JP2008529076A - 光学アセンブリ - Google Patents
光学アセンブリ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008529076A JP2008529076A JP2007552577A JP2007552577A JP2008529076A JP 2008529076 A JP2008529076 A JP 2008529076A JP 2007552577 A JP2007552577 A JP 2007552577A JP 2007552577 A JP2007552577 A JP 2007552577A JP 2008529076 A JP2008529076 A JP 2008529076A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- manipulator
- housing
- assembly according
- objective
- assembly
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/003—Alignment of optical elements
- G02B7/005—Motorised alignment
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/008—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/021—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses for more than one lens
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/023—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses permitting adjustment
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/026—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses using retaining rings or springs
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/028—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
- G02B7/1827—Motorised alignment
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Lenses (AREA)
Abstract
Description
本発明の目的は、互いの光学素子に対する光学素子の配置の安定性、また、結像の精度が向上された光学装置を提供することである。
有利なことには、本発明の実施例は、マニピュレータを含み、マニピュレータがアクティブな駆動要素であるか、それを含み、好ましくは、マニピュレータは、電子要素、センサ、又はアクチュエータ又は他の非接触測定のための装置を有する。
更に、マニピュレータは、受動減衰要素、具体的には、ばね、好ましくは、柔軟なばねによってハウジングに取付けられると有利である。
更に、マニピュレータは、ハウジングの内部においてマニピュレータに発生する熱の熱伝導を避けるために断熱材によってハウジングに結合されてもよい。
オブジェクティブ又は露光システムからの熱を防止する更なる手段は、マニピュレータを、接続又は熱を伝えるリンクによって冷却要素に接続することを含む。
本発明は、システムに関し、有利なことには、センサが装置の外部に配置され、センサが電気的、磁気的又は電磁気センサ、特に、光学センサである。
有利なことには、冷却要素がマニピュレータとセンサとの間に配置されている。
他の利点は、検出器によって生成される値によって制御可能である冷却要素を含み、熱を受容し、及び/又は冷却することによって相殺する。生成された熱の量が検出器によって測定されてもよく、冷却要素、具体的には、ペルチエ素子に冷却による熱を一様にするための電圧が供給されてもよい。
良好な分離を提供するために、好ましくは、マニピュレータ及び/又はセンサがハウジングの内部側に配置される。
システムの好ましい実施態様では、ハウジングの内部が外部環境に対して過剰の圧力を有する。
特に、本発明は、実施態様において配置された光学システム又はアセンブリに関し、具体的には、少なくとも1つの光学素子、具体的には、レンズ、ミラー、絞りを有するオブジェクティブ、又は露光システムにおいて、少なくとも1つの素子がマニピュレータによって影響を受けることができ、マニピュレータが精密な調整、又は光学素子又は複数の光学素子の微細な調整のための機構を含む。そのようなマニピュレータは、投影リソグラフィ、特に液浸リソグラフィのための光学システムの精密な調整のための装置が必要であるとき、本発明によるマニピュレータが用いられてもよい。
本発明によれば、少なくとも1つのマニピュレータがステップモータを含み、それによって光学素子が調整可能である。光学素子は、開ループ制御又は閉ループ制御で用いられるステップモータにより精密に調整されうる。
減速ギアが、機械的減衰手段、具体的には、レバーが設けられると有利である。単一のレバーの代わりに、複数のレバーがソリッドボディヒンジ(Festkorpergelenke)によって相互接続に適用されてもよい。
その上、本発明は、実施態様で支持された光学素子又は装置、特に、ハウジング内にマニピュレータによって影響を受けうる少なくとも1つの光学素子を有するオブジェクティブに関する。マニピュレータはソリッドボディヒンジを備えていてもよい。
最先端技術の他の問題は、もし、柔軟なソリッドボディヒンジを有するマニピュレータが、両方向に大きな距離で変位すると、これは、システムが中間のニュートラル位置にあるとき、システムに力が作用しないという不利をもたらす。ギアが、ねじを付けられたスピンドルを有する場合、スピンドル又はギアがある位置をとるべきときに、クリアランスは未定義状態の原因となり、不正確となる。
