ、任意の範囲に設定することができる。複数の単一測定領域により被測定球10の半球を網羅するための必要条件が、φ回転軸44の回転範囲90度となる。
位置変更機構40を構成する各部品の寸法が設計値と異なっていたり運動誤差があったりすると、θ回転軸42やφ回転軸44の回転に伴い被測定球10が参照球面22の焦点位置からずれる場合がある。球面を測定する干渉計装置において、この位置ずれは測定誤差を生じさせる。そのため非特許文献1の装置に、例えば図4に示す、ステージ48x、48y、48zでなる直交3軸の並進移動機構48を備えることも可能である。レーザ干渉計20の干渉縞画像を頼りに、干渉縞本数が極力少なくなるように被測定球10を移動させることにより、この位置ずれを修正することができる。
米国特許6,956,657B2号公報
「光波干渉による真球度の測定」、2011年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 P868-869
特許文献1及び非特許文献1に示す先行技術は、レンズのような部分的な球形状、または固定された軸により保持された球を測定するものであり、軸の周辺や保持部分の周辺の領域を測定することは難しく、その測定範囲はおよそ半球までに限られる。レーザ干渉計の視野範囲の大きさや位置変更手段の移動範囲によって半球を超える領域を測定することは可能であるが、球を保持する部位を測定することはできない。そのため、球全体の形状を高精度に測定する装置及びその測定方法が望まれる。
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたもので、球全体の形状を高精度に測定することを課題とする。
本発明は、被測定球を自在に回転可能とし、各々の回転位置において互いに隣り合う測定領域と重複する領域を有するように設定した測定領域毎に部分的な球面形状を測定し、これら重複領域の形状をもとに各々の部分的な球面形状をスティッチング演算によって接合することにより、面形状を測定する球形状測定方法において、被測定球を自由に着脱できる球保持機構から被測定球を脱着している状態において球を球支持台で保持できるようにし、球を保持する位置を持ち替えることにより、球全体の形状を測定可能とするようにして、前記課題を解決したものである。
ここで、前記球支持台を回転可能とすることができる。
又、被測定球と面形状測定手段の位置を調整可能とすることができる。
本発明は、又、球面の部分的な形状を測定する面形状測定手段と、被測定球を前記面形状測定手段に対して自在に回転させる位置変更手段と、を備え、各々の回転位置において互いに隣り合う測定領域と重複する領域を有するように設定した測定領域毎に部分的な球面形状を測定し、これら重複領域の形状をもとに各々の部分的な球面形状をスティッチング演算によって接合することにより、面形状を測定する球形状測定装置において、被測定球を自由に着脱できる球保持機構、及び、該球保持機構から被測定球を脱着している状態において球を保持する球支持台を有し、球を保持する位置を持ち替えることにより、球全体の形状を測定する手段と、を備えたことを特徴とする球形状測定装置を提供するものである。
ここで、前記面形状測定手段はレーザ干渉計であり、前記位置変更手段は、被測定球を第一の回転軸の回りと、該第一の回転軸と直交する第二の回転軸の回りに、被測定球を回転させるものとすることができる。
又、前記球支持台は、前記球保持機構から脱着された球を受け入れて支持するための受入用凹部を上面に有することができる。
又、前記球支持台を昇降させる機構を更に備えることができる。
又、前記球支持台を回転する機構を更に備えることができる。
又、前記球支持台を回転する機構の回転軸と前記位置変更手段の第二の回転軸を同軸とすることができる。
又、被測定球と面形状測定手段の相対位置を調整するための直交3軸方向への並進移動機構を更に備えることができる。
