JP2019168419A - 三次元測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】被測定物の測定の自由度が高い三次元測定装置を提供する。【解決手段】三次元測定装置1は、ワークWが載置される回転テーブル14と、回転テーブル14に載置されたワークWの三次元座標を測定するためのプローブ30と、プローブ30を支持した状態で回動可能な支持アーム40と、第1軸C2周りに支持アーム40を回転させるアーム駆動部と、第1軸と直交する第2軸C1周りに回転テーブル14を回転させるテーブル駆動部と、ワークWに対してプローブ30が相対移動するようにアーム駆動部及びテーブル駆動部を動作させて、プローブ30によってワークWの三次元座標を測定する制御部70とを備える。【選択図】図1
Description
本発明は、プローブで被測定物を測定する三次元測定装置に関する。
測定装置として、例えば直交する三軸方向にプローブを移動させて、載置台に載置された被測定物の座標等を測定する三次元測定装置が利用されている(特許文献1参照)。特許文献1に記載の三次元測定装置は、X軸、Y軸、Z軸方向にそれぞれ移動する移動部材で構成された移動機構を有する、いわゆる門型の測定装置であり、移動機構によってプローブを移動させる。
しかし、門型の三次元測定装置の場合には、複数の移動部材を連結した移動機構の構造上、被測定物を測定する測定空間が限定されやすく、測定できる被測定物の大きさや形状に制約が出る。また、門型の三次元測定装置の場合には、移動機構の構造が複雑となるため、装置が大型化しやすい。
そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、被測定物の測定の自由度が高い三次元測定装置を提供することを目的とする。
本発明の一の態様においては、被測定物が載置される載置台と、前記載置台に載置された前記被測定物の三次元座標を測定するためのプローブと、前記プローブを支持した状態で回動可能な支持体と、第1軸周りに前記載置台又は前記支持体を回転させる第1駆動部と、前記第1軸と直交する第2軸周りに、前記載置台又は前記支持体を回転させる第2駆動部と、前記被測定物に対して前記プローブが相対移動するように前記第1駆動部及び前記第2駆動部を動作させて、前記プローブによって前記被測定物の前記三次元座標を測定する制御部と、を備える、三次元測定装置を提供する。
また、前記制御部は、前記第1駆動部によって前記支持体を前記第1軸周りに回転させ、かつ前記第2駆動部によって前記載置台を前記第2軸周りに回転させることとしてもよい。
また、前記制御部は、前記第1駆動部によって前記支持体を前記第1軸周りに回転させ、かつ前記第2駆動部によって前記支持体を前記第2軸周りに回転させることとしてもよい。
また、前記支持体は、複数のリンクが関節部を介して連結された支持アームであり、前記第1駆動部は、前記関節部を前記第1軸周りに回転させることとしてもよい。
また、前記第1駆動部は、前記支持アームの前記リンクを前記第1軸及び前記第2軸と交差する第3軸周りに回転させることとしてもよい。
また、前記三次元測定装置は、前記載置台の周囲に環状に設けられ、前記支持アームを前記第2軸周りに回転可能に案内するガイド部を更に備え、前記制御部は、前記第2駆動部を動作させて、前記支持アームを前記ガイド部に沿って回転させることとしてもよい。
また、前記三次元測定装置は、前記支持アームとして、第1プローブを支持する第1支持アームと、前記第1プローブとは異なる第2プローブを支持する第2支持アームとを備え、前記制御部は、前記第1プローブ及び前記第2プローブによって前記被測定物の複数の部分を同時に測定させることとしてもよい。
また、前記三次元測定装置は、前記載置台の周囲に環状に設けられ、前記第1支持アーム及び前記第2支持アームを前記第2軸周りに回転可能に案内するガイド部を更に備え、前記制御部は、前記第2駆動部によって、前記第1支持アーム及び前記第2支持アームを前記ガイド部に沿って回転させることとしてもよい。
また、前記制御部は、前記プローブによる前記被測定物の測定後には、前記第1駆動部及び前記第2駆動部を動作させて前記支持アームを前記載置台上から退避させる退避位置に位置させることとしてもよい。