本発明によれば、この問題は上述のシステムによって解消でき、マニピュレータはソリッドボディヒンジによってかけられた力と対抗するか、変位に依存してソリッドボディヒンジによって作用する力又はトルクを少なくとも部分的に相殺する要素を備える。
発明の利点が従属項、明細書及び図面によって開示されている。
この発明は、第1及び第2の手段を有し、第1手段が反発力及び/又は反発トルクを生成するマニピュレータによって影響を受け得る少なくとも1つの光学素子を有する光学システムを含むオブジェクティブ、照明又は露光システム、具体的には、マイクロリソグラフィ投影露光装置に関する。マニピュレータは、第1手段によって生成された反発力及び/又は反発トルクと対抗し、第1手段によって生成された力及び/又はトルクを少なくとも部分的に相殺する第2手段を備える。
本発明によるオブジェクティブ又は露光システムの他の実施態様において、第2手段は、第1手段の力及び/又はトルクが過度に相殺されるように構成されている。
上述したもので実施態様が異なるオブジェクティブ又は露光システムは、好ましくは、第2手段が磁石、重り、ばね、又は蓄電器又はこれらの要素の結合を含むように設計されている。
有利なことには、本システムの実施態様は、ソリッドボディヒンジ又は複数のソリッドボディヒンジに作用する駆動アームの両側に、ソリッドボディヒンジの変位又はトルクに依存して、駆動アームに力を及ぼすか、ソリッドボディヒンジによって発生する力を少なくとも部分的に相殺する要素を備える。
本発明は、図面を参照しつつ実施例や実施形態を通して、以下に更なる詳細が説明される。
磁石を別にして、ばねや重りのような他の要素も重さやトルクを相殺するために適用されうる。同様にして、磁石またはばねの代わりに電磁力が適用されうる。
それゆえに、図20に示す実施形態において、図22の実施形態による磁石11a、及び/または図22の実施形態による重り15aが追加的に導入されうる。さらに、図22のソリッドボディヒンジは、図20のスピンドル10aと交換されうる。
Claims (62)
- 装置内、具体的には、オブジェクティブ(1,8)内、又は照明或いは露光システムに内に支持された光学アセンブリであって、ハウジング内に少なくとも1つの光学素子、具体的にはレンズ(34,35)、ミラー、又は絞り(9)を有し、少なくとも1つの光学素子が少なくとも1つのマニピュレータによって影響可能であり、少なくとも1つのマニピュレータ(10,22,25)がハウジング外か、分離手段の助けにより完全又は大方分離される保持手段内のいずれかに配置され、マニピュレータ(10,22,25)とマニピュレータ(10,22,25)によって影響を受ける素子との間の有効な結合が装置内に提供されているアセンブリ。
- 請求項1記載のアセンブリであって、少なくとも1つのマニピュレータ(10,22,25)がアクティブな駆動要素であるか、又はそれを含み、好ましくは、マニピュレータ(10,22,25)は、電子要素、センサ、又はアクチュエータ又は他の非接触測定のための装置を有する、アセンブリ。
- 請求項1又は2記載のアセンブリであって、少なくとも1つのマニピュレータが、測定装置、具体的には、レーザ、又は電子要素、又は非接触測定のための他の測定装置、駆動要素、具体的にはモータ又はアクチュエータの運動を記録し、制御コンピュータにこれらを送るためのアクチュエータを含む、アセンブリ。
- 請求項3記載のアセンブリであって、マニピュレータが所望の運動と重なる振動としての損傷運動を分離する分離要素に結合されているアセンブリ。
- 請求項4記載のアセンブリであって、位置の変更又は光学素子のシフト、即ち、その高さの変更のために、分離要素が、単一の所望の運動、具体的には、シャフト又は押すあるいは駆動するロッドの運動をハウジング内に伝えるダンパを備える、アセンブリ。
- シャフト、具体的には、フレキシブル又はカーダニック(cardanic)シャフト、ねじ、紐、ロッド、具体的には、接続ロッドによって構成されたマニピュレータ(10,22,25)と素子との間の有効な接続がされ、装置が複数のロッド又はばねを有する、請求1ないし5のいずれかに記載のアセンブリ。
- 有効な接続を実現する手段が少なくともある範囲の長さの断熱材料からなる請求項6記載のアセンブリ。
- ロッド、具体的には、接続ロッド又はシャフト又はマニピュレータ(10,22,25)と接続するその他の要素が、ハウジングの内部に対してシールされ、及び/又はシールにより、具体的にはゴム製又は合成材料のO−リングにより、素子に対してシールされている請求項1ないし7のいずれかに記載のアセンブリ。
- マニピュレータ(10,22,25)が、素子の内部と外部との間に機械的接続がない状態で電場、磁場、電場と磁場の結合磁場要素により影響を与える請求項1ないし8のいずれかに記載のアセンブリ。
- マニピュレータ(10,22,25)が、タワー形状の支持部、リング、又は素子のハウジングの外側の柱から構成される請求項1ないし9のいずれかに記載のアセンブリ。
- マニピュレータ(10,22,25)又はマニピュレータ(10,22,25)と素子との間の内的空間が外部空間に対して、熱的及び/又は電気的及び/又は粒子の貫通に対して絶縁されており、外部からアセンブリに影響する効果がオブジェクティブ又は内部のその他の手段にとって許容される請求項1ないし10のいずれかに記載のアセンブリ。
- 内部空間に許容される温度の変動はマニピュレータの支持部における変動よりも小さい請求項1ないし11のいずれかに記載のアセンブリ。
- ハウジングと支持部との間の距離が、測定装置、具体的には、レーザ及びミラーを有するシステムによって測定可能である請求項1ないし12のいずれかに記載のアセンブリ。
- 少なくとも1つのマニピュレータ及び/又は測定装置は、制御コンピュータ又はその他のユニットに、具体的にはインターフェースを介して接続され、支持部及び/又はハウジングから来る信号を評価する請求項1ないし13のいずれかに記載のアセンブリ。
- 制御コンピュータはマニピュレータ、測定装置及び/又はハウジングの内部に配置されたユニットのための信号を生成する請求項13記載のアセンブリ。