本発明によれば、球全体の形状を高精度に測定することが可能になる。
非特許文献1に示される球形状測定装置を示す側面図 同じく平面図 同じく測定手順を説明するための拡大平面図 同じく並進移動機構を備えた球形状測定装置を示す側面図 本発明の第1実施形態を示す側面図 同じく球全体の形状を測定する手順を示す流れ図 同じく球を持ち替える手順を示す流れ図 本発明の第2実施形態を示す側面図 同じく球を持ち替える手順を示す流れ図 本発明の第3実施形態を示す側面図 本発明の第4実施形態を示す側面図
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施形態及び実施例に記載した内容により限定されるものではない。又、以下に記載した実施形態及び実施例における構成要件には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。更に、以下に記載した実施形態及び実施例で開示した構成要素は適宜組み合わせてもよいし、適宜選択して用いてもよい。
図5に、本発明の第1実施形態の構成を示す。本実施形態は、非特許文献1に示された、レーザ干渉計20と、θ回転軸42、φ回転軸44、ブラケット46を有する位置変更機構40とを備えた装置に、新たに球保持機構50、球支持台52、Z昇降軸54、それらを支持する台56、及び、R調整軸60を加えることにより、球を持ち替え、球全体の形状を測定可能にしたものである。
球保持機構50は、被測定球10を支持シャフト12に対して任意に着脱する機構を有し、真空吸着または着磁性の球の場合には磁力などにより、自在に被測定球10を吸着したりまたは脱着したりすることができる。
球支持台52は、球保持機構50から脱着された球を一時的に受け入れて支持するための受入用凹部52Aを上面に有する台である。球保持機構50が被測定球10を吸着している間、球支持台52は被測定球10に触れることがないようにZ昇降軸54により退避していることが望ましい。また、球を脱着している間、球保持機構50も被測定球10に触れることがないようにR調整軸60により退避できることが望ましい。
なお、球10を持ち替えるため、φ回転軸44は、例えば±90度=180度回転可能とされている。
図において、34は、レーザ干渉計20用の干渉計用コンピュータ、62は、位置変更機構40のθ回転軸42及びφ回転軸44の回転、球保持機構50の吸着、Z昇降軸54の昇降、R調整軸60の伸縮等を制御するためのコントローラ、64は、該コントローラ62により位置変更機構40及び球の持ち替えを制御しつつ、干渉計用コンピュータ34から得られた情報を基に球形状を解析するための球形状解析用コンピュータである。
以下、図6を参照して、球全体の形状を測定する手順を説明する。
まず、ステップ100で被測定球10を球保持機構50に吸着し、ステップ110でφ回転軸44を回転して所定角度に設定して、ステップ120のθ回転軸42の回転、及び、ステップ130の単一測定領域の測定を、ステップ140で所定緯線上を網羅する測定が行われたと判定されるまで繰り返す。
次いで、ステップ110でφ回転軸44を回転することにより緯線を変えて、ステップ150で第一半球を網羅する測定が行われたと判定されるまでステップ120〜140を繰り返す。
ステップ150で第一半球の測定が終了したと判定された時は、ステップ160で被測定球10を持ち替える。具体的には、図7に示す如く、球保持機構50に被測定球10が吸着されている状態においてZ昇降軸54を上昇させ、球支持台52と被測定球10を接触させる(ステップ162)。次いで、球保持機構50から被測定球10を脱着させて、被測定球10を球支持台52によって支持する(ステップ164)。次いで、R調整軸60を動作(図の右方に後退)させることにより球保持機構50が被測定球10に触れないように退避させる(ステップ166)。この状態では、位置変更機構40はφ回転軸44の回転によって任意の回転位置に移動することができる(ステップ168)。回転位置を移動した後に、R調整軸60を動作(図の左方に前進)させて球保持機構50を被測定球10に密着させ(ステップ170)、再度吸着する(ステップ172)。その後、Z昇降軸54を動作させて球支持台52を下降させる(ステップ174)。