また、前記載置台は、円形状のベースであることとしてもよい。
本発明によれば、被測定物の測定の自由度が高い三次元測定装置を実現できるという効果を奏する。
<第1の実施形態>
(三次元測定機の構成)
本発明の第1の実施形態に係る三次元測定装置1の構成について、図1及び図2を参照しながら説明する。
(三次元測定機の構成)
本発明の第1の実施形態に係る三次元測定装置1の構成について、図1及び図2を参照しながら説明する。
図1は、第1の実施形態に係る三次元測定装置1の構成を説明するための模式図である。図2は、回転テーブル14及び支持アーム40を回転させる駆動部を説明するためのブロック図である。
三次元測定装置1は、図1及び図2に示すように、載置台10と、テーブル駆動部20と、プローブ30と、支持アーム40と、アーム駆動部50と、制御装置70とを有する。三次元測定装置1は、詳細は後述するが、載置台10上のワークWとプローブ30を移動させて、ワークWの三次元座標を測定可能である。第1の実施形態では、アーム駆動部50が第1駆動部に該当し、テーブル駆動部20が第2駆動部に該当する。
載置台10は、被測定物であるワークWが載置される台である。載置台10は、例えば円形状(すなわち円柱)に形成されている。載置台10が円柱状であることにより、長方体である場合に比べて、載置台10の設置スペースを小さくできる。載置台10は、載置されたワークWを回転軸C1周りに回転させ、任意の位置に制御できる構成となっている。載置台10は、図1に示すように、土台部12と、回転テーブル14とを有する。
土台部12は、円形状に形成されている。土台部12は、回転テーブル14を回転可能に支える部分である。
回転テーブル14には、ワークWが載置される。回転テーブル14は、土台部12と同様に、円形状に形成されている。回転テーブル14の直径は、土台部12の直径よりも小さい。
回転テーブル14には、ワークWが載置される。回転テーブル14は、土台部12と同様に、円形状に形成されている。回転テーブル14の直径は、土台部12の直径よりも小さい。
テーブル駆動部20は、回転テーブル14を回転軸C1(第2軸に該当する)周りに回転させる機能を有する。テーブル駆動部20は、例えばモータ等の駆動源を有する。テーブル駆動部20は、駆動源が発生した駆動力によって回転テーブル14を回転軸C1周りに回転させる。このように回転テーブル14が回転することで、ワークWの位置が調整される。
プローブ30は、載置台10(具体的には、回転テーブル14)に載置されたワークWの三次元座標を測定するための測定子である。プローブ30は、支持アーム40の先端に支持されている。例えば、プローブ30は、ワークWに接触しながら移動することで、ワークWの三次元位置を倣い測定する。
支持アーム40は、プローブ30を支持した状態で回動可能な支持体である。支持アーム40は、複数のリンクが関節部を介して連結されたアーム機構である。支持アーム40は、図1に示すように、支柱41と、第1関節部42と、第1リンク43と、第2関節部44と、第2リンク45と、ヘッド部46とを有する。
支柱41は、支持アーム40の土台部である。支柱41は、載置台10の周囲に配置されている。
第1関節部42は、回転軸C2(図1の紙面と直交する軸)周りに回転可能に、支柱41に支持されている。
第1関節部42は、回転軸C2(図1の紙面と直交する軸)周りに回転可能に、支柱41に支持されている。
第1リンク43は、長手方向の一端側にて第1関節部42に連結され、長手方向の他端側にて第2関節部44に連結されている。第1リンク43は、第1関節部42の図1に示す矢印方向の回転に連動して回動する。
第2関節部44は、回転軸C3(図1の紙面と直交する軸)周りに回転可能である。回転軸C3は、ここでは回転軸C2と平行である。
第2関節部44は、回転軸C3(図1の紙面と直交する軸)周りに回転可能である。回転軸C3は、ここでは回転軸C2と平行である。
第2リンク45は、長手方向の一端側にて第2関節部44に連結され、長手方向の他端側にてヘッド部46に連結されている。第2リンク45は、第2関節部44の図1に示す矢印方向の回転に連動して回動する。
ヘッド部46は、プローブ30を支持している。
ヘッド部46は、プローブ30を支持している。
