KR102028699B1 - 렌즈의 3차원 형상 측정 방법 및 이를 위한 시스템 - Google Patents

렌즈의 3차원 형상 측정 방법 및 이를 위한 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 렌즈의 3차원 형상 측정 방법 및 이를 위한 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 3차원 형상 측정 방법은, 중심 지지부 및 상기 중심 지지부로부터 소정 각도로 연장된 분지 구조들을 갖는 픽스쳐 및 상기 분지 구조들의 각 단부에 고정되어 원형 배열된 피측정 렌즈들을 포함하는 렌즈 부재를 준비하는 단계, 로터리 테이블에 고정되고 평평한 안치부를 갖는 지그 부재의 상기 안치부 상에 상기 픽스쳐의 상기 중심 지지부를 지지하며 상기 원형 배열된 피측정 렌즈들의 제 1 면과 3차원 측정기의 측정 센서가 수직 방향으로 대향하도록, 상기 렌즈 부재를 배치시키는 단계, 상기 3차원 측정기가, 상기 렌즈 부재의 제 1 피측정 렌즈의 제 1 면에 대하여 상기 제 1 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 1 정점의 좌표 값을 결정하는 단계, 상기 제 1 피측정 렌즈의 제 1 면과 대향하는 제 2 면이 상기 3차원 측정기의 측정 센서와 수직 방향으로 대향하도록, 상기 로터리 테이블을 ± 180°회전시키는 단계, 상기 제 1 피측정 렌즈의 제 2 면에 대하여 상기 제 1 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 2 정점의 좌표 값을 결정하는 단계 및 상기 제 1 피측정 렌즈의 상기 제 1 정점의 좌표 값과 상기 제 2 정점의 좌표 값의 편차를 계산하는 단계를 포함할 수 있다.

Description

렌즈의 3차원 형상 측정 방법 및 이를 위한 시스템{Method of measuring three dimensional shape of lens and system for measuring the same}
본 발명은 광학 부품의 품질 검사 기술에 관한 것으로서, 렌즈의 3차원 형상 측정 방법 및 이를 위한 3차원 측정기를 포함하는 3차원 형상 측정 시스템에 관한 것이다.
최근 반도체 기술 및 통신 기술과 같은 정보 통신 기술이 발전함에 따라 스마트폰 또는 태블릿 PC와 같은 단말기에 대한 고성능화와 이에 대한 수요로 이들 단말기에 적용되는 카메라 기술이 고도화되고 있다. 또한, 블루레이 디스크와 같은 광디스크 기억 장치에서 사용되는 픽업 렌즈, 또는 자율주행자동차 또는 드론과 같은 무인 구동체에 대한 최근의 연구와 수요가 증가함에 따라 다양한 형태의 렌즈 기술이 광범위하게 연구되고 있다.
상기 카메라 기술의 고도화는 렌즈와 관련된 광학 기술의 고도화를 수반하며, 그에 따라 렌즈는, 높은 해상도와 경박 단소화를 위하여 높은 투과율, 수차의 억제 능력, 색수차 보정 능력, 높은 화각, 및 경박단소화와 같은 요건을 만족하여야 하며, 이를 위하여 비구면 렌즈가 광범위하게 적용되고 있다. 상기 비구면 렌즈는 렌즈의 비구면 곡면을 통하여 렌즈의 곡면 형상의 정점(vertex)에서 가장자리까지 굴절률을 연속적으로 변화시켜 구면 수차를 보정해 주는 렌즈이기 때문에, 실제 렌즈의 제품화를 위해서는, 소정 영역에서 표면의 스크래치와 같은 일반적 불량의 검출 이외에 렌즈 설계 공식 대로 상기 정점이 렌즈의 중심에 정확하게 위치하고 있는지, 그리고 렌즈의 곡면 형상이 렌즈 설계 공식에 정확하게 일치하는지 여부가 정밀하게 평가되어야 한다. 상기 렌즈의 형상 측정을 위하여 프로브에 의한 계측이 가능한 접촉식 센서 또는 레이저 빔 또는 CCD 카메라와 같은 광학계를 이용한 비접촉식 센서를 이용한 3차원 측정 시스템이 사용되고 있다.
그러나, 종래의 상기 3차원 측정 시스템은 렌즈의 제 1 표면, 정확하게는 곡면이 형성되어 있는 제 1 표면에 대하여야만 렌즈의 곡면 형상 측정이 수행되며, 렌즈의 상기 제 1 표면에 대향하는 제 2 표면에 대해서는 렌즈의 곡면 형상 측정이 수행되지 않아서, 렌즈의 전체 곡면 형상에 대한 신뢰성 있는 측정이 어려울 수 있다. 따라서, 렌즈의 곡면 형상에 대한 신뢰성 있는 측정을 위해서는, 새로운 측정 메커니즘이 요구될 수 있다.
따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 렌즈의 곡면 형상에 대한 신뢰성 있는 3차원 측정 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 전술한 이점을 갖는 렌즈의 3차원 형상 측정 시스템을 제공하는 것이다.