この一連の操作により球を保持する位置が変更され、球を持ち替えることができる。具体的には、図2に示すθ回転軸42が測定光軸と直交する位置からφ回転軸44を180度回転させることにより、被測定球10の180度反転した位置に持ち替えることができる。
持ち替えた後は、ステップ110〜150に対応するステップ210〜250により、第二半球の測定を行う。これによって、非特許文献1に示す装置では測定できなかった球を保持する部位をレーザ干渉計20に向けて測定することができ、球全体を網羅する単一測定領域の測定結果を収集することが可能になる。持ち替えを行う前の測定を第一半球、持ち替え後に行う測定を第二半球とすれば、この二つの半球をステップ300でスティッチング演算することによって、球全体の形状を測定することができる。第一半球と第二半球をそれぞれ測定する流れは、非特許文献1と同様である。この二つの測定の間に被測定球10の持ち替えを行い、測定の最後に二つの半球を接続するスティッチング演算を行う流れとなる。
ここで、球10を持ち替える動作におけるφ回転軸44の動作範囲は180度に限られるものではなく、任意の角度位置で行っても良いが、180度の位置で持ち替えることによって半球ずつ測定することが、球全体の形状を測定するためには最も効率が良い方法である。
本実施形態においては、φ回転軸44を利用して球10の持ち替えを行っているので、構成が簡略である。
続いて、本発明における第2実施形態の構成を図8に示す。本実施形態は、第1実施形態に示す装置のZ昇降軸54と球支持台52の間に更にφ2回転軸70を備え、球支持台52を回転可能にした構成になっている。φ2回転軸70はφ回転軸44と同軸とされている。ここで、φ回転軸44の回転範囲は、図1に示した先行技術と同様に0度〜90度であっても良い。なお、φ2回転軸70を設ける位置はZ昇降軸54と球支持台52の間に限定されず、Z昇降軸54と台56の間でも良い。
他の構成は、第1実施形態と同じであるので説明は省略する。
本発明による測定方法において、被測定球10を保持したまま半球を測定する手順では単一測定領域の被測定球面上における位置はθ回転軸42及びφ回転軸44のそれぞれの位置に対応している。しかし、被測定球10の持ち替えを行うことによって位置変更機構40と被測定球10は一度切り離されるため、持ち替えの前後において単一測定領域の球面上の位置とθ回転軸42及びφ回転軸44の位置に連続性が失われることになる。そのため被測定球10の持ち替えはなるべく位置ずれなどの誤差が生じないよう慎重に行う必要がある。第1実施形態に示す構成においては、支持シャフト12の偏心があったりφ回転軸44に触れ回りなどの機械的な誤差があったりする場合に、必ずしも位置変更機構40の回転中心が被測定球10の中心と一致せず、持ち替えにおける誤差を生じさせる可能性がある。
本実施形態は、φ回転軸44と同軸のφ2回転軸70により球支持台52を回転させることによって球の持ち替えの操作を実現する。これにより、支持シャフト12の偏心やφ回転軸44に触れ回りがあった場合でも安定して球の持ち替えが行える。
以下、図9を参照して、本発明の第2実施形態で球を持ち替える手順を説明する。