- マニピュレータ(10,22,25)は、冷却ジャケット、具体的には、冷却フィンが設けられた冷却ジャケット中に配置され、マニピュレータは単独で又はハウジング中に含まれた冷却要素と共に存在し、ハウジングは好ましくは、断熱材によって形成され、又は冷却要素つまりマニピュレータとして電流源に接続されてペルチエ素子が機能し、マニピュレータが放出する熱を冷却する請求項1ないし15のいずれかに記載のアセンブリ。
- マニピュレータ(10,22,25)は、モータ及び/又はアクチュエータを含み、モータは電気モータつまり、回転又はリニアモータである請求項1ないし16のいずれかに記載のアセンブリ。
- マニピュレータ(10,22,25)は、空圧又は液圧モータを備える請求項1ないし16記載のアセンブリ。
- マニピュレータ(10,22,25)は、能動又は受動の分離要素によって装置のハウジングに取付けられる請求項1ないし18のいずれかに記載のアセンブリ。
- マニピュレータ(10,22,25)は、受動減衰要素、具体的には、ばね、好ましくは、柔軟なばねによってハウジングに取付けられる請求項1ないし19のいずれかに記載のアセンブリ。
- マニピュレータ(10,22,25)は、能動の減衰要素、具体的には、圧電アクチュエータによりハウジングに取付けられる請求項1ないし20のいずれかに記載のアセンブリ。
- マニピュレータ(10,22,25)は、ハウジングの内部においてマニピュレータに発生する熱の熱伝導を避けるために断熱材(12)によってハウジングに結合される請求項1ないし21のいずれかに記載のアセンブリ。
- マニピュレータ(10,22,25)は、マニピュレータの少なくとも近くでハウジングを取り囲む能動又は受動の冷却要素(14)によりシールドされ、又は冷却要素はハウジングとマニピュレータ(10,22,25)との間に設けられている請求項1ないし22のいずれかに記載のアセンブリ。
- マニピュレータ(10,22,25)は、接続又は熱を伝えるリンクによって冷却要素に接続されている請求項1ないし23のいずれかに記載のアセンブリ。
- マニピュレータは粒子を遮蔽するシールドによって、具体的には、ラビリンスシール又はギャップシール(20)によって、又は金属又はゴム製のフレキシブル又は伸張可能なベローズシールによって、ハウジング内部から分離されている請求項1ないし24のいずれかに記載のアセンブリ。
- アクチュエータ又はマニピュレータ(30)は、磁場又は電場によって活性化されるハウジング内で外側から素子に作用し、ハウジングは誘電体からなる請求項1ないし25のいずれかに記載のアセンブリ。
- 素子の特性が装置の外部に配置されたセンサによって測定され、センサが電気的、磁気的又は電磁気センサ、特に、光学センサである請求項1ないし26のいずれかに記載のアセンブリ。
- センサが冷却ジャケットによって取り囲まれているか、又は冷却要素がセンサの近くに配置されているか、又はセンサが断熱材によって取り囲まれている請求項27記載のアセンブリ。
- 冷却要素がマニピュレータとセンサとの間に配置されている請求項26又は27に記載のアセンブリ。
- 熱検出器が、マニピュレータ(10,22,25)又はセンサによって生じる熱を検出するために、マニピュレータ(10,22,25)又はセンサの近くに設けられる請求項1ないし29のいずれかに記載のアセンブリ。
- アセンブリが、検出器によって生成される値によって制御可能である冷却要素を含み、熱を受容し、冷却することによって相殺し、付加的に、生成された熱の量が検出器によって測定され、冷却要素、具体的には、ペルチエ素子に冷却による熱を一様にする電圧が供給される請求項1ないし30のいずれかに記載のアセンブリ。
- 光学システムをシールドするために、シェルがオブジェクティブ又は露光システムのために設けられ、少なくとも1つの光学素子がオブジェクティブの内部シェル内に配置され、マニピュレータがオブジェクティブの外部シェル内に配置されている請求項1ないし31のいずれかに記載のアセンブリ。
- 少なくとも1つの光学素子、具体的には、レンズ、ミラー、絞りを有するオブジェクティブに配置された装置、具体的にはシステムであって、少なくとも1つの素子がハウジングに配置され、ハウジングの内部に配置された少なくとも2つのマニピュレータによって影響され、ハウジングの内部において少なくとも1つのマニピュレータが設けられ、動的分離要素によってハウジングから分離される装置。
- 少なくとも1つの素子、具体的には、マニピュレータによって調整される素子の特性が、センサ又は検出器によって測定される請求項33記載の装置。
- マニピュレータ及び/又はセンサがハウジングの内部側に配置される請求項33又は34に記載の装置。
- 分離要素が受動要素、具体的には、ばね(35)であるか又は分離要素が能動要素、具体的にはアクチュエータとして設けられている請求項33ないし35のいずれかに記載の装置。
- 分離要素が圧電アクチュエータである請求項36記載の装置。
- ハウジングの内部が外部環境に対して過剰の圧力を有する請求項33ないし37のいずれかに記載の装置。
- ばね、又は空圧あるいは液圧シリンダが機械的アクチェータとして設けられている請求項33ないし38のいずれかに記載の装置。
- 実施態様、具体的には、少なくとも1つの光学素子、具体的には、レンズ、ミラー、絞りを有するオブジェクティブ、又は露光システムにおける光学システムあるいはアセンブリであって、少なくとも1つの素子がマニピュレータによって影響を受けることができ、マニピュレータが精密な調整、又は光学素子又は複数の光学素子の微細な調整のための機構を含むアセンブリ。
- 光学素子が少なくとも1つのマニピュレータによって影響を受け得る請求項40記載のアセンブリ。
- 少なくとも1つのマニピュレータ(70)がステップモータ(58,71)を含み、それによって光学素子が調整可能である請求項40又は41記載のアセンブリ。
- マニピュレータ(70)及び/又はステップモータ(58,71)がハウジング内に配置されている請求項42記載のアセンブリ。
- ステップモータ(58,71)が減速ギア(60,74)によって光学素子に接続されている請求項42又は43に記載のアセンブリ。
- ステップモータ(58,71)及び/又は減速ギア(60,74)が、偏心駆動または偏心シャフト及び/又は偏心シャフト(59、72)を含む請求項41ないし44のいずれかに記載のアセンブリ。
- シャフト(59,72)が0.2mmと2mmとの間で偏心している請求項41ないし45のいずれかに記載のアセンブリ。