アーム駆動部50は、プローブ30を支持した支持アーム40を回動させる機能を有する。アーム駆動部50は、例えばモータ等の駆動源を有する。アーム駆動部50は、駆動源が発生した駆動力によって第1関節部42及び第2関節部44を、回転軸C2、C3周りに回転させる。すなわち、第1リンク43及び第2リンク45が、それぞれ回転軸C2、C3周りに回転する。これにより、プローブ30の位置が調整される。
制御装置70は、三次元測定装置1の動作を制御する。制御装置70は、プローブ30の移動制御や、プローブ30の測定結果に基づいたワークWの形状解析等の演算処理を実行する。制御装置70は、図2に示すように、記憶部72と、制御部74とを有する。
記憶部72は、制御部74が実行するためのプログラムや各種データを記憶する。
制御部74は、記憶部72に記憶されたプログラムを実行することにより、三次元測定装置1の動作を制御する。
制御部74は、記憶部72に記憶されたプログラムを実行することにより、三次元測定装置1の動作を制御する。
制御部74は、プローブ30によってワークWを測定する際に、テーブル駆動部20及びアーム駆動部50を動作させる。例えば、制御部74は、載置台10の回転テーブル14上のワークWに対してプローブ30が相対移動するようにテーブル駆動部20及びアーム駆動部50を動作させて、プローブ30によって回転テーブル14上のワークWの三次元座標を測定する。
制御部74は、テーブル駆動部20によって、ワークWが載置された回転テーブル14を回転軸C1周りに回転させる。また、制御部74は、アーム駆動部50によって、支持アーム40を回転軸C2、C3周りに回転させる。具体的には、制御部74は、アーム駆動部50によって、第1関節部42及び第2関節部44を回転軸C2、C3周りに回転させることで、第1リンク43及び第2リンク45を回転軸C2、C3周りに回転させる。
制御部74は、プローブ30によるワークWの測定後には、アーム駆動部50を動作させて、支持アーム40を回転テーブル14上から退避させる退避位置に位置させる。退避位置は、例えば支持アーム40全体が回転テーブル14上の測定空間外に位置する位置である。制御部74は、支持アーム40を退避位置に位置させる際に、第1リンク43及び第2リンク45を折り畳んでもよい。これにより、退避位置に位置する支持アーム40の占有スペースを小さくできる。上記のように支持アーム40を退避位置に位置させることで、ワークWの測定後にワークWを取り出しやすくなる。なお、制御部74は、支持アーム40を退避位置に位置させる際に、ワークWを取り出しやすい位置に回転テーブル14を回転させてもよい。
(第1の実施形態における効果)
第1の実施形態の三次元測定装置1は、ワークWが載置された回転テーブル14を回転させるテーブル駆動部20と、プローブ30を支持する支持アーム40を回動させるアーム駆動部50とを有する。そして、三次元測定装置1は、ワークWに対してプローブ30が相対移動するようにテーブル駆動部20及びアーム駆動部50を動作させて、プローブ30によってワークWの三次元座標を測定する。
これにより、回動可能な支持アーム40がプローブ30を移動させることで、回転テーブル14上の測定空間の様々な位置にプローブ30を移動させやすくなる。特に測定空間を跨るような門型の移動機構を用いると、ワークWを載置できる空間に制約が生じやすいが、本実施形態のような支持アーム40を用いると測定空間を有効に活用できる。
また、ワークWが載置された回転テーブル14を回転させることで、例えばプローブ30を移動させなくても、ワークWの三次元座標を測定できる。例えば、ワークWの形状が複雑でプローブ30を移動させ難い箇所を測定する場合には、ワークWが支持された回転テーブル14を回転させることで、プローブ30による測定を行いやすくなる。
第1の実施形態の三次元測定装置1は、ワークWが載置された回転テーブル14を回転させるテーブル駆動部20と、プローブ30を支持する支持アーム40を回動させるアーム駆動部50とを有する。そして、三次元測定装置1は、ワークWに対してプローブ30が相対移動するようにテーブル駆動部20及びアーム駆動部50を動作させて、プローブ30によってワークWの三次元座標を測定する。