따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 렌즈의 곡면 형상에 대한 신뢰성 있는 3차원 측정 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 전술한 이점을 갖는 렌즈의 3차원 형상 측정 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 중심 지지부 및 상기 중심 지지부로부터 소정 각도로 연장된 분지 구조들을 갖는 픽스쳐 및 상기 분지 구조들의 각 단부에 고정되어 원형 배열된 피측정 렌즈들을 포함하는 렌즈 부재를 준비하는 단계; 로터리 테이블에 고정되고 평평한 안치부를 갖는 지그 부재의 상기 안치부 상에 상기 픽스쳐의 상기 중심 지지부를 지지하며 상기 원형 배열된 피측정 렌즈들의 제 1 면과 3차원 측정기의 측정 센서가 수직 방향으로 대향하도록, 상기 렌즈 부재를 배치시키는 단계; 상기 3차원 측정기가, 상기 렌즈 부재의 제 1 피측정 렌즈의 제 1 면에 대하여 상기 제 1 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 1 정점의 좌표 값을 결정하는 단계; 상기 제 1 피측정 렌즈의 제 1 면과 대향하는 제 2 면이 상기 3차원 측정기의 측정 센서와 수직 방향으로 대향하도록, 상기 로터리 테이블을 ± 180°회전시키는 단계; 상기 제 1 피측정 렌즈의 제 2 면에 대하여 상기 제 1 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 2 정점의 좌표 값을 결정하는 단계; 및 상기 제 1 피측정 렌즈의 상기 제 1 정점의 좌표 값과 상기 제 2 정점의 좌표 값의 편차를 계산하는 단계를 포함하는 3차원 형상 측정 방법이 제공될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제 1 피측정 렌즈에 대한 편차 계산 후에, 상기 제 1 피측정 렌즈와 다른 제 2 피측정 렌즈가 선택되도록, 상기 3차원 측정기의 측정 센서를 상기 제 2 피측정 렌즈로 이동시키는 단계가 더 포함될 수 있다. 상기 3차원 측정기의 측정 센서의 이동량은 상기 제 1 피측정 렌즈와 상기 제 2 피측정 렌즈 사이의 간격 및 각도 중 적어도 하나에 대응하는 오프셋이 포함될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 3차원 측정기가, 상기 선택된 제 2 피측정 렌즈의 제 1 면에 대하여 상기 제 2 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 3 정점의 좌표 값을 결정하는 단계; 상기 제 2 피측정 렌즈의 제 1 면과 대향하는 제 2 면이 상기 3차원 측정기의 측정 센서와 수직 방향으로 대향하도록, 상기 로터리 테이블을 ± 180°회전시키는 단계; 상기 제 2 피측정 렌즈의 제 2 면에 대하여 상기 제 2 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 4 정점의 좌표 값을 결정하는 단계; 및 상기 제 2 피측정 렌즈의 상기 제 3 정점의 좌표 값과 상기 제 4 정점의 좌표 값의 편차를 계산하는 단계가 더 포함될 수 있다. 상기 원형 배열된 피측정 렌즈들의 상기 제 1 면과 상기 3차원 측정기의 측정 센서가 대향하도록, 상기 로터리 테이블을 ± 180°회전시키는 단계가 더 포함될 수 있다. 상기 지그 부재의 수평면과 상기 렌즈 부재의 수평면은 동일 방향을 가질 수 있다. 상기 로터리 테이블의 회전력이 상기 지그 부재를 통해 상기 렌즈 부재로 전달될 수 있다. 상기 로터리 테이블은 기준 좌표계 중 z 축의 상기 지그 부재의 수평면과 평행 교차하는 y 축을 기준으로 회전할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 로터리 테이블; 상기 로터리 테이블에 고정되고 평평한 안치부를 가지며, 상기 안치부를 통해 렌즈 부재를 지지하는 지그 부재; 상기 렌즈 부재는 중심 지지부 및 상기 중심 지지부로부터 소정 각도로 연장된 분지 구조들을 갖는 픽스쳐 및 상기 분지 구조들의 각 단부에 고정되어 원형 배열된 피측정 렌즈들을 포함하고, 상기 픽스쳐의 상기 중심 지지부를 지지하며 상기 원형 배열된 피측정 렌즈들의 제 1 면과 3차원 측정기의 측정 센서가 수직 방향으로 대향하도록, 상기 지그 부재의 상기 안치부 상에 상기 렌즈 부재가 배치되며, 상기 렌즈 부재의 제 1 피측정 렌즈의 제 1 면에 대하여 상기 제 1 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 1 정점의 좌표 값을 결정하고, 상기 제 1 피측정 렌즈의 제 1 면과 대향하는 제 2 면이 상기 3차원 측정기의 측정 센서와 수직 방향으로 대향하도록, 상기 로터리 테이블을 ± 180°회전시키도록 제어하며, 상기 제 1 피측정 렌즈의 제 2 면에 대하여 상기 제 1 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 2 정점의 좌표 값을 결정하고, 상기 제 1 피측정 렌즈의 상기 제 1 정점의 좌표 값과 상기 제 2 정점의 좌표 값의 편차를 계산하는 3차원 측정기를 포함하는 3차원 형상 측정 시스템이 제공될 수 있다. 상기 3차원 측정기는 상기 제 1 피측정 렌즈에 대한 양 정점의 좌표 값의 편차 계산 후에, 상기 제 1 피측정 렌즈와 다른 제 2 피측정 렌즈가 선택되도록, 상기 3차원 측정기의 측정 센서를 상기 제 2 피측정 렌즈로 이동시킬 수 있다. 상기 3차원 측정기의 측정 센서의 이동량은 상기 제 1 피측정 렌즈와 상기 제 2 피측정 렌즈 사이의 간격 및 각도 중 적어도 하나에 대응하는 오프셋을 포함할 수 있다. 상기 3차원 측정기는,상기 선택된 제 2 피측정 렌즈의 제 1 면에 대하여 상기 제 2 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 3 정점의 좌표 값을 결정하고, 상기 제 2 피측정 렌즈의 제 1 면과 대향하는 제 2 면이 상기 3차원 측정기의 측정 센서와 수직 방향으로 대향하도록, 상기 로터리 테이블을 ± 180°회전시키고, 상기 제 2 피측정 렌즈의 제 2 면에 대하여 상기 제 2 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 4 정점의 좌표 값을 결정하고, 상기 제 2 피측정 렌즈의 상기 제 3 정점의 좌표 값과 상기 제 4 정점의 좌표 값의 편차를 계산할 수 있다. 상기 3차원 측정기는, 상기 원형 배열된 피측정 렌즈들의 상기 제 1 면과 상기 3차원 측정기의 측정 센서가 대향하도록, 상기 로터리 테이블을 ± 180°회전시키도록 제어할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 제 1 피측정 렌즈의 제 1 면에 대하여 상기 제 1 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 1 정점(vertex)의 좌표 값을 결정하고, 상기 제 1 피측정 렌즈의 제 1 면과 대향하는 제 2 면이 상기 3차원 측정기의 측정 센서와 수직 방향으로 대향하도록, 로터리 테이블을 ± 180°회전시켜서, 상기 제 1 피측정 렌즈의 제 2 면에 대하여 상기 제 1 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 2 정점의 좌표 값을 결정하고, 상기 제 1 피측정 렌즈의 상기 제 1 정점의 좌표 값과 상기 제 2 정점의 좌표 값의 편차를 계산함으로써, 렌즈의 곡면 형상에 대한 신뢰성 있는 측정이 가능하다.