- 機械的減衰手段、具体的には、レバー(60,74)が設けられ、それにより単一のレバーの代わりに、複数のレバーがソリッドボディヒンジによって相互接続に適用される請求項41ないし46のいずれかに記載のアセンブリ。
- マイクロハーモニック減衰駆動ギアを減速ギアとして備える請求項41ないし47のいずれかに記載のアセンブリ。
- ステップモータ(58,71)及び/又は減速ギア(60,74)の領域或いは分野において、フレキシブルな構造、具体的には、ソリッドボディヒンジの、モノリシックな、及び/又はクリアランスのない、与圧付与されたボールベアリング又は転がり軸受けを備える請求項41ないし48のいずれかに記載のアセンブリ。
- シャフト(59,72)及び/又は減速ギア(60,74)の運動が、センサ(80,81)によって測定される請求項41ないし49のいずれかに記載のアセンブリ。
- 実施態様、具体的には、ソリッドボディヒンジを有するマニピュレータによって影響を受けうる少なくとも1つの光学素子を有するハウジングの内部のオブジェクティブによって支持された光学システム又は配置であって、マニピュレータは、ソリッドボディヒンジによってかけられた力と対抗するか、変位に依存してソリッドボディヒンジによって作用する力又はトルクを少なくとも部分的に相殺する、要素(5,6,11,15,19)を含む光学システム。
- 素子が磁石(5,6,11)、重り(15)又はばね(19)である請求項51記載の光学システム。
- ソリッドボディヒンジのばね力に対抗するか、それを相殺するように、磁石、具体的には、電磁石がマニピュレータに設置されている請求項51又は52記載の光学システム。
- 要素(15,19)がレバー(14,16)によってソリッドボディヒンジ(20)でヒンジ運動するようになっている請求項50ないし53のいずれかに記載の光学システム。
- ソリッドボディヒンジ(4)又は複数のソリッドボディヒンジに作用する駆動アーム(3)の両側面に、駆動アーム(3)へ力をかける要素(5,6)が設けられ、又は変位又はトルクに依存してソリッドボディヒンジ(4)によって生成する力を少なくとも部分的に相殺する請求項50ないし54のいずれかに記載の光学システム。
- 第1及び第2の手段を有し、第1手段が請求項49ないし53のいずれかのシステムに関して反発力及び/又は反発トルクを生成するマニピュレータによって影響を受け得る少なくとも1つの光学素子を有する光学システムを含むオブジェクティブ、照明又は露光システム、具体的には、マイクロリソグラフィ投影露光装置であって、マニピュレータは、第1手段によって生成された反発力及び/又は反発トルクと対抗し、第1手段によって生成された力及び/又はトルクを少なくとも部分的に相殺する第2手段(5,6,11,15,19)を備えるオブジェクティブ又は照明又は露光システム。
- 第2手段が第1手段の力及び/又はトルクを相殺する請求項56記載のオブジェクティブ又は照明又は露光システム。
- 第1手段の力及び/又はトルクが過度に相殺されている請求項56又は57記載のオブジェクティブ又は照明又は露光システム。
- 第1手段が弾性ソリッドボディヒンジとして設計されているヒンジを含む請求項56ないし58のいずれかに記載のオブジェクティブ又は照明又は露光システム。
- 第2手段が磁石、重り、ばね、又は蓄電器又はこれらの要素の結合を含む請求項56ないし59のいずれかに記載のオブジェクティブ又は照明又は露光システム。
- 磁石、重り、又はばねが要素として用いられ、付加的に、要素がレバーによってソリッドボディヒンジに適用されるオブジェクティブ又は照明又は露光システム。
- 請求項1ないし50のいずれかのマイクロリソグラフィの露光投影装置における請求項56ないし61のいずれかのオブジェクティブ又は照明又は露光システムの応用。
Applications Claiming Priority (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US64763305P | 2005-01-26 | 2005-01-26 | |
US60/647,633 | 2005-01-26 | ||
US64785505P | 2005-01-27 | 2005-01-27 | |
US60/647,855 | 2005-01-27 | ||
DE102005034235.3 | 2005-07-19 | ||
DE102005034235 | 2005-07-19 | ||
PCT/EP2006/000684 WO2006079537A2 (en) | 2005-01-26 | 2006-01-26 | Optical assembly |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012033269A Division JP5540030B2 (ja) | 2005-01-26 | 2012-02-17 | 光学アセンブリ |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008529076A true JP2008529076A (ja) | 2008-07-31 |
JP2008529076A5 JP2008529076A5 (ja) | 2010-10-14 |
JP5022914B2 JP5022914B2 (ja) | 2012-09-12 |
Family
ID=36127394
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007552577A Expired - Fee Related JP5022914B2 (ja) | 2005-01-26 | 2006-01-26 | 光学アセンブリ |
JP2012033269A Active JP5540030B2 (ja) | 2005-01-26 | 2012-02-17 | 光学アセンブリ |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012033269A Active JP5540030B2 (ja) | 2005-01-26 | 2012-02-17 | 光学アセンブリ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US7791826B2 (ja) |