球保持機構50に被測定球10が吸着されている状態においてZ昇降軸54を上昇させ、球支持台52と被測定球10を接触させる(ステップ162)。次いで、球保持機構50から被測定球10を脱着させて、被測定球10を球支持台52によって支持する(ステップ164)。次いで、R調整軸60を動作(図8の右方に後退)させることにより球保持機構50が被測定球10に触れないように退避させる(ステップ166)。ここでφ回転軸44と同軸になるよう調整されたφ2回転軸70を回転させることにより、被測定球10は位置変更機構40に対して任意の回転位置に移動することができる(ステップ180)。回転位置を移動した後に、R調整軸60を動作(図8の左方に前進)させて球保持機構50を被測定球10に密着させ(ステップ170)、再度吸着する(ステップ172)。その後、Z昇降軸54を動作させて球支持台52を下降させる(ステップ174)。
この一連の操作により球を保持する位置が変更され、球を持ち替えることができる。持ち替え動作のステップ180を除く球面測定の手順は第1実施形態と同一であるので、説明を省略する。
本実施形態によれば、位置変更機構40の運動誤差等があっても正確な持ち替えを実現し、球全体の形状を高精度に測定することが可能となる。又、φ回転軸44を持ち替えに使わないので、φ回転軸44の回転範囲は、従来と同様に0度〜90度であっても良い。
続いて、本発明における第3実施形態の構成を図10に示す。本実施形態は、第1実施形態の装置に対して、φ回転軸44と台56を台80に載置し、該台80をx、y、zの直交する3軸方向に並進移動する並進移動機構82を備えた構成となっている。図において、82xは、x軸方向移動機構、82yは、y軸方向移動機構、82zは、z軸方向移動機構である。
他の構成は、第1実施形態と同じであるので説明は省略する。
位置変更機構40を構成する各部品の寸法が設計値と異なっていたり運動誤差があったりすると、θ回転軸42やφ回転軸44の回転に伴い被測定球10が面形状測定手段の中心位置からずれる場合がある。この位置ずれは、面形状測定手段の測定誤差を生じさせる場合がある。例えば面形状測定手段に球面を測定するレーザ干渉計20を用いた場合、被測定球10と参照球面22の中心にずれが生じ、測定誤差が発生する。そこで、この位置のずれを補正するために並進移動機構82を備える。面形状測定手段にレーザ干渉計20を用いる場合は、干渉縞画像を頼りに、干渉縞本数が極力少なくなるように被測定球10を移動させることにより、この位置ずれを修正することができる。
本実施形態によれば、位置変更機構40の運動誤差や構成部材の寸法が設計値と異なることによる被測定球10と面形状測定手段の位置ずれに伴う測定誤差の影響を減少させ、球全体の形状を高精度に測定することが可能になる。
続いて、第2実施形態に示す装置に、第3実施形態に示した並進移動機構82を加えた本発明の第4実施形態の構成を図11に示す。
他の構成及び作用は、第1〜第3実施形態と同じであるので説明は省略する。
本実施形態によれば、位置変更機構40の運動誤差等があっても正確な球の持ち替えを実現すると共に、位置変更機構40の運動誤差や構成部材の寸法が設計値と異なることによる被測定球10と面形状測定手段の位置ずれに伴う測定誤差の影響を減少させ、球全体の形状を高精度に測定することが可能になる。
ここで示した装置の構成はあくまで例示であり、装置の動作が等価であればこれ以外の構成を選択することもできる。例えば第2、第4実施形態におけるZ昇降軸54とφ2回転軸70の位置は、φ2回転軸70の上にZ昇降軸54を設ける構成を選択することも可能である。この例のように軸を構成する順番などは、装置の全体としての動作が等価であれば自由に変更可能である。更に、θ回転軸42とφ回転軸44の位置関係など、必ずしも直交していなくても等価な動作であれば変更可能である。
10…被測定球
12…支持シャフト
20…レーザ干渉計
22…参照球面
34…干渉計用コンピュータ
40…位置変更機構
42…θ回転軸
44…φ回転軸
46…ブラケット
48、82…並進移動機構
50…球保持機構
52…球支持台
52A…受入用凹部
54…Z昇降軸
56、80…台
60…R調整軸
62…コントローラ
64…球形状解析用コンピュータ
70…φ2回転軸