또한, 로터리 테이블에 의한 회전으로, 제 1 피측정 렌즈의 제 1 면과 제 2 면에 대하여, 번거로움이 없이 제 1 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 복수의 정점의 좌표 값을 결정할 수 있다.
도 1a 내지 도 1c는 본 발명의 일 실시예에 따른 3차원 형상 측정 시스템의 렌즈의 곡면 형상을 측정하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1a 내지 도 1c에 대응하는 지그 부재와 결합된 렌즈 부재를 확대한 도면이다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 1a 내지 도 1c에 대응하는 지그 부재와 결합된 렌즈를 확대한 도면이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 렌즈 부재의 구성을 나타내는 도면이고, 도 4b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 피측정 렌즈 부재의 구성을 나타내는 도면이고, 도 4c는 4a 및 도 4b의 렌즈의 단면도이며, 도 4d는 도 4c의 ± 180°회전 후의 렌즈의 단면도이다.
도 5a 내지 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 3차원 형상 측정 시스템의 렌즈의 곡면 형상을 측정하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다.
또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
본 명세서에서 제 1, 제 2 등의 용어가 다양한 부재, 부품, 영역, 및/또는 부분들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 및/또는 부분들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안됨은 자명하다. 이들 용어는 하나의 부재, 부품, 영역 또는 부분을 다른 영역 또는 부분과 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술할 제 1 부재, 부품, 영역 또는 부분은 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제 2 부재, 부품, 영역 또는 부분을 지칭할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명된다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 부재들의 크기와 형상은 설명의 편의와 명확성을 위하여 과장될 수 있으며, 실제 구현시, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예는 본 명세서에 도시된 부재 또는 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 된다.
도 1a 내지 도 1c는 본 발명의 일 실시예에 따른 3차원 형상 측정 시스템의 렌즈의 곡면 형상을 측정하는 방법을 설명하기 위한 도면이고, 도 2a 내지 도 1c는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1a 내지 도 1c에 대응하는 A 영역에 대하여 지그 부재와 결합된 복수의 피측정 렌즈를 포함하는 렌즈 부재를 확대한 도면이며, 도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 1a 내지 도 1c에 대응하는 지그 부재와 하나의 피측정 렌즈를 포함하는 렌즈 부재를 확대한 도면이다.
상기 3차원 형상 측정 시스템은 비접촉식 센서 또는 접촉식 센서를 이용하여 렌즈의 표면을 탐침하는 3차원 측정기(미도시함), 로터리 테이블(RT), 제 1 지그(Z1) 및 제 2 지그(Z2)를 포함하는 지그 부재(Z1, Z2)를 포함할 수 있다. 로터리 테이블(RT)은 제 2 지그(Z2)의 일단부와 결합되어, 제 2 지그(Z2)을 회전시킬 수 있다. 구체적으로, 제 2 지그(Z2)는 로터리 테이블(RT)에 고정되어, 로터리 테이블(RT)의 회전 운동에 의해 로터리 테이블(RT)와 함께 회전될 수 있다. 또는, 로터리 테이블(RT)은 회전 운동을 하지 않으며, 제 2 지그(Z2) 자체만을 회전시킬 수 있다. 다른 실시예에서, 로터리 테이블(RT) 및 제 2 지그(Z2)는 회전 운동을 하지 않으며, 제 1 지그(Z1) 자체만을 회전 운동시킬 수 있다.