JP (2) | JP5022914B2 (ja) |
KR (1) | KR101332497B1 (ja) |
WO (1) | WO2006079537A2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011119550A (ja) * | 2009-12-04 | 2011-06-16 | Nikon Corp | 光学部材変形装置、光学系、露光装置、デバイスの製造方法 |
JP2011119551A (ja) * | 2009-12-04 | 2011-06-16 | Nikon Corp | 光学部材変形装置、光学系、露光装置、デバイスの製造方法 |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005062081A1 (de) * | 2005-12-22 | 2007-07-05 | Carl Zeiss Smt Ag | Projektionsobjektiv mit dezentraler Steuerung |
DE102006038455A1 (de) * | 2006-08-16 | 2008-02-21 | Carl Zeiss Smt Ag | Optisches System für die Halbleiterlithographie |
DE102006045075A1 (de) | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Carl Zeiss Smt Ag | Steuerbares optisches Element |
DE102006050835A1 (de) * | 2006-10-27 | 2008-05-08 | Carl Zeiss Smt Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Austausch von Objetkivteilen |
WO2009124590A1 (en) * | 2008-04-09 | 2009-10-15 | Carl Zeiss Smt Ag | Optical aperture device |
KR101012998B1 (ko) * | 2008-08-06 | 2011-02-10 | 경북대학교 산학협력단 | 생체모방형 로봇 눈 어셈블리 |
DE102009005954B4 (de) * | 2009-01-20 | 2010-10-21 | Carl Zeiss Smt Ag | Dämpfungsvorrichtung |
DE102009029673A1 (de) | 2009-09-22 | 2010-11-25 | Carl Zeiss Smt Ag | Manipulator zur Positionierung eines optischen Elementes in mehreren räumlichen Freiheitsgraden |
GB2486212A (en) * | 2010-12-06 | 2012-06-13 | Owen Reading | A self-contained variable power lens unit with enclosed laterally movable optical plate |
WO2012163643A1 (de) * | 2011-05-30 | 2012-12-06 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Bewegung eines optischen elements in einer mikrolithografischen projektionsbelichtungsanlage |
NL1039652C2 (en) * | 2012-06-05 | 2013-12-09 | Janssen Prec Engineering | Cryogenic positioning stage. |
SG10201509875XA (en) | 2012-09-12 | 2016-01-28 | Heptagon Micro Optics Pte Ltd | Testing of optical devices |
DE102012219806A1 (de) * | 2012-10-30 | 2014-04-30 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projektionsbelichtungsanlage mit mindestens einem Mittel zur Reduktion des Einflusses von Druckschwankungen |
JP6314318B2 (ja) * | 2013-10-15 | 2018-04-25 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レンズ鏡筒 |
EP2942654B1 (en) * | 2014-05-08 | 2018-10-10 | Airbus Defence and Space GmbH | Detector plane alignment adjusting device |
DE102015207154A1 (de) | 2014-05-09 | 2015-11-12 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projektionsobjektiv mit Wellenfrontmanipulator |
US10082667B2 (en) * | 2015-05-04 | 2018-09-25 | Harris Corporation | Laser imaging system with adjustable optical element mounting fixture and related methods |
DE102016013045A1 (de) * | 2016-10-24 | 2018-04-26 | Blum-Novotest Gmbh | Messsystem zur Messung an Werkzeugen in einer Werkzeugmaschine |