Claims (10)

  1. 被測定球を自在に回転可能とし、
    各々の回転位置において互いに隣り合う測定領域と重複する領域を有するように設定した測定領域毎に部分的な球面形状を測定し、これら重複領域の形状をもとに各々の部分的な球面形状をスティッチング演算によって接合することにより、面形状を測定する球形状測定方法において、
    被測定球を自由に着脱できる球保持機構から被測定球を脱着している状態において球を球支持台で保持できるようにし、球を保持する位置を持ち替えることにより、球全体の形状を測定可能とすることを特徴とする球形状測定方法。
  2. 請求項1において、前記球支持台を回転可能としたことを特徴とする球形状測定方法。
  3. 請求項1又は2において、被測定球と面形状測定手段の位置を調整可能としたことを特徴とする球形状測定方法。
  4. 球面の部分的な形状を測定する面形状測定手段と、
    被測定球を前記面形状測定手段に対して自在に回転させる位置変更手段と、を備え、
    各々の回転位置において互いに隣り合う測定領域と重複する領域を有するように設定した測定領域毎に部分的な球面形状を測定し、これら重複領域の形状をもとに各々の部分的な球面形状をスティッチング演算によって接合することにより、面形状を測定する球形状測定装置において、
    被測定球を自由に着脱できる球保持機構、及び、該球保持機構から被測定球を脱着している状態において球を保持する球支持台を有し、球を保持する位置を持ち替えることにより、球全体の形状を測定する手段と、
    を備えたことを特徴とする球形状測定装置。
  5. 請求項4において、前記面形状測定手段がレーザ干渉計であり、前記位置変更手段が、被測定球を第一の回転軸の回りと、該第一の回転軸と直交する第二の回転軸の回りに、被測定球を回転させるものであることを特徴とする球形状測定装置。
  6. 請求項4において、前記球支持台が、前記球保持機構から脱着された球を受け入れて支持するための受入用凹部を上面に有することを特徴とする球形状測定装置。
  7. 請求項4乃至6のいずれかにおいて、更に、前記球支持台を昇降させる機構を備えたことを特徴とする球形状測定装置。
  8. 請求項4乃至7のいずれかにおいて、更に、前記球支持台を回転する機構を備えたことを特徴とする球形状測定装置。
  9. 請求項8において、前記球支持台を回転する機構の回転軸と前記位置変更手段の第二の回転軸が同軸とされていることを特徴とする球形状測定装置。
  10. 請求項4乃至9のいずれかにおいて、更に、被測定球と面形状測定手段の相対位置を調整するための直交3軸方向への並進移動機構を備えたことを特徴とする球形状測定装置。
JP2014147226A 2014-07-17 2014-07-17 球形状測定方法及び装置 Active JP6460670B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014147226A JP6460670B2 (ja) 2014-07-17 2014-07-17 球形状測定方法及び装置
DE102015009142.5A DE102015009142A1 (de) 2014-07-17 2015-07-13 Kugelform-Messverfahren und Vorrichtung
US14/800,110 US10444008B2 (en) 2014-07-17 2015-07-15 Spherical shape measurement method and apparatus for rotating a sphere about first rotation axis and rotating a sphere hold mechanism about second rotation axis orthogonal to first rotation axis
CN201510425225.6A CN105277134B (zh) 2014-07-17 2015-07-17 球形状测定方法和装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014147226A JP6460670B2 (ja) 2014-07-17 2014-07-17 球形状測定方法及び装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016023990A true JP2016023990A (ja) 2016-02-08
JP6460670B2 JP6460670B2 (ja) 2019-01-30

