JP5022914B2 - 光学アセンブリ - Google Patents
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Description
本発明の目的は、互いの光学素子に対する光学素子の配置の安定性、また、結像の精度が向上された光学装置を提供することである。
有利なことには、本発明の実施例は、マニピュレータを含み、マニピュレータがアクティブな駆動要素であるか、それを含み、好ましくは、マニピュレータは、電子要素、センサ、又はアクチュエータ又は他の非接触測定のための装置を有する。
更に、マニピュレータは、受動減衰要素、具体的には、ばね、好ましくは、柔軟なばねによってハウジングに取付けられると有利である。
更に、マニピュレータは、ハウジングの内部においてマニピュレータに発生する熱の熱伝導を避けるために断熱材によってハウジングに結合されてもよい。
オブジェクティブ又は露光システムからの熱を防止する更なる手段は、マニピュレータを、接続又は熱を伝えるリンクによって冷却要素に接続することを含む。
本発明は、システムに関し、有利なことには、センサが装置の外部に配置され、センサが電気的、磁気的又は電磁気センサ、特に、光学センサである。
有利なことには、冷却要素がマニピュレータとセンサとの間に配置されている。
他の利点は、検出器によって生成される値によって制御可能である冷却要素を含み、熱を受容し、及び/又は冷却することによって相殺する。生成された熱の量が検出器によって測定されてもよく、冷却要素、具体的には、ペルチエ素子に冷却による熱を一様にするための電圧が供給されてもよい。
良好な分離を提供するために、好ましくは、マニピュレータ及び/又はセンサがハウジングの内部側に配置される。
システムの好ましい実施態様では、ハウジングの内部が外部環境に対して過剰の圧力を有する。
特に、本発明は、実施態様において配置された光学システム又はアセンブリに関し、具体的には、少なくとも1つの光学素子、具体的には、レンズ、ミラー、絞りを有するオブジェクティブ、又は露光システムにおいて、少なくとも1つの素子がマニピュレータによって影響を受けることができ、マニピュレータが精密な調整、又は光学素子又は複数の光学素子の微細な調整のための機構を含む。そのようなマニピュレータは、投影リソグラフィ、特に液浸リソグラフィのための光学システムの精密な調整のための装置が必要であるとき、本発明によるマニピュレータが用いられてもよい。
本発明によれば、少なくとも1つのマニピュレータがステップモータを含み、それによって光学素子が調整可能である。光学素子は、開ループ制御又は閉ループ制御で用いられるステップモータにより精密に調整されうる。
減速ギアが、機械的減衰手段、具体的には、レバーが設けられると有利である。単一のレバーの代わりに、複数のレバーがソリッドボディヒンジ(Festkorpergelenke)によって相互接続に適用されてもよい。
その上、本発明は、実施態様で支持された光学素子又は装置、特に、ハウジング内にマニピュレータによって影響を受けうる少なくとも1つの光学素子を有するオブジェクティブに関する。マニピュレータはソリッドボディヒンジを備えていてもよい。
最先端技術の他の問題は、もし、柔軟なソリッドボディヒンジを有するマニピュレータが、両方向に大きな距離で変位すると、これは、システムが中間のニュートラル位置にあるとき、システムに力が作用しないという不利をもたらす。ギアが、ねじを付けられたスピンドルを有する場合、スピンドル又はギアがある位置をとるべきときに、クリアランスは未定義状態の原因となり、不正確となる。
本発明によれば、この問題は上述のシステムによって解消でき、マニピュレータはソリッドボディヒンジによってかけられた力と対抗するか、変位に依存してソリッドボディヒンジによって作用する力又はトルクを少なくとも部分的に相殺する要素を備える。
発明の利点が従属項、明細書及び図面によって開示されている。
この発明は、第1及び第2の手段を有し、第1手段が反発力及び/又は反発トルクを生成するマニピュレータによって影響を受け得る少なくとも1つの光学素子を有する光学システムを含むオブジェクティブ、照明又は露光システム、具体的には、マイクロリソグラフィ投影露光装置に関する。マニピュレータは、第1手段によって生成された反発力及び/又は反発トルクと対抗し、第1手段によって生成された力及び/又はトルクを少なくとも部分的に相殺する第2手段を備える。
本発明によるオブジェクティブ又は露光システムの他の実施態様において、第2手段は、第1手段の力及び/又はトルクが過度に相殺されるように構成されている。
上述したもので実施態様が異なるオブジェクティブ又は露光システムは、好ましくは、第2手段が磁石、重り、ばね、又は蓄電器又はこれらの要素の結合を含むように設計されている。
有利なことには、本システムの実施態様は、ソリッドボディヒンジ又は複数のソリッドボディヒンジに作用する駆動アームの両側に、ソリッドボディヒンジの変位又はトルクに依存して、駆動アームに力を及ぼすか、ソリッドボディヒンジによって発生する力を少なくとも部分的に相殺する要素を備える。
本発明は、図面を参照しつつ実施例や実施形態を通して、以下に更なる詳細が説明される。
磁石を別にして、ばねや重りのような他の要素も重さやトルクを相殺するために適用されうる。同様にして、磁石またはばねの代わりに電磁力が適用されうる。
それゆえに、図20に示す実施形態において、図22の実施形態による磁石11a、及び/または図22の実施形態による重り15aが追加的に導入されうる。さらに、図22のソリッドボディヒンジは、図20のスピンドル10aと交換されうる。
Claims (14)
- マイクロリソグラフィ投影露光システムであって、
前記システム内に支持された光学アセンブリを備え、
ハウジング内に少なくとも1つの光学素子を有し、
前記少なくとも1つの光学素子が少なくとも1つのマニピュレータ(10,22,25)によって影響可能であり、
前記少なくとも1つのマニピュレータ(10,22,25)がハウジング外か、分離手段の助けにより前記ハウジングから完全に又は大方分離される保持手段内のいずれかに配置され、
前記マニピュレータ(10,22,25)と該マニピュレータ(10,22,25)によって影響を受ける素子との間の有効な結合がシステム内に提供され、
前記少なくとも1つのマニピュレータ(10,22,25)が所望の運動と重なる振動および変位としての損傷運動を分離する分離要素に結合されているマイクロリソグラフィ投影露光システム。 - 請求項1記載のマイクロリソグラフィ投影露光システムであって、前記少なくとも1つのマニピュレータ(10,22,25)がアクティブな駆動要素であるか、又はそれを含む要素である、マイクロリソグラフィ投影露光システム。
- 請求項1又は2記載のマイクロリソグラフィ投影露光システムであって、前記少なくとも1つのマニピュレータ(10,22,25)が、測定装置、又は駆動要素の運動を記録し、制御コンピュータにこれらを送るためのアクチュエータを含む、マイクロリソグラフィ投影露光システム。
- 請求項3記載のマイクロリソグラフィ投影露光システムであって、位置の変更又は光学素子のシフトのために、分離要素が、単一の所望の運動をハウジング内に伝えるダンパを備える、マイクロリソグラフィ投影露光システム。
- 前記マニピュレータ(10,22,25)と素子との間の有効な接続が、シャフト、ねじ、紐、ロッド、複数のロッドを有する装置、またはばねによって構成される、請求項1ないし4のいずれかに記載のマイクロリソグラフィ投影露光システム。
- 有効な接続を実現する手段が少なくともある範囲の長さの断熱材料からなる請求項5記載のマイクロリソグラフィ投影露光システム。
- 前記マニピュレータ(10,22,25)が、素子の内部と外部との間に機械的接続がない状態で電場、磁場、電場と磁場の結合磁場要素により影響を与える請求項1ないし6のいずれかに記載のマイクロリソグラフィ投影露光システム。
- 前記少なくとも1つのマニピュレータ(10,22,25)及び/又は前記測定装置は、制御コンピュータ又はその他のユニットに接続され、前記ハウジングを外部環境から遮蔽する支持部及び/又は前記ハウジングから来る信号を評価する請求項1ないし7のいずれかに記載のマイクロリソグラフィ投影露光システム。
- 制御コンピュータは前記マニピュレータ(10,22,25)、前記測定装置及び/又は前記ハウジングの内部に配置されたユニットのための信号を生成する請求項8記載のマイクロリソグラフィ投影露光システム。
- 前記マニピュレータ(10,22,25)は、モータ及び/又はアクチュエータを含み、モータは電気モータである請求項1ないし9のいずれかに記載のマイクロリソグラフィ投影露光システム。
- 前記マニピュレータ(10,22,25)は、空圧又は液圧モータを備える請求項1ないし9に記載のマイクロリソグラフィ投影露光システム。
- 素子の特性がシステムの外部に配置されたセンサによって測定され、センサが電気的、磁気的又電磁気センサである請求項1ないし11のいずれかに記載のマイクロリソグラフィ投影露光システム。
- センサが冷却ジャケットによって取り囲まれているか、又は冷却要素がセンサの近くに配置されているか、又はセンサが断熱材によって取り囲まれている請求項12記載のマイクロリソグラフィ投影露光システム。
- 冷却要素が前記マニピュレータ(10,22,25)とセンサとの間に配置されている請求項12に記載のマイクロリソグラフィ投影露光システム。
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