DE102017126291A1 (de) * | 2017-11-09 | 2019-05-09 | Compact Laser Solutions Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung einer Laserstrahlung |
DE102017126293A1 (de) * | 2017-11-09 | 2019-05-09 | Compact Laser Solutions Gmbh | Vorrichtung zur Verstellung eines optischen Bauelements |
DE102018207949A1 (de) * | 2018-05-22 | 2019-05-29 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Baugruppe in einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanalge |
DE102022102664B3 (de) * | 2022-02-04 | 2023-08-10 | Precitec Gmbh & Co. Kg | Laserbearbeitungskopf mit hermetisch gekapselter beweglicher Optik |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09106944A (ja) * | 1995-08-07 | 1997-04-22 | Canon Inc | 光学装置および露光装置やデバイス生産方法 |
JPH1144834A (ja) * | 1997-07-25 | 1999-02-16 | Canon Inc | 光学要素移動装置 |
JPH11233412A (ja) * | 1998-02-13 | 1999-08-27 | Nikon Corp | 投影露光装置 |
JP2000028886A (ja) * | 1998-06-09 | 2000-01-28 | Carl Zeiss:Fa | 光学要素とマウントからなるアセンブリ |
JP2001343575A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-12-14 | Nikon Corp | 光学素子保持装置、鏡筒及び露光装置並びにマイクロデバイスの製造方法。 |
JP2002258131A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-09-11 | Nikon Corp | 投影光学系及びその製造方法、露光装置及びその製造方法、並びにマイクロデバイスの製造方法 |
JP2003107311A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-09 | Nikon Corp | 光学素子保持装置、鏡筒及び露光装置並びにデバイスの製造方法 |
WO2003052511A2 (de) * | 2001-12-19 | 2003-06-26 | Carl Zeiss Smt Ag | Abbildungseinrichtung in einer projektionsbelichtungsanlage |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3967110A (en) * | 1973-09-21 | 1976-06-29 | Corning Glass Works | Automatic focusing system |
JPS63298232A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-06 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 多焦点カメラ |
US5029991A (en) * | 1989-04-13 | 1991-07-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Lens barrel |
JPH04211231A (ja) | 1990-03-20 | 1992-08-03 | Ricoh Co Ltd | 可変焦点式レンズ |
US5117255A (en) * | 1990-09-19 | 1992-05-26 | Nikon Corporation | Projection exposure apparatus |
JP2881363B2 (ja) * | 1993-02-02 | 1999-04-12 | キヤノン株式会社 | 平行移動装置およびレンズ移動装置 |
US5774274A (en) | 1995-05-12 | 1998-06-30 | Schachar; Ronald A. | Variable focus lens by small changes of the equatorial lens diameter |
JPH09237744A (ja) * | 1996-02-28 | 1997-09-09 | Sony Corp | 露光装置および露光方法 |
JPH1054932A (ja) | 1996-08-08 | 1998-02-24 | Nikon Corp | 投影光学装置及びそれを装着した投影露光装置 |
DE19859634A1 (de) | 1998-12-23 | 2000-06-29 | Zeiss Carl Fa | Optisches System, insbesondere Projektionsbelichtungsanlage der Mikrolithographie |
US6760506B2 (en) * | 1999-06-04 | 2004-07-06 | Herzel Laor | Optical switch and servo mechanism |
EP1094348B1 (de) * | 1999-10-06 | 2005-04-20 | JENOPTIK Aktiengesellschaft | Elastische Linsenträger |