Family

ID=55021870

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014147226A Active JP6460670B2 (ja) 2014-07-17 2014-07-17 球形状測定方法及び装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10444008B2 (ja)
JP (1) JP6460670B2 (ja)
CN (1) CN105277134B (ja)
DE (1) DE102015009142A1 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016204493B3 (de) * 2016-03-18 2017-06-08 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Vorrichtung zur Kontrolle einer Oberfläche eines sphärischen Körpers
DE102016211657A1 (de) 2016-06-28 2017-12-28 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung eines resultierenden Abbildes einer Oberfläche
CN106949849A (zh) * 2017-03-17 2017-07-14 衢州学院 基于激光干涉全息检测法的轴承球球形误差快速检测方法
US10794688B2 (en) * 2018-03-07 2020-10-06 Mitutoyo Corporation Optical interference measuring device
JP7341388B1 (ja) 2022-12-26 2023-09-11 東洋インキScホールディングス株式会社 金属印刷用活性エネルギー線硬化型インキ組成物およびその積層体

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4414748A (en) * 1982-02-16 1983-11-15 The Unites States Of America As Represented By The Department Of Energy Ball mounting fixture for a roundness gage

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6956657B2 (en) 2001-12-18 2005-10-18 Qed Technologies, Inc. Method for self-calibrated sub-aperture stitching for surface figure measurement
CN201373721Y (zh) 2009-02-16 2009-12-30 徐州市产品质量监督检验所 螺栓球检测专用夹具
JP5602890B2 (ja) 2013-01-29 2014-10-08 ファナック株式会社 蓄電装置および抵抗放電装置を有するモータ制御装置
CN103884270B (zh) 2013-12-10 2016-08-24 合肥工业大学 圆光栅安装时产生二维微小角度的测量装置及方法
JP6351419B2 (ja) * 2014-07-17 2018-07-04 株式会社ミツトヨ 球形状測定方法及び装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4414748A (en) * 1982-02-16 1983-11-15 The Unites States Of America As Represented By The Department Of Energy Ball mounting fixture for a roundness gage

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
横山雄一郎,萩野健,栗山豊: "光波干渉による真球度の測定", 2011年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, JPN6018016421, 5 March 2012 (2012-03-05), JP, pages 868-869頁 *

Also Published As

Publication number Publication date
US20160018215A1 (en) 2016-01-21
JP6460670B2 (ja) 2019-01-30
DE102015009142A1 (de) 2016-01-21
US10444008B2 (en) 2019-10-15
CN105277134B (zh) 2019-05-07
CN105277134A (zh) 2016-01-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6460670B2 (ja) 球形状測定方法及び装置
US9297631B2 (en) Spherical-form measuring apparatus
JP6351419B2 (ja) 球形状測定方法及び装置
JP6113998B2 (ja) 形状測定機、形状測定機の調整方法および形状測定方法
JP6153816B2 (ja) 形状測定装置及びロータリテーブル座標系の登録方法
US10545102B2 (en) Coordinate alignment tool for coordinate measuring device and measuring X-ray CT apparatus
JP2017519204A (ja) 物体の幾何学的な計測装置および方法
JP5300929B2 (ja) 測定方法、測定装置及びプログラム
JP2004257927A (ja) 3次元形状測定システムおよび3次元形状測定方法
US20190293402A1 (en) Arm type coordinate measuring machine
CN108426901A (zh) 一种x射线分层扫描成像系统
JP2012063338A (ja) 球体形状測定装置
JP2010117345A (ja) 光波干渉測定装置
TWI580513B (zh) Method of Simultaneous Error Measurement of Linear and Rotating Shaft of Machine Tool
JP2014081279A (ja) 三次元形状測定装置および三次元形状測定方法
JP2003057026A (ja) プローブのアライメント調整装置、その装置を備えた測定機およびプローブのアライメント調整方法
JP2020020723A (ja) 真円度測定装置および心出し方法
JP2014202589A (ja) 面間隔測定装置
JP2006052998A (ja) 3次元形状測定方法及び3次元形状測定装置
JP2012093237A (ja) 誤差分布算出方法、形状測定方法、および形状測定装置
KR102028699B1 (ko) 렌즈의 3차원 형상 측정 방법 및 이를 위한 시스템
CN105180872A (zh) 高精度镜间隔调整环的测量方法及装置
TW201017354A (en) Alignment device for laser light and linear motion axis, and its alignment method
CN114460974A (zh) 一种大尺寸平面显示屏幕自动调平装置及调平方法
TWI451081B (zh) 電磁射線攝像系統及方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170607

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180426

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180515

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20180717

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180907

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20181204

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20181225

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6460670

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250