제 1 지그(Z1)의 일단부는 제 2 지그(Z2)의 타단부가 결합되어, 적어도 하나의 피측정 렌즈를 포함하는 렌즈 부재(PL)를 수용하는 안착부(ST)를 포함할 수 있으며, 제 1 지그(Z1)의 타단부에 배치되는 안착부(ST)에 의해 수용된 피측정 렌즈 부재(PL)는 제 2 지그(Z2)의 회전 운동에 의해 회전될 수 있다. 구현에 있어서, 제 1 지그(Z1)와 제 2 지그(Z2)는 일체형으로 하나의 지그로 배치될 수 있다. 또한, 렌즈 부재(PL)의 적어도 하나의 피측정 렌즈의 제 1 면(F)과 상기 3차원 측정기의 측정 센서(PR)가 수직 방향(Z축)으로 대향하도록, 렌즈 부재(PL)는 제 1 지그(Z1)의 안착부(ST)에 의해 제 1 지그(Z1)의 타단부에 고정될 수 있다. 여기서, 피측정 렌즈의 제 1 면(F)은 굴곡 표면을 갖는 상부면일 수 있다. 일부 실시예에서, 제 1 지그(Z1), 제 2 지그(Z2) 및 렌즈 부재(PL)는 수평 방향(x축)으로 정렬 배치될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 접촉식 센서는 스타일러스와 프로브 팁으로 구성된 프로브를 포함하며, 프로브 팁이 피측정 렌즈의 측정 표면(F, B)과 접촉하여 위치, 길이 및/또는 형상을 측정할 수 있다. 또한, 상기 접촉식 센서는 피측정 렌즈와의 상대 변위를 통하여 전 방향에서 측정할 수 있으며, 상기 접촉식 센서는 압전식 프로브, 스위칭 프로브, 아나로그 스캐닝 프로브 또는 화이버(fiber) 프로브와 같은 공지의 측정 프로브일 수 있으며, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
일 실시예에서, 상기 비접촉식 센서는 레이저 빔, 적외선 빔, 램프와 같은 광원부와 전하결합소자(charge coupled device; CCD)나 CMOS 이미지 센서와 같은 수광 센서를 포함할 수 있다. 상기 광원부는 광 생성을 위한 광원 및 소정 위치에 광 조사를 위한 렌즈계 또는 광섬유와 같은 광가이드 부재를 포함할 수 있다. 상기 광원부와 상기 수광 센서의 위치는 광축 상에 서로 결합되어 있거나 서로 분리되어 피측정 렌즈를 사이에 두고 서로 대향 배치될 수도 있다. 또는 전술한 렌즈계 또는 광가이드 부재에 따라 상기 광원부와 수광 센서는 서로 오프셋될 수 있으며, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
도 1a 및 도 2a를 참조하면, 제 1 지그(Z1)의 안착부(ST)에 의해 제 1 지그(Z1)의 타단부에 고정되는 렌즈 부재(PL) 중 선택된 피측정 렌즈의 제 1 정점의 좌표 값이, 상기 3차원 측정기에 의해 결정될 수 있다. 상기 제 1 정점의 좌표 값은 상기 선택된 피측정 렌즈의 제 1 면(F)에 대하여 상기 선택된 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 것으로서, 종래의 공지된 내용을 참조할 수 있다.
여기서, 상기 피측정 렌즈의 제 1 정점 및 후술할 제 2 정점은 도면 혹은 렌즈 설계 공식에 대해 이론적으로 렌즈 외곽원의 중심점과 일치할 수 있으며, 일치하는 경우에 상기 피측정 렌즈의 중심점으로 지칭될 수 있다.
일 실시예에서, 렌즈 부재(PL)는 xy 평면 상에서, 원의 중심으로부터 소정 각도로 연장된 분지 구조들을 갖는 픽스쳐 및 상기 분지 구조들의 각 단부에 고정되어 원형 배열된 피측정 렌즈들(LE)을 포함할 수 있다. 렌즈 부재(PL)는 로터리 테이블(RT)에 고정되고 평평한 안치부(ST)를 갖는 지그 부재(Z1)의 안치부(ST) 상에 상기 픽스쳐의 중심을 지지하며 상기 원형 배열된 피측정 렌즈들(LE)의 제 1 면(F)과 상기 3차원 측정기의 측정 센서(PR)가 수직 방향으로 대향하도록, 배치될 수 있다.
다른 실시예에서, 도 3a에서처럼, 렌즈 부재(PL)는 xy 평면 상에서, 제 1 지그(Z1)의 단부에 고정부(FI)를 통해서 고정된 하나의 피측정 렌즈(LE)을 포함할 수 있다. 렌즈 부재(PL)는 로터리 테이블(RT)에 고정되고 평평한 고정부(FI)를 갖는 지그 부재(Z1)의 안치부(FI) 상에 고정된 피측정 렌즈(LE)의 제 1 면(F)과 상기 3차원 측정기의 측정 센서(PR)가 수직 방향으로 대향하도록, 배치될 수 있다.
도 1b 및 도 2b를 참조하면, 상기 선택된 피측정 렌즈의 제 1 면(F)과 대향하는 제 2 면(B)이 상기 3차원 측정기의 측정 센서(PR)와 수직 방향으로 대향하도록, 로터리 테이블(RT), 제 1 지그(Z1) 및 제 2 지그(Z2) 중 적어도 하나 이상이 ± 180°회전될 수 있다. 상기 회전 방향은 상기 제 1 정점의 좌표 값을 결정하기 위한 3차원 공간에서 데카르트 좌표계로 표시되는 렌즈 부재(PL)의 기준 좌표계로부터 결정될 수 있다. 상기 기준 좌표계의 z축은 수직 방향일 수 있으며, x축은 로터리 테이블(RT)의 한 면을 기준으로 수직하는 방향일 수 있다. 이때, 제 1 지그(Z1) 및 제 2 지그(Z2) 중 적어도 하나는 x축 및 z축과 수직하는 y축을 기준으로 회전될 수 있다.
일 실시예에서, 렌즈 부재(PL)는 xz 평면 상에서, 원의 중심으로부터 소정 각도로 연장된 분지 구조들을 갖는 픽스쳐 및 상기 분지 구조들의 각 단부에 고정되어 원형 배열된 피측정 렌즈들(LE)을 포함할 수 있다. 렌즈 부재(PL)는 로터리 테이블(RT)에 고정되고 평평한 안치부(ST)를 갖는 지그 부재(Z1)의 안치부(ST) 상에 상기 픽스쳐의 중심을 지지하며 상기 원형 배열된 피측정 렌즈들(LE)의 제 1 면(F)과 상기 3차원 측정기의 측정 센서(PR)가 수직 방향으로 대향하도록, 배치될 수 있다.
다른 실시예에서, 도 3b에서처럼, 렌즈 부재(PL)는 xz 평면 상에서, 제 1 지그(Z1)의 단부에 고정부(FI)를 통해서 고정된 하나의 피측정 렌즈(LE)을 포함할 수 있다. 렌즈 부재(PL)는 로터리 테이블(RT)에 고정되고 평평한 고정부(FI)를 갖는 지그 부재(Z1)의 안치부(FI) 상에 고정된 피측정 렌즈(LE)의 제 1 면(F)과 상기 3차원 측정기의 측정 센서(PR)가 수직 방향으로 대향하도록, 배치될 수 있다.
도 1c 및 도 2c를 참조하면, 로터리 테이블(RT), 제 1 지그(Z1) 및 제 2 지그(Z2) 중 적어도 하나 이상을 ± 180°회전시킴으로써, 상기 선택된 피측정 렌즈의 제 1 면(F)과 대향하는 제 2 면(B)이 상기 3차원 측정기의 측정 센서(PR)와 수직 방향으로 대향될 수 있으며, 제 1 지그(Z1)의 안착부(ST)에 의해 제 1 지그(Z1)의 타단부에 고정되는 렌즈 부재(PL) 중 선택된 피측정 렌즈의 제 2 정점의 좌표 값이, 상기 3차원 측정기에 의해 결정될 수 있다. 상기 제 2 정점의 좌표 값은 상기 선택된 피측정 렌즈의 제 2 면(B)에 대하여 상기 선택된 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 것으로서, 종래의 공지된 내용을 참조할 수 있다. 여기서, 피측정 렌즈의 제 2 면(B)은 제 1 면(F)에 대항하며, 굴곡 표면을 갖는 렌즈의 하부면일 수 있다. 일부 실시예에서, 제 1 지그(Z1), 제 2 지그(Z2) 및 렌즈 부재(PL)는 수평 방향(x축)으로 정렬 배치될 수 있다.
일 실시예에서, 렌즈 부재(PL)는 xy 평면 상에서, 원의 중심으로부터 소정 각도로 연장된 분지 구조들을 갖는 픽스쳐 및 상기 분지 구조들의 각 단부에 고정되어 원형 배열된 피측정 렌즈들(LE)을 포함할 수 있다. 렌즈 부재(PL)는 로터리 테이블(RT)에 고정되고 평평한 안치부(ST)를 갖는 지그 부재(Z1)의 안치부(ST) 상에 상기 픽스쳐의 중심을 지지하며 상기 원형 배열된 피측정 렌즈들(LE)의 제 1 면(F)과 상기 3차원 측정기의 측정 센서(PR)가 수직 방향으로 대향하도록, 배치될 수 있다. 이때, 렌즈 부재(PL)가 xy 평면 상에서 ± 180°회전되면, 피측정 렌즈들(LE)의 제 2 면(B)들이 렌즈 부재(PL)를 지지하는 제 1 지그 (Z1)에 의해 가려지지 않도록, 제 1 지그(Z1)의 넓이(L1)는 원의 중심으로부터 소정 각도 사이의 넓이(L2)보다 작을 수 있다.
다른 실시예에서, 도 3c에서처럼, 로터리 테이블(RT), 제 1 지그(Z1) 및 제 2 지그(Z2) 중 적어도 하나 이상의 ± 180°회전에 의해서, 렌즈 부재(PL)는 xy 평면 상에서, 제 1 지그(Z1)의 단부에 고정부(FI)를 통해서 고정된 하나의 피측정 렌즈(LE)을 포함할 수 있다. 렌즈 부재(PL)는 로터리 테이블(RT)에 고정되고 평평한 고정부(FI)를 갖는 지그 부재(Z1)의 안치부(FI) 상에 고정된 피측정 렌즈(LE)의 제 2 면(B)과 상기 3차원 측정기의 측정 센서(PR)가 수직 방향으로 대향하도록, 배치될 수 있다.
도 1a 내지 도 1c, 도 2a 내지 도 1c 그리고 도 3a 내지 도 3c는 피측정 렌즈의 제 1 면(F)에 대하여 렌즈의 제 1 정점의 좌표 값이 결정된 후, 로터리 테이블(RT)의 회전 운동을 통해 피측정 렌즈의 제 2 면(B)에 대하여 렌즈의 제 2 정점의 좌표 값이 결정될 수는 것을 예시하고 있지만, 피측정 렌즈의 제 2 면(B)에 대하여 렌즈의 제 2 정점의 좌표 값이 결정된 후, 로터리 테이블(RT)의 회전 운동을 통해 피측정 렌즈의 제 1 면(F)에 대하여 렌즈의 제 1 정점의 좌표 값이 결정될 수도 있다. 다른 실시예에서, 복수의 피측정 렌즈들의 각각 제 1 면(F)에 대하여 렌즈의 제 1 정점의 좌표 값이 결정된 후, 로터리 테이블(RT)의 회전 운동을 통해 피측정 렌즈의 제 2 면(B)에 대하여 렌즈의 각각 제 2 정점의 좌표 값이 결정될 수 있다. 또 다른 실시예에서, 하나의 피측정 렌즈의 제 1 면(F)에 대하여 렌즈의 제 1 정점의 좌표 값이 결정된 후, 로터리 테이블(RT)의 제 1 회전 운동을 통해 상기 하나의 피측정 렌즈의 제 2 면(B)에 대하여 렌즈의 제 2 정점의 좌표 값이 결정되며, 이후 로터리 테이블(RT)의 제 2 회전 운동을 통해, 다른 피측정 렌즈의 제 1 면(F)에 대하여 렌즈의 제 1 정점의 좌표 값이 결정된 후, 로터리 테이블(RT)의 제 3 회전 운동을 통해 상기 다른 피측정 렌즈의 제 2 면(B)에 대하여 렌즈의 제 2 정점의 좌표 값이 결정될 수 있다. 만약, 렌즈 부재(PL)가 N 개의 렌즈들을 포함하는 경우, 순차적으로 N회에 걸쳐서 피측정 렌즈의 제 1 면(F)에 대하여 렌즈의 제 1 정점의 좌표 값 및 렌즈의 제 2 정점의 좌표 값이 결정될 수 있다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 렌즈 부재(PL)의 구성을 나타내는 도면이고, 도 4b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 렌즈 부재(PL)의 구성을 나타내는 도면이고, 도 4c는 4a 및 도 4b의 렌즈의 단면도이며, 도 4d는 도 4c의 ± 180°회전 후의 렌즈의 단면도이다.
도 4a를 참조하면, 렌즈 부재(PL)는 중심 지지부(C) 및 중심 지지부(C)로부터 소정 각도로 연장된 분지 구조들을 갖는 픽스쳐(FX) 및 상기 분지 구조들의 각 단부에 고정되어 원형 배열된 피측정 렌즈들(Ln)을 포함할 수 있다. 중심 지지부(C)는 전술한 제 1 지그(Z1)의 평평한 안치부(ST)와 결합되어, 렌즈 부재(PL)가 제 1 지그(Z1)에 지지되어 제 1 지그(Z1)의 회전 운동에 따라 회전되도록 할 수 있다.
다른 실시예에서, 도 4b를 참조하면, 렌즈 부재(PL)는 하나의 피측정 렌즈(Ln)를 포함할 수 있다. 렌즈 부재(PL)의 일단이 고정부(FI)와 결합되어, 렌즈 부재(PL)가 제 1 지그(Z1)에 고정되어 제 1 지그(Z1)의 회전 운동에 따라 회전되도록 할 수 있다.
도 4a 및 도 4b의 피측정 렌즈들은 도 4c 및 도 4d와 같이 상부면과 하부면 모두 굴곡 표면을 갖는 렌즈일 수 있다. 도 4c는 xz 평면상에서 상부면(F)에 굴곡을 갖는 피측정 렌즈(Ln)의 단면도를 보여주는 것이며, P1은 전술한 공지된 3차원 측정을 통해 산출된 피측정 렌즈(Ln)의 상부면(또는 제 1 면)(F)에 대하여 피측정 렌즈(Ln)의 중심점을 나타내는 제 1 정점의 좌표 값을 지칭하며, 유사하게 P2는 전술한 공지된 3차원 측정을 통해 산출된 피측정 렌즈(Ln)의 하부면(또는 제 2 면)(B)에 대하여 피측정 렌즈(Ln)의 중심점을 나타내는 제 2 정점의 좌표 값을 지칭할 수 있다.
도 5a 내지 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 3차원 형상 측정 시스템의 렌즈의 곡면 형상을 측정하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 5a를 참조하면, 상기 방법은 중심 지지부(C) 및 중심 지지부(C)로부터 소정 각도로 연장된 분지 구조들을 갖는 픽스쳐(FX) 및 상기 분지 구조들의 각 단부에 고정되어 원형 배열된 피측정 렌즈들(Ln)을 포함하는 렌즈 부재(PL)를 준비하는 단계(S10), 로터리 테이블(RT)에 고정되고 평평한 안치부(ST)를 갖는 지그 부재(Z1, Z2)의 안치부(ST) 상에 픽스쳐(FX)의 중심 지지부(C)를 지지하며, 원형 배열된 피측정 렌즈들(Ln)의 제 1 면, 예컨대, 곡면을 갖는 상부 표면(F)과 3차원 측정기(미도시함)의 측정 센서(PR)가 수직 방향으로 대향하도록, 렌즈 부재(PL)를 배치시키는 단계(S20), 상기 3차원 측정기가, 렌즈 부재(PL)의 제 1 피측정 렌즈의 제 1 면(F)에 대하여 제 1 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 1 정점의 좌표 값을 결정하는 단계(S30), 상기 제 1 피측정 렌즈의 제 1 면(F)과 대향하는 제 2 면(B)이 상기 3차원 측정기의 측정 센서(PR)와 수직 방향으로 대향하도록, 상기 로터리 테이블(RT)을 ± 180°회전시키는 단계(S40), 상기 제 1 피측정 렌즈의 제 2 면(B)에 대하여 상기 제 1 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 2 정점의 좌표 값을 결정하는 단계(S50) 및 상기 제 1 피측정 렌즈의 상기 제 1 정점의 좌표 값과 상기 제 2 정점의 좌표 값의 편차를 계산하는 단계(S60)를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제 1 피측정 렌즈에 대한 편차 계산(S60) 후에, 측정되지 않은 다른 제 2 피측정 렌즈에 대한 편차를 계산하기 위해, 상기 원형 배열된 피측정 렌즈들의 상기 제 1 면(F)과 상기 3차원 측정기의 측정 센서가 대향하도록, 상기 로터리 테이블을 ± 180°회전시키는 단계가 더 포함될 수 있다. 구현에 있어서, 상기 원형 배열된 피측정 렌즈들의 상기 제 1 면(F)과 상기 3차원 측정기의 측정 센서가 대향하도록, 상기 로터리 테이블이 ± 180°회전될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 로터리 테이블이 ± 180°회전(S70) 이후에, 상기 제 1 피측정 렌즈와 상기 제 2 피측정 렌즈가 선택되도록, 상기 3차원 측정기의 측정 센서를 상기 제 2 피측정 렌즈로 이동시키는 단계(S80)가 더 포함될 수 있다. 상기 3차원 측정기의 측정 센서의 이동량은 상기 제 1 피측정 렌즈와 상기 제 1 피측정 렌즈와 인접한 상기 제 2 피측정 렌즈 사이의 간격 및 각도 중 적어도 하나에 대응하는 오프셋을 포함할 수 있다.
이후, 상기 제 2 피측정 렌즈에 대한 양 정점의 좌표 값의 편차를 계산하기 위해, S30 단계 내지 S60 단계가 반복 수행될 수 있다.
구체적으로, 상기 3차원 측정기가, 상기 선택된 제 2 피측정 렌즈의 제 1 면에 대하여 상기 제 2 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 3 정점의 좌표 값을 결정하는 단계(S20), 상기 제 2 피측정 렌즈의 제 1 면과 대향하는 제 2 면이 상기 3차원 측정기의 측정 센서와 수직 방향으로 대향하도록, 상기 로터리 테이블을 ± 180°회전시키는 단계(S40), 상기 제 2 피측정 렌즈의 제 2 면에 대하여 상기 제 2 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 4 정점의 좌표 값을 결정하는 단계(S50) 및 상기 제 2 피측정 렌즈의 상기 제 3 정점의 좌표 값과 상기 제 4 정점의 좌표 값의 편차를 계산하는 단계(S60)가 수행될 수 있다.
일 실시예에서, 지그 부재(Z1, Z2)의 수평면과 피측정 렌즈 부재(PL)의 수평면은 동일 방향을 가질 수 있으며, 로터리 테이블(RT)의 회전력이 상기 지그 부재(Z1, Z2)를 통해 피측정 렌즈 부재(PL)로 전달될 수 있다. 또한, 일 실시예에서, 상기 로터리 테이블은 기준 좌표계 중 z 축의 상기 지그 부재의 수평면과 평행 교차하는 y 축을 기준으로 회전될 수 있다.
도 5a는 상기 제 1 피측정 렌즈에 대한 편차 계산(S60) 후에 상기 원형 배열된 피측정 렌즈들의 상기 제 1 면(F)과 상기 3차원 측정기의 측정 센서가 대향하도록, 상기 로터리 테이블을 ± 180°회전시키는 단계가 수행되는 것을 예시하고 있지만, 도 5b의 다른 실시예에서, 상기 제 1 피측정 렌즈에 대한 편차 계산(S60) 후에, 상기 제 1 피측정 렌즈와 다른 제 2 피측정 렌즈가 선택되도록, 상기 3차원 측정기의 측정 센서를 상기 제 2 피측정 렌즈로 이동시키는 단계(S70) 이후, 상기 원형 배열된 피측정 렌즈들의 상기 제 1 면(F)과 상기 3차원 측정기의 측정 센서가 대향하도록, 상기 로터리 테이블을 ± 180°회전하는 단계(S80)가 수행될 수 있다.
도 5b의 S10 단계 내지 S60 단계는 도 5a와 동일한 단계이며, 모순되지 않은 한, 도 5a의 S10 단계 내지 S60 단계에 대한 설명을 참조할 수 있다.
전술한 것과 같이, 제 1 피측정 렌즈의 제 1 면(F)에 대하여 상기 제 1 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 1 정점의 좌표 값(P1)을 결정하고, 상기 제 1 피측정 렌즈의 제 1 면(F)과 대향하는 제 2 면(B)이 상기 3차원 측정기의 측정 센서(PR)와 수직 방향으로 대향하도록, 로터리 테이블(RT)을 ± 180°회전시켜서, 상기 제 1 피측정 렌즈의 제 2 면(B)에 대하여 상기 제 1 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 2 정점의 좌표 값(P2)을 결정하고, 상기 제 1 피측정 렌즈의 상기 제 1 정점의 좌표 값(P1)과 상기 제 2 정점의 좌표 값(P2)의 편차를 계산함으로써, 렌즈의 곡면 형상에 대한 신뢰성 있는 측정이 가능하다.
또한, 로터리 테이블(RT)에 의한 회전으로, 제 1 피측정 렌즈의 제 1 면(F)과 제 2 면(B)에 대하여, 별도의 복잡한 절차 없이 제 1 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 정점의 좌표 값(P1, P2)을 결정할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명이 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

Claims (13)

  1. 중심 지지부, 상기 중심 지지부로부터 제 1 소정 각도로 연장된 제1 분지 구조들 및 상기 제 1 분지 구조들의 각 단부로부터 제 2 소정 각도로 연장된 제 2 분지 구조들을 갖는 픽스쳐 및 상기 제 2 분지 구조들의 각 단부에 고정되어 원형 배열된 복수의 피측정 렌즈들을 포함하는 렌즈 부재를 준비하는 단계;
    로터리 테이블에 고정되어 회전력을 전달하는 연장부 및 상기 연장부와 결합된 평평한 안치부를 가지며, 상기 복수의 피측정 렌즈들과 중첩되지 않도록 상기 제 1 분지 구조들 사이에 배치되는 지그 부재의 상기 안치부 상에 상기 픽스쳐의 상기 중심 지지부를 지지하며 상기 원형 배열된 피측정 렌즈들의 제 1 면과 3차원 측정기의 측정 센서가 수직 방향으로 대향하도록, 상기 렌즈 부재를 배치시키는 단계;
    상기 3차원 측정기가, 상기 렌즈 부재의 제 1 피측정 렌즈의 제 1 면에 대하여 상기 제 1 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 1 정점의 좌표 값을 결정하는 단계;
    상기 제 1 피측정 렌즈의 제 1 면과 대향하는 제 2 면이 상기 3차원 측정기의 측정 센서와 수직 방향으로 대향하도록, 상기 연장부의 수직 회전력에 따라 상기 렌즈 부재를 ± 180°회전시키는 단계;
    상기 제 1 피측정 렌즈의 제 2 면에 대하여 상기 제 1 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 2 정점의 좌표 값을 결정하는 단계; 및
    상기 제 1 피측정 렌즈의 상기 제 1 정점의 좌표 값과 상기 제 2 정점의 좌표 값의 편차를 계산하는 단계;
    상기 제 1 피측정 렌즈와 다른 제 2 피측정 렌즈가 선택되도록, 상기 3차원 측정기의 측정 센서 또는 상기 로터리 테이블을 수평 회전 이동시키는 단계;
    상기 3차원 측정기가, 상기 선택된 제 2 피측정 렌즈의 제 1 면에 대하여 상기 제 2 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 3 정점의 좌표 값을 결정하는 단계;
    상기 제 2 피측정 렌즈의 제 1 면과 대향하는 제 2 면이 상기 3차원 측정기의 측정 센서와 수직 방향으로 대향하도록, 상기 연장부의 수직 회전력에 따라 상기 렌즈 부재를 ± 180° 회전시키는 단계;
    상기 제 2 피측정 렌즈의 제 2 면에 대하여 상기 제 2 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 4 정점의 좌표 값을 결정하는 단계; 및
    상기 제 2 피측정 렌즈의 상기 제 3 정점의 좌표 값과 상기 제 4 정점의 좌표 값의 편차를 계산하는 단계를 포함하는 3차원 형상 측정 방법.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 3차원 측정기의 측정 센서의 이동량은 상기 제 1 피측정 렌즈와 상기 제 2 피측정 렌즈 사이의 간격 및 각도 중 적어도 하나에 대응하는 오프셋을 포함하는 3차원 형상 측정 방법.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 원형 배열된 피측정 렌즈들의 상기 제 1 면과 상기 3차원 측정기의 측정 센서가 대향하도록, 상기 로터리 테이블을 ± 180°회전시키는 단계를 더 포함하는 3차원 형상 측정 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 지그 부재의 수평면과 상기 렌즈 부재의 수평면은 동일 방향을 갖는3차원 형상 측정 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 로터리 테이블의 회전력이 상기 지그 부재를 통해 상기 렌즈 부재로 전달되는 3차원 형상 측정 방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 로터리 테이블은 기준 좌표계 중 z 축의 상기 지그 부재의 수평면과 평행 교차하는 y 축을 기준으로 회전하는 3차원 형상 측정 방법.
  9. 로터리 테이블;
    상기 로터리 테이블에 고정되어 회전력을 전달하는 연장부 및 상기 연장부와 결합된 평평한 안치부를 가지며, 상기 안치부를 통해 렌즈 부재를 지지하는 지그 부재; 상기 렌즈 부재는 중심 지지부, 상기 중심 지지부로부터 제 1 소정 각도로 연장된 제 1 분지 구조들 및 상기 제 1 분지 구조들의 각 단부로부터 제 2 소정 각도로 연장된 제 2 분지 구조들을 갖는 픽스쳐 및 상기 제 2 분지 구조들의 각 단부에 고정되어 원형 배열된 피측정 렌즈들을 포함하고, 상기 픽스쳐의 상기 중심 지지부를 지지하며 상기 원형 배열된 피측정 렌즈들의 제 1 면과 3차원 측정기의 측정 센서가 수직 방향으로 대향하도록, 상기 복수의 피측정 렌즈들과 중첩되지 않도록 상기 제 1 분지 구조들 사이에 배치되는 상기 지그 부재의 상기 안치부 상에 상기 렌즈 부재가 배치되며,
    상기 렌즈 부재의 제 1 피측정 렌즈의 제 1 면에 대하여 상기 제 1 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 1 정점의 좌표 값을 결정하고, 상기 제 1 피측정 렌즈의 제 1 면과 대향하는 제 2 면이 상기 3차원 측정기의 측정 센서와 수직 방향으로 대향하도록, 상기 연장부의 수직 회전력에 따라 상기 렌즈 부재를 ± 180°회전시키도록 제어하며, 상기 제 1 피측정 렌즈의 제 2 면에 대하여 상기 제 1 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 2 정점의 좌표 값을 결정하고, 상기 제 1 피측정 렌즈의 상기 제 1 정점의 좌표 값과 상기 제 2 정점의 좌표 값의 편차를 계산하(는)고,
    상기 제 1 피측정 렌즈와 다른 제 2 피측정 렌즈가 선택되도록, 상기 3차원 측정기의 측정 센서 또는 상기 로터리 테이블을 수평 회전 이동시키고, 상기 3차원 측정기가, 상기 선택된 제 2 피측정 렌즈의 제 1 면에 대하여 상기 제 2 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 3 정점의 좌표 값을 결정하고, 상기 제 2 피측정 렌즈의 제 1 면과 대향하는 제 2 면이 상기 3차원 측정기의 측정 센서와 수직 방향으로 대향하도록, 상기 연장부의 수직 회전력에 따라 상기 렌즈 부재를 ± 180° 회전시키고, 상기 제 2 피측정 렌즈의 제 2 면에 대하여 상기 제 2 피측정 렌즈의 중심점을 나타내는 제 4 정점의 좌표 값을 결정하고, 상기 제 2 피측정 렌즈의 상기 제 3 정점의 좌표 값과 상기 제 4 정점의 좌표 값의 편차를 계산하는 3차원 측정기를 포함하는 3차원 형상 측정 시스템.
  10. 삭제
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 3차원 측정기의 측정 센서의 이동량은 상기 제 1 피측정 렌즈와 상기 제 2 피측정 렌즈 사이의 간격 및 각도 중 적어도 하나에 대응하는 오프셋을 포함하는 3차원 형상 측정 시스템.
  12. 삭제
  13. 제 9 항에 있어서, 상기 3차원 측정기는,
    상기 원형 배열된 피측정 렌즈들의 상기 제 1 면과 상기 3차원 측정기의 측정 센서가 대향하도록, 상기 로터리 테이블을 ± 180°회전시키도록 제어하는 3차원 형상 측정 시스템.
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