US8217304B2 (en) * | 2001-03-29 | 2012-07-10 | Gsi Group Corporation | Methods and systems for thermal-based laser processing a multi-material device |
JP2002235563A (ja) * | 2001-02-06 | 2002-08-23 | Maruyama Mfg Co Ltd | 灌水装置 |
DE10151919B4 (de) * | 2001-10-20 | 2007-02-01 | Carl Zeiss Smt Ag | Belichtungsobjektiv in der Halbleiterlithographie |
DE10222331A1 (de) * | 2002-05-18 | 2003-11-27 | Zeiss Carl Smt Ag | Verfahren zur gezielten Deformation eines optischen Elements |
US6842277B2 (en) * | 2002-07-23 | 2005-01-11 | Nikon Corporation | Deformable mirror with high-bandwidth servo for rigid body control |
JP2004080025A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-03-11 | Canon Inc | 冷却装置及び方法、当該冷却装置を有する露光装置 |
JP2004151669A (ja) * | 2002-09-05 | 2004-05-27 | Citizen Watch Co Ltd | アクチュエータ装置 |
JP2004266264A (ja) * | 2003-02-13 | 2004-09-24 | Canon Inc | 光学系、露光装置、デバイス製造方法 |
JP2004281644A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Canon Inc | 駆動機構及びそれを用いた露光装置、デバイスの製造方法 |
JP2005352046A (ja) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Canon Inc | 撮像装置及び電子機器 |
US20060192949A1 (en) * | 2004-12-19 | 2006-08-31 | Bills Richard E | System and method for inspecting a workpiece surface by analyzing scattered light in a back quartersphere region above the workpiece |
-
2006
- 2006-01-26 KR KR1020077019351A patent/KR101332497B1/ko active IP Right Grant
- 2006-01-26 WO PCT/EP2006/000684 patent/WO2006079537A2/en active Application Filing
- 2006-01-26 US US11/814,713 patent/US7791826B2/en active Active
- 2006-01-26 JP JP2007552577A patent/JP5022914B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-07-02 US US12/829,491 patent/US7929227B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-03-11 US US13/046,170 patent/US8570676B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-02-17 JP JP2012033269A patent/JP5540030B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09106944A (ja) * | 1995-08-07 | 1997-04-22 | Canon Inc | 光学装置および露光装置やデバイス生産方法 |
JPH1144834A (ja) * | 1997-07-25 | 1999-02-16 | Canon Inc | 光学要素移動装置 |
JPH11233412A (ja) * | 1998-02-13 | 1999-08-27 | Nikon Corp | 投影露光装置 |
JP2000028886A (ja) * | 1998-06-09 | 2000-01-28 | Carl Zeiss:Fa | 光学要素とマウントからなるアセンブリ |
JP2001343575A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-12-14 | Nikon Corp | 光学素子保持装置、鏡筒及び露光装置並びにマイクロデバイスの製造方法。 |
JP2002258131A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-09-11 | Nikon Corp | 投影光学系及びその製造方法、露光装置及びその製造方法、並びにマイクロデバイスの製造方法 |
JP2003107311A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-09 | Nikon Corp | 光学素子保持装置、鏡筒及び露光装置並びにデバイスの製造方法 |
WO2003052511A2 (de) * | 2001-12-19 | 2003-06-26 | Carl Zeiss Smt Ag | Abbildungseinrichtung in einer projektionsbelichtungsanlage |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011119550A (ja) * | 2009-12-04 | 2011-06-16 | Nikon Corp | 光学部材変形装置、光学系、露光装置、デバイスの製造方法 |