これにより、回動可能な支持アーム40がプローブ30を移動させることで、回転テーブル14上の測定空間の様々な位置にプローブ30を移動させやすくなる。特に測定空間を跨るような門型の移動機構を用いると、ワークWを載置できる空間に制約が生じやすいが、本実施形態のような支持アーム40を用いると測定空間を有効に活用できる。
また、ワークWが載置された回転テーブル14を回転させることで、例えばプローブ30を移動させなくても、ワークWの三次元座標を測定できる。例えば、ワークWの形状が複雑でプローブ30を移動させ難い箇所を測定する場合には、ワークWが支持された回転テーブル14を回転させることで、プローブ30による測定を行いやすくなる。
<第2の実施形態>
図3は、本発明の第2の実施形態に係る三次元測定装置1の構成を説明するための模式図である。
図3は、本発明の第2の実施形態に係る三次元測定装置1の構成を説明するための模式図である。
第2の実施形態では、第1の実施形態に対して、支持アーム40の第2リンク45及びヘッド部46の構成が異なる。第2の実施形態の第2リンク45及びヘッド部46以外の他の構成は、第1の実施形態と同様であるので、詳細な説明は省略する。
第2リンク45は、図3に示すように、第2リンク45の軸方向と平行な回転軸C4周りに回転可能である。このように第2リンク45が回転軸C4周りに回転することで、第1の実施形態に比べてプローブ30の向きを調整しやすくなる。
ヘッド部46は、図3に示すように、回転軸C5(図3の紙面と直交する軸)周りに回転可能である。ヘッド部46に支持されたプローブ30は、ヘッド部46の回転に連動して回動する。これにより、プローブ30の向きを更に調整しやすくなる。回転軸C5は、ここでは回転軸C3と平行である。
第2リンク45及びヘッド部46の回転は、制御装置70の指示を受けたアーム駆動部50(図2)によって行われる。これにより、アーム駆動部50は、支持アーム40の支持されたプローブ30をワークWに対して様々な向きに調整できる。
<第3の実施形態>
図4は、本発明の第3の実施形態に係る三次元測定装置1の構成を説明するための模式図である。
図4は、本発明の第3の実施形態に係る三次元測定装置1の構成を説明するための模式図である。
第3の実施形態では、支持アーム40全体が載置台10の周囲を回転できる点で、第2の実施形態とは異なる。また、第3の実施形態のテーブル16は、第2の実施形態の回転テーブル14とは異なり、回転せず土台部12に固定されている。
第3の実施形態では、図4に示すガイド部60が設けられている。ガイド部60は、載置台10の土台部12の周囲に環状に、あるいは円弧状に設けられている。ガイド部60は、支持アーム40を回転軸C1周りに回転可能に案内する。
支持アーム40には、図3に示す支柱41及び第1関節部42に代えて、移動部48が設けられている。第1リンク43の長手方向の一端側は、移動部48に連結されている。移動部48がガイド部60に沿って移動することで、支持アーム40全体が回転軸C1周りに回転する。
移動部48の回転軸C1周りの回転は、制御装置70の指示を受けたアーム駆動部50(図2)によって行われる。このため、第3の実施形態では、アーム駆動部50が、第1駆動部及び第2駆動部として機能する。なお、第3の実施形態で説明を省略した構成は、図3の第2の実施形態と同様である。
第3の実施形態では、テーブル16を固定する一方で、支持アーム40を回転軸C1周りに回転させることで、回転テーブル14を回転軸C1周りに回転させる第2の実施形態と同様に、プローブ30によるワークWの測定の自由度が高まる。
なお、上記では、載置台10のテーブル16が土台部12に固定されていることとしたが、これに限定されない。例えば、テーブル16が、図1に示す回転テーブル14と同様に、回転軸C1周りに回転してもよい。
また、支持アーム40のヘッド部46は、第2の実施形態と同様に、回転軸C5(図4参照)周りに回転可能な構成であってもよい。
また、支持アーム40のヘッド部46は、第2の実施形態と同様に、回転軸C5(図4参照)周りに回転可能な構成であってもよい。
<第4の実施形態>
図5は、本発明の第4の実施形態に係る三次元測定装置1の構成を説明するための模式図である。
図5は、本発明の第4の実施形態に係る三次元測定装置1の構成を説明するための模式図である。
第4の実施形態の三次元測定装置1は、図5に示す2つのプローブ30A、30B及び2つの支持アーム40A、40Bを有する点で、第3の実施形態と異なる。プローブ30A、30B及び支持アーム40A、40Bは、それぞれ第3の実施形態のプローブ30及び支持アーム40と同じ構成である。第4の実施形態では、プローブ30Aが第1プローブに該当し、プローブ30Bが第2プローブに該当する。また、支持アーム40Aが第1支持アームに該当し、支持アーム40Bが第2支持アームに該当する。
2つのプローブ30A、30Bは、載置台10のテーブル16上のワークWを測定する。例えば、プローブ30A、30Bは、ワークWの複数の部分を同時に測定する。これにより、一つのプローブによってワークWを測定する場合に比べて、ワークWの測定時間を短くできる。
2つの支持アーム40A、40Bは、載置台10の周囲に環状に設けられたガイド部60によって、回転軸C1周りに回転する。支持アーム40A、40Bは、例えば周方向において180度離れて配置されている。
制御装置70は、アーム駆動部50(図1)を動作させて、支持アーム40A、40Bをガイド部60に沿って回転させる。支持アーム40A、40Bの回転方向は、ワークWの測定位置に応じて同じ方向であってもよいし、反対方向であってもよい。このように支持アーム40A、40Bを回転させることで、プローブ30A、30Bが迅速にワークWを測定することができる。
第4の実施形態では、支持アーム40Aと支持アーム40Bを同時に制御することにより、ワークWの測定作業を短時間で実施できる。
また、第4の実施形態では、2つの支持アーム40A、40Bを設けることで、支持アーム40Aと支持アーム40Bの各々のアーム長を、第1〜第3の実施形態で説明した支持アーム40のアーム長よりも短くすることができる。これにより、装置全体の小型化が可能となる。
また、第4の実施形態では、2つの支持アーム40A、40Bを設けることで、支持アーム40Aと支持アーム40Bの各々のアーム長を、第1〜第3の実施形態で説明した支持アーム40のアーム長よりも短くすることができる。これにより、装置全体の小型化が可能となる。
なお、図5では、支持アーム40Aと支持アーム40Bが同じ大きさで示されているが、これに限定されず、支持アーム40Aと支持アーム40Bが異なる大きさであってもよい。例えば、支持アーム40Aのアーム長に対して、支持アーム40Bのアーム長よりも小さくしてもよい。この場合には、支持アーム40AによってワークWの外形寸法を測定し、支持アーム40BによってワークWの微細な寸法を測定してもよい。
また、図5では、プローブ30A、30Bが同じ種類(具体的には、接触式プローブ)であるように示したが、これに限定されない。例えば、プローブ30Aが接触式プローブで、プローブ30Bが非接触プローブであってもよい。
また、上記では、支持アーム40A及び支持アーム40Bが、ガイド部60によって回転可能に案内されていることとしたが、これに限定されない。例えば、支持アーム40Aがガイド部60によって回転可能に案内され、支持アーム40Bが第1の実施形態で説明した支柱41(図1)に支えられていてもよい。
<第5の実施形態>
図6は、本発明の第5の実施形態に係る三次元測定装置1の構成を説明するための模式図である。
図6は、本発明の第5の実施形態に係る三次元測定装置1の構成を説明するための模式図である。
第5の実施形態に係る三次元測定装置1は、第1の実施形態で説明した支持アーム40に代えて、支持機構90を有する。支持機構90は、図6に示すように、支柱92と、連結部94と、移動部95と、ラム軸96と、ヘッド部97とを有する。なお、載置台10の構成は、第1の実施形態と同様であるので、説明は省略する。
支柱92は、載置台10の外側に上下方向に沿って配置されている。支柱92の上部92aは、支柱92の軸方向の周りに回転可能である。連結部94は、梁状に設けられており、支柱92の上部92aに連結されている。連結部94は、上部92aの回転に連動して回動する。移動部95は、連結部94の長手方向に沿って移動する。ラム軸96は、移動部95に対して上下方向に移動可能である。ヘッド部97は、ラム軸96の先端に設けられ、プローブ30を支持する。
第5の実施形態でも、ワークWが載置された回転テーブル14とプローブ30を移動させることで、プローブ30によるワークWの測定の自由度が高まる。
上述した実施形態では、プローブ30が、ワークWに接触する接触式のプローブであることとしたが、これに限定されない。例えば、プローブ30は、レーザやカメラ等の非接触式のプローブであってもよい。
また、上記では、回転テーブル14が円形状(円柱)であることとしたが、これに限定されない。例えば、回転テーブル14が多角形状であってもよい。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、装置の分散・統合の具体的な実施の形態は、以上の実施の形態に限られず、その全部又は一部について、任意の単位で機能的又は物理的に分散・統合して構成することができる。また、複数の実施の形態の任意の組み合わせによって生じる新たな実施の形態も、本発明の実施の形態に含まれる。組み合わせによって生じる新たな実施の形態の効果は、もとの実施の形態の効果を合わせ持つ。
1 三次元測定装置
10 載置台
14 回転テーブル
20 テーブル駆動部
30、30A、30B プローブ
40、40A、40B 支持アーム
42 第1関節部
43 第1リンク
44 第2関節部
45 第2リンク
46 ヘッド部
50 アーム駆動部
74 制御部
W ワーク
10 載置台
14 回転テーブル
20 テーブル駆動部
30、30A、30B プローブ
40、40A、40B 支持アーム
42 第1関節部
43 第1リンク
44 第2関節部
45 第2リンク
46 ヘッド部
50 アーム駆動部
74 制御部
W ワーク
Claims (10)
- 被測定物が載置される載置台と、
前記載置台に載置された前記被測定物の三次元座標を測定するためのプローブと、
前記プローブを支持した状態で回動可能な支持体と、
第1軸周りに前記載置台又は前記支持体を回転させる第1駆動部と、
前記第1軸と直交する第2軸周りに、前記載置台又は前記支持体を回転させる第2駆動部と、
前記被測定物に対して前記プローブが相対移動するように前記第1駆動部及び前記第2駆動部を動作させて、前記プローブによって前記被測定物の前記三次元座標を測定する制御部と、
を備える、三次元測定装置。 - 前記制御部は、前記第1駆動部によって前記支持体を前記第1軸周りに回転させ、かつ前記第2駆動部によって前記載置台を前記第2軸周りに回転させる、
請求項1に記載の三次元測定装置。 - 前記制御部は、前記第1駆動部によって前記支持体を前記第1軸周りに回転させ、かつ前記第2駆動部によって前記支持体を前記第2軸周りに回転させる、
請求項1に記載の三次元測定装置。 - 前記支持体は、複数のリンクが関節部を介して連結された支持アームであり、
前記第1駆動部は、前記関節部を前記第1軸周りに回転させる、
請求項1に記載の三次元測定装置。 - 前記第1駆動部は、前記支持アームの前記リンクを前記第1軸及び前記第2軸と交差する第3軸周りに回転させる、
請求項4に記載の三次元測定装置。 - 前記載置台の周囲に環状に設けられ、前記支持アームを前記第2軸周りに回転可能に案内するガイド部を更に備え、
前記制御部は、前記第2駆動部を動作させて、前記支持アームを前記ガイド部に沿って回転させる、
請求項5に記載の三次元測定装置。 - 前記支持アームとして、第1プローブを支持する第1支持アームと、前記第1プローブとは異なる第2プローブを支持する第2支持アームとを備え、
前記制御部は、前記第1プローブ及び前記第2プローブによって前記被測定物の複数の部分を同時に測定させる、
請求項4から6のいずれか1項に記載の三次元測定装置。 - 前記載置台の周囲に環状に設けられ、前記第1支持アーム及び前記第2支持アームを前記第2軸周りに回転可能に案内するガイド部を更に備え、
前記制御部は、前記第2駆動部によって、前記第1支持アーム及び前記第2支持アームを前記ガイド部に沿って回転させる、
請求項7に記載の三次元測定装置。 - 前記制御部は、前記プローブによる前記被測定物の測定後には、前記第1駆動部及び前記第2駆動部を動作させて前記支持アームを前記載置台上から退避させる退避位置に位置させる、
請求項1から8のいずれか1項に記載の三次元測定装置。 - 前記載置台は、円形状のベースである、
請求項1から9のいずれか1項に記載の三次元測定装置。
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