JP2011119551A (ja) * | 2009-12-04 | 2011-06-16 | Nikon Corp | 光学部材変形装置、光学系、露光装置、デバイスの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8570676B2 (en) | 2013-10-29 |
WO2006079537A2 (en) | 2006-08-03 |
JP2012124520A (ja) | 2012-06-28 |
US20100271607A1 (en) | 2010-10-28 |
JP5540030B2 (ja) | 2014-07-02 |
US20080170303A1 (en) | 2008-07-17 |
KR20070097125A (ko) | 2007-10-02 |
KR101332497B1 (ko) | 2013-11-26 |
US20110181857A1 (en) | 2011-07-28 |
JP5022914B2 (ja) | 2012-09-12 |
US7791826B2 (en) | 2010-09-07 |
WO2006079537A3 (en) | 2006-09-21 |
US7929227B2 (en) | 2011-04-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5540030B2 (ja) | 光学アセンブリ | |
JP4649136B2 (ja) | アクチュエータ、露光装置及びデバイス製造方法 | |
EP0647788B1 (en) | Tare supporting apparatus | |
JP4574206B2 (ja) | 駆動装置、それを用いた露光装置、デバイスの製造方法 | |
KR101129119B1 (ko) | 광학 요소의 조작을 위한 장치 | |
US6281654B1 (en) | Method for making apparatus with dynamic support structure isolation and exposure method | |
JP2005064474A5 (ja) | ||
US6777833B1 (en) | Magnetic levitation stage apparatus and method | |
US8002420B2 (en) | Hydrostatic liquid-metal deformable optical elements | |
JP6360177B2 (ja) | 光学結像装置モジュール及びその構成要素の支持方法 | |
JP4654915B2 (ja) | 光学素子の保持装置、鏡筒、露光装置、及びデバイスの製造方法 | |
KR20010096591A (ko) | 스테이지 장치 및 노광장치 | |
KR20090085536A (ko) | 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 | |
US20160313649A1 (en) | Actuation Mechanism, Optical Apparatus and Lithography Apparatus | |
TWI616725B (zh) | 位置測量設備,圖案轉移設備及製造一裝置的方法 | |
US6794660B2 (en) | Long stroke mover for a stage assembly | |
KR101279666B1 (ko) | 광학 조립체 | |
JP6105906B2 (ja) | 露光装置及びデバイス製造方法 | |
CN109690379B (zh) | 用于在同步加速器光源光束线中移动和定位具有纳米级机械稳定性和分辨率的光学元件的仪器 | |
JP6016432B2 (ja) | 位置決め装置、露光装置、デバイス製造方法 | |
Fabricant et al. | Binospec | |
Bramigk et al. | High stability piezomotor driven mirror mounts for LINC-NIRVANA | |
JP6016433B2 (ja) | 位置決め装置、露光装置、デバイス製造方法 | |
Thornton et al. | Gemini near-infrared imager on-instrument wavefront sensor gimbal tilt stage | |
JP2006119333A (ja) | 光学素子調整システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090121 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090121 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20090205 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20090210 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100826 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111018 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120118 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120125 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120529 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120618 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150622 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |