JP2000223414A - マスク用保持装置 - Google Patents

マスク用保持装置

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holding
clamp
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ハウゲネダー エルンスト
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シュタインバッハ マンフレッド
Gerhard Dr Stengl
ステングル ゲルハルト
Karl-Heinz Wesslau
ヴェスラウ カール−ハインズ
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】複数のクランプによってマスクを保持するディ
スク形状のフレームを有するマスク用保持装置。 【解決手段】複数のクランプ２は、レバー５，６，２を
介してフレーム１に取り付けられていて、クランプ２に
よるフレーム１に対する相対動作の実行を可能にし、レ
バー５，６，２は、フレーム１から、及びフレーム１の
平面においてレバー５，６，２を限定する切欠８によっ
て形成され、レバージョイント９，１０，１１，１２，
１３は切欠内の狭い中断部によって形成される、クラン
プ２によってマスク３を保持するためのディスク形状の
フレーム１を有するマスク保持装置

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数のクランプに
よってマスクを保持するディスク形状のフレームを有す
るマスク用保持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えばイオンリトグラフィーのための半
導体技術において使用するマスクは、半導体ウェーハを
暴露する目的で装置内では極めて正確に保持されなけれ
ばならない。マスクは概して円形であるがフォイル状で
あることも多く、複数のクランプによってフレーム内に
保持されており、マスクの変形は相応の誤った光学的結
像につながるため、如何にしてもマスクの変形を防止す
る試みがなされている。
【０００３】可能的変形は、例えばマスク平面において
半径方向及び接線方向に発生する場合があり、変形はま
た、軸方向の曲げ動作、即ちマスクに垂直な曲げ動作に
よっても発生する可能性があり、さらにまた、保持装置
とマスクとの温度差によっても発生する可能性がある。
変形はまた、マスク端部にクランプされる際のカーディ
ング要素によっても発生し、さらには変形は保持装置及
びマスクの地球の重力場における位置の相違によっても
生成される。
【０００４】本発明は、半導体ウェーハを製造するイオ
ンリトグラフィーにおいて使用されるマスクに関するも
のであるが、本記述の枠内における「マスク」という用
語は、「マスク」の予め決められた幾何学的形状を破壊
しないために前述の力の補正を必要とするあらゆる薄構
造を意味するものとして意図されている。従ってこれは
また、電子、イオン等の粒子によって作動する、もしく
は光またはＸ線等の照射によって作動する方法に関わり
なく、様々な結像方法のためのマスクに関連し得るもの
である。また「マスク」という用語は、必ずしも透過性
に成形された本体を意味するものではなく、前記要件が
明白であるような反射性に成形された本体を指していう
場合もある。
【０００５】ある無関係な技術分野、即ち反射望遠鏡の
設計においては、望遠鏡の鏡の上でこの種の鏡を重力か
ら解放するために使用される重量軽減システムが周知と
なっている。N.N. Michelson 'Optische Teleskope, Th
eorie und Konstruktion'［光学望遠鏡、理論と構造］
（ロシア、モスクワ）Verlag Nauka 1976を参照された
い。この文書に示されている、米国マウントロックに在
るマクドナルド天文台の２０／８０ｍｍ径の望遠鏡の鏡
の場合、平衡錘がてこのメカニズムを介して鏡上に作用
し、可能な鏡の各位置において重力によって発生する力
が補正されている。対応する平衡錘とレバーとを有する
軸方向及び半径方向の軽減システムが供給されているこ
とにより、鏡の傾斜角が増大するにつれて、鏡が最終的
に垂直位置に至るまで、軸方向の軽減システムによる力
の効果は低減し、一方、半径方向の軽減システムによる
力の効果は増大することが保証されている。鏡の軸の水
平位置に対しては、半径方向の軽減システムのみがなお
有効であり、この場合の軸方向システムからの錘による
力は、この時点で専ら軽減レバーの軸受けによって吸収
される。
【０００６】上述のタイプの軽減システムは、１０００
Ｋｇを越える重量を有する大型の鏡に使用され、均衡状
態で約０．１乃至１Ｋｇの精度を達成することが可能で
ある。こうした作動においては、軽減システムを安全に
取り付けることのできる頑丈な望遠鏡の鏡を供給するこ
とが１つの要求事項である。鏡の寸法は穴の貫入度を許
容するものであり、もしくは、接着ポイントは接着また
はフライス加工によって供給することができる。何れに
しても、記述された軽減システムをマスクを保持するた
めの装置用として修正する、或いは使用することはでき
ない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、例え
ば１５０から３００ｍｍの間の直径を有する可能性のあ
るマスク寸法及び約６乃至１０ｍｍの範囲にある可能性
のあるディスク形状のフレームの極小厚さを考慮して、
既に先で述べたように異なる望ましくない力の補正を可
能にするようなクランプのためのベアリング装置を供給
する保持装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的は、導入部で記
述したタイプの保持装置によって達成され、本発明によ
れば、クランプはレバーを介してフレームに取り付けら
れ、クランプはこのレバーを介してフレームとの相関動
作の実行を可能にされ、レバーは前記レバーを限定する
切欠によってフレームから、及びフレームの平面におい
て形成され、レバージョイントは切欠における狭い中断
部によって形成される。
【０００９】本発明は、マスク保持装置特有の要求事項
に適合した、例えば重力または温度差のために生成され
る力等の様々な力に起因するマスクの変形の補正を可能
にする、もしくはこうした変形を全く発生させないよう
な軽減システムを提供する。本発明のさらなる優位点
は、本保持装置の半径方向への伸長が絶対最小値に制限
されたままであり、またベアリング摩擦が存在せず、従
って粒子の摩耗もないという事実にある。
【００１０】本発明のある好適な変形例は、各々が第１
のジョイントを介してクランプに接続され、第２のジョ
イントを介してフレームに接続されている少なくとも３
つの位置決めレバーを備えており、位置決めレバーはク
ランプによる半径方向への動作を可能にするという事実
を特徴としている。
【００１１】こうして、クランプは、発生するどんな力
にも対応して半径方向にたわむことが可能であるため、
始めから望ましくない力が発生する余地がない。この点
から、ジョイントの接続部が実質的に接線方向に延びる
ことが特に推奨される。
【００１２】フレームの表面に発生する力について考慮
することは最重要事項であるため、レバーがクランプに
よるフレーム表面との相対動作を可能にすれば、これも
また効果的である。
【００１３】重力によって発生するマスク内の力を補正
することに関しては、２つのアームを有する錘レバーが
供給されていて、第１のアームが平衡錘を形成し、第２
のアームがクランプに可動式に接続され、両アームの間
に錘レバーのフレーム面における回転を可能にするジョ
イントが形成されているような、ある実施形態を使用す
ることが推奨される。これは、錘レバーの第２のアーム
が付属するクランプにジョイントを介して接続されるこ
とにより、直接的な設計を提供する。
【００１４】一方で多くの場合、第２のアームが少なく
とも１つの中間レバーを介してクランプに接続されてい
るような設計を選択すれば、これにより力はマスク面に
しか導入されないことが保証されることから好適であ
る。
【００１５】位置決めレバーはその固有の能力によって
使用することが可能であり、もしくは位置決めレバーと
錘レバーとを供給することも可能である。しかしなが
ら、１つのクランプが位置決めレバーと錘レバーの両方
に割り当てられていればスペースを節約する配置の達成
が可能となり、多くの場合これもまた好適である。
【００１６】マスクまたはその端部を実際に保持するた
めには、各クランプはフレームに固定された支持体と弾
性要素とで構成し、マスクの端部がフレーム形状の支持
体と弾性要素との間でクランプされることが可能である
ようにすることが推奨される。
【００１７】弾性要素は、正確に規定された未だ比較的
小さな力を実際に固定させるが、一方では力が強力であ
って振動動作等の要求された条件を満たすが、他方では
力がさほど大きくなくてマスク端部にカーディング力等
の望ましくない力が生成される。
【００１８】マスクをクランプする工程を単純化するた
めには、スプレイ手段を使用して弾性要素を一時的にフ
レームに固定された支持体から持ち上げることができれ
ば好適である。
【００１９】直接的設計に関して言えば、スプレイ手段
は、フレームの軸方向の穴を通じて挿入可能な組立ピン
とすることができる。これに対して、スプレイ手段が、
円錐形の端面を有し弾性要素の傾斜面と共動する半径方
向に移動可能な組立ピンであるような設計もまた可能で
ある。この方法では、組立ピンがねじによって移動可能
である場合には特に、非常に滑らかな動作シーケンスを
達成することが可能である。
【００２０】異なる実際的実施形態の場合、弾性要素は
２つの安定した位置、即ち開放位置とクランプされた位
置との間を移動することのできる弾性のワイヤクリップ
であることが規定されている。
【００２１】前記目的を達成するためには、装置内にフ
レームを挿入することが可能であって、装置側の保持／
位置決め手段と共動するフレーム側の保持／位置決め手
段が供給されているような、マスクを保持するディスク
形状のフレームを有するマスク用保持装置を提供するこ
とも可能であり、この場合は、本発明に一致して、フレ
ーム側の保持／位置決め手段が当該保持／位置決め手段
によるフレームとの半径方向への相対動作を可能にする
レバーを介してフレームに接続されることが規定されて
おり、レバーは前記レバーを限定する切欠によってフレ
ームから、及びフレームの平面において形成され、レバ
ージョイントは切欠における狭い中断部によって形成さ
れる。
【００２２】こうして、フレーム側の保持／位置決め手
段はフレームに対して半径方向に動作することが可能で
あり、これは発生するあらゆる力を中和し、構造上のサ
イズ、特に保持装置の半径方向への伸長を過度に増大さ
せることがなく、また部品間には摩擦が起こらないとい
う事実によって、クリーンルームの極度の要求事項にと
っては極めて望ましくないと思われるあらゆる粒子摩耗
を防止する。
【００２３】実際には、保持／位置決め手段の両側に周
辺方向に見える形で２つのレバーが配置されているよう
な実施形態を適用すれば効果的であることが証明されて
いる。
【００２４】フレーム側の保持／位置決め手段をフレー
ムに対して半径方向に有効に案内するためには、複数の
レバーが互いに並行して配置されているような実施形態
を適用することが推奨される。
【００２５】また、単純化された製造工程に関しては、
保持／位置決め手段が、保持部分がレバーを介してフレ
ームに接続されているために当該保持部分がフレームに
対して半径方向に動作可能であるようなフレームの保持
部分を備えていれば好適である。このタイプの保持部分
には、装置の保持／位置決め手段と共動し、フレームの
材質とは異なる場合のある対応する材質から製造された
保持フランジを取り付けることができる。
【００２６】本装置において直接的かつ正確な調節を達
成するには、保持フランジが装置に固定された突出部に
割り当てられた円錐台状のリセスを備えていれば効果的
である。同様に、正確な位置決めに関しては、この突出
部はボールであることが可能である。
【００２７】マスクに必要な調整の実行を可能にするた
めには、フレームに対するフレーム側の保持／位置決め
手段の位置を調整手段を使用して予め調整可能にしてお
くことが推奨される。調整手段は、例えば支持部材、調
整ねじまたはこれらに類似するもの等の形式で供給する
ことができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明及び
本発明の優位点について詳細に説明する。
【００２９】図１は、ディスク形状のフレーム１で構成
される本発明に一致する保持装置を示している。フレー
ム１は、その内周上にクランプ２を備え、クランプ２
は、本例ではリングとして示されているマスク３を保持
するために使用される。
【００３０】フレーム１はまた、フレーム側の保持／位
置決め手段４を備えている。これは図１にしか示されて
いないが、その機能と構造については後述する。
【００３１】図示された実施形態では、マスク３は合計
９個のクランプ２上に保持されている。３個のクランプ
は位置決めレバー５に接続されており、６個のクランプ
２は中間レバー６を介して錘レバー７に接続されてい
る。これらのレバー装置の構造については、後に詳述す
る。
【００３２】レバー５、６及び７は全て、フレーム１か
ら、切欠８によってフレーム１の平面に形成されてお
り、レバーのジョイント９、１０、１１、１２及び１３
は切欠における狭い中断部によって生成されている。
【００３３】切欠８は、例えばプレート形状の比較的薄
いフレーム１上にワイヤＥＤＭ工程を実行することによ
って生成される。ジョイント上の対応する両カット端部
が、本事例で主として示されているように拡大されたオ
リフィスとなって終わっているか否かは製造技術上の問
題であり、かつ異なる自由度における剛性に関わるジョ
イントの寸法決めの問題である。概して、ジョイントは
事実上、ジョイントにおいてフレーム１または切欠８の
平面に対して垂直であるジョイント軸を備えていて、例
えば位置決めレバー５をジョイント１０を中心にフレー
ム面において矢印の方向に旋回させることが可能であ
り、これにより、ジョイント９におけるレバー５のクラ
ンプ２との接続に起因して、このクランプが半径方向に
動作可能であることを確認することができる。
【００３４】ジョイント９を介してクランプ２に接続さ
れる位置決めレバー５の使用によっても、導入部におい
て記述した目的に対応して、マスク３内における力の補
正が効果的に可能にされる。
【００３５】マスクの様々な位置において地球の重力場
に発生する力については、その補正を望まれることが多
いが、こうした場合は、錘レバー７が対応する軽減シス
テムを供給する。錘レバー７は、フレーム面をジョイン
ト１３を中心として回転可能な２つのアーム（７ａ，７
ｂ）を有している。第１のアーム７ａは、第２のレバー
アーム７ｂとジョイント１２を介して、ジョイント１１
でクランプ２に接続される中間レバー６上に作用する平
衡錘を形成している。複数の錘レバーが半径方向に対称
配置されている場合は、錘をマスクの各縦方向位置にお
いて必要に応じて軽減することが可能である。実際上最
も重要な事例は、マスクが装置のもともと水平であった
位置から縦方向位置へと挿入される場合である。
【００３６】錘レバー７及び位置決めレバー５は共に、
実質的に接線方向に配置されていることは明白である。
これが前提条件でない場合でも、何れにせよ前記レバー
の作用線が実質的に接線方向に伸長すれば好適であり、
これは、一方で力の補正に関していえば無意味ではな
く、従って他方、フレーム１の幅は（半径方向において
見受けられるように）大き過ぎることがない。
【００３７】図１では、錘レバー７が中間レバー６を介
してクランプ２に接続されているが、図示されていない
実施形態では、中間レバー６を省略することも可能であ
り、平衡錘７の第２のアーム７ｂが位置決めレバー内の
ジョイント９に類似したジョイントを介してクランプ２
に接続されている。図２には、中間レバー６を備えた実
施形態が拡大尺で示されており、切欠８においてジョイ
ント１１、１２及び１３を形成する狭い中断部がより明
確に示されている。
【００３８】図３は組み合わされたレバーシステムを示
している。この場合、クランプ２はジョイント９を介し
て位置決めレバー５と、また中間レバー６によって錘レ
バー７とも勘合し、レバー６はジョイント１１を介して
クランプ２と勘合している。図３が示す通り、本システ
ムは完全に図１に示された２タイプのレバーの組合せに
他ならず、このタイプの組合せによってより小型化され
た構造の保持装置を製造可能であることは明らかであ
る。
【００３９】図４に示された実施形態は、対で互いに鏡
面対称式に配置され、各々が中間レバー６を介してクラ
ンプ２に作用する両錘レバー７を示している。こうした
タイプの複数の錘レバー対の間には、上述の先に示され
た位置決めレバー５が配置されている。
【００４０】図５には、同じく錘レバーが対で配置され
ている異なる実施形態が示されているが、この場合は、
２つの錘レバーが共にクランプ２と勘合している。但し
ここでは、オプション配置のために３つの位置決めレバ
ー５が使用されている。図示されている実施形態では、
位置決めレバー５はレバー対と一体化されている（図５
の左手側及び右手側）。これに対して、錘レバー７の数
は実質的にこれより多くすることも可能であり、実際に
は、例えば１２個の錘レバー７と３個の位置決めレバー
５を備えた実施形態も可能である。
【００４１】図６が示す実施形態の場合、図の上側に示
されているクランプ２は中間レバー６を介して錘レバー
７に勘合されているが、図６の底部に示されているクラ
ンプ２は中間レバー６を介して錘レバー７に勘合される
と共に、位置決めレバー５にも勘合されている。この実
施形態では、合計６個のクランプ２が３個の位置決めレ
バー５及び６個の錘レバー７と共に供給されている。
【００４２】図７の実施形態は、ジョイント１１が錘レ
バー７の端部からクランプ２の中間領域へと配置されて
いる様子を示している。この構成は、クランプ２におけ
るあらゆる望ましくない回しモーメントを完全に排除す
るように機能する。図７が示すクランプは弾性要素１４
を備えており、マスク３はこの弾性要素１４とフレーム
に固定された支持体１５の間に保持されている。これに
ついては後に詳述する。さらに図７は、輸送、組立及び
調整の状態においてクランプ２をフレーム１に固定する
ための、円錐形のピン［図示されていない］を挿入する
ことのできる円錐形の穴１６も示している。この場合に
形成される固定式の本体ジョイントは、破壊力を除去す
る目的で極度に柔軟なものでなければならないため、装
備されていないフレーム１に関節式に接合される部品
は、この種の安全装置なしでは極めて制御不能な状態で
動作することになり、またこれにより損傷が発生する可
能性もある。
【００４３】図８が示す断面図では、この場合は板ばね
である弾性要素１４もまた明らかであって、２つのねじ
１７によってフレーム１に装着されており、マスク３
は、この弾性要素１４の自由端と、この場合は挿入式の
ピンであるフレームに固定された支持体１５との間にク
ランプされている。マスク３を挿入または除去するため
には、軸方向の穴１９を通る組立ピン１８によって弾性
要素１４をマスクから一時的に上昇させ、前記マスクを
取り外すことが可能である。
【００４４】図９が示す実施形態の場合、このタイプの
組立ピン１８はまた弾性要素１４のためのスプレイ手段
として供給されているが、ここに示された実施形態は、
フレーム１にその材質の薄い部分によって曲げジョイン
ト１０が生成されているという事実によって先の実施形
態と相違している。この曲げジョイント２０は、半径方
向の力を多少なりとも妨害なしで伝達するが、曲げ動作
を許容する。
【００４５】図１０の実施形態は、弾性要素１４のため
の異なるスプレイ要素を示している。この場合、半径方
向に動作する組立ピン２１には円錐形の端面２２が供給
されており、この端面２２は弾性要素１４の傾斜面２３
と共動することができる。ピン２１が、例えばねじ式の
動作によって傾斜面２３の方向に移動すると、弾性要素
１４の端部がマスク３から上昇し、これを解放する。
【００４６】図１１及び１２には、弾性要素の異なる実
施形態が示されている。この場合、弾性要素は弾性のワ
イヤクリップ２４で構成され、ワイヤクリップ２４は、
保持ブロック２７及び２つのねじ２８を使用して２つの
折れ曲がり端部２５、２６によってフレーム１に固定式
にクランプされている。このワイヤクリップは２つの安
定位置、即ち図１２において最も明白なように、ワイヤ
クリップがマスク３をフレームに固定された支持体１５
へと押しつける第１の位置と、ワイヤクリップの内端が
マスク３から半径方向に持ち上げられる第２の位置を有
している。ワイヤクリップ２４は、こうした２つの位置
の間を、例えばワイヤクリップ２４の延長された[この
例では図示されていない]端２５または２６とも噛み合
うことができる適正なツールを使用して移動することが
できる。
【００４７】図１３及び１４に示されている実施形態
は、フレーム側の保持／位置付け手段を示している。但
し図１３には、現時点では詳細に論じない設計の異なる
レバーシステムも図示されている。フレーム１はその外
周上にフレーム１の保持部分２９を３つ備えている。こ
こには、その内の１つのみを示しているが、このタイプ
の保持部分２９はレバー３０を介してフレームの残りの
部分と関節式に接続されている。レバー３０は、フレー
ム１から、及びフレーム面において前記レバーを限定す
る切欠３１によって形成され、レバージョイント３２は
こうした切欠内の狭い中断部によって作られている。従
ってレバー３０の設計はまた、既に記述されているレバ
ー６と錘レバー７との間の位置決めレバー５の設計にも
対応している。図１３のレバー３０は、どの場合も７対
が互いに平行して保持部分２９の両側に配置されてい
る。
【００４８】円錐台状のリセス３５を備える保持フラン
ジ３４（図１４参照）は、ねじ３３によって保持部分２
９に取り付けられている。マスク３用の保持装置全体
が、例えばイオンリトグラフィー等の装置に挿入される
場合には、この円錐台状のリセス３５が本例で示されて
いるボール３６等の装置に固定された突起と共動し、保
持装置全体の効果的な方法による中心配置を可能にす
る。また、フレーム１に対するこの場合は保持フランジ
３４であるフレーム側の保持／位置決め手段の位置は、
調整手段の使用によって事前に調整することが可能であ
る。本事例では、対応する挿入物３７が調整手段として
供給されているが、調整は調整ねじまたはこれに類する
ものによって継続的に行なうことも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に一致する保持装置の略正面図であ
る。
【図２】 マスクの一端部領域と、前記マスクと勘合す
るクランプと、錘レバーとを示した断面及び略正面図で
ある。
【図３】 結合された錘及び位置決めレバーを有する図
２に準じる図である。
【図４】 錘レバーと位置決めレバーとを有する本発明
に一致する装置のさらなる実施形態を略示した部分正面
図である。
【図５】 錘レバーと位置決めレバーの対配置を示した
図４に準じる図である。
【図６】 錘レバーと位置決めレバーの省スペース配置
を有するさらなる変形例における本発明に一致する装置
を示した部分正面図である。
【図７】 クランプ領域における本発明に一致する保持
装置の一部を示した略平面図である。
【図８】 クランプ領域における本発明に一致する装置
の一部を示した半径方向の断面図である。
【図９】 特殊な曲げジョイントを有する図８に準じる
図である。
【図１０】 図８及び９に準じる異なる設計の断面図で
ある。
【図１１】 クランプ領域における本発明に一致する装
置の一部の平面図である。
【図１２】 図１１の線１２−１２に沿った断面図であ
る。
【図１３】 保持／位置決め手段のための特殊なベアリ
ング装置を有するさらなる変形例における、本発明に一
致する装置の９０゜部分の略正面図である。
【図１４】 図１３の線１４−１４に沿った断面図であ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マンフレッド シュタインバッハ ドイツ、58452 ヴィッテン、ラウエンダ ールシュトラーセ ８ (72)発明者 ゲルハルト ステングル オーストリア、9241 ベルンベルク、オウ スィシトスベック 20 (72)発明者 カール−ハインズ ヴェスラウ ドイツ、07743 ジェナ、ツィツマンシュ トラーセ 23

Claims (21)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 複数のクランプ（２）によってマスク
    （３）を保持するためのディスク形状のフレーム（１）
    を有するマスク用保持装置であって、 前記クランプ（２）は、レバー（５，６，２）を介して
    フレーム（１）に取り付けられていて、クランプによる
    フレームに対する相対動作の実行を可能にし、 前記レバーは、フレームから、及びフレームの平面にお
    いて前記レバーを限定する切欠（８）によって形成さ
    れ、レバージョイント（９，１０，１１，１２，１３）
    は切欠内の狭い中断部によって形成されることを特徴と
    するマスク用保持装置。
  2. 【請求項２】 各々が第１のジョイント（９）を介して
    クランプ（２）に接続され、また第２のジョイント（１
    ０）を介してフレーム（１）に接続されている少なくと
    も３つの位置決めレバー（５）が供給され、位置決めレ
    バーはクランプを半径方向に移動可能にすることを特徴
    とする請求項１記載の保持装置。
  3. 【請求項３】 ジョイント（９，１０，１２，１３）の
    接続部は実質的に接線方向に伸長することを特徴とする
    請求項１または２記載の保持装置。
  4. 【請求項４】 前記レバー（５，６，７）は、クランプ
    （２）によるフレーム（１）の平面におけるフレーム
    （１）との相対動作の実行を可能にすることを特徴とす
    る請求項１乃至３の何れかに記載された保持装置。
  5. 【請求項５】 ２つのアームを有する錘レバー（７）が
    供給され、第１のアーム（７ａ）は平衡錘を形成し、第
    ２のアーム（７ｂ）はクランプ（２）に可動式に接続さ
    れ、両アーム（７ａ、７ｂ）の間には錘レバーによるフ
    レーム面における回転を可能にするジョイント（１３）
    が形成されることを特徴とする請求項１乃至４の何れか
    に記載された保持装置。
  6. 【請求項６】 錘レバー（７）の第２のアーム（７ｂ）
    はジョイントを介して付随するクランプ（２）に直接接
    続されることを特徴とする請求項５記載の保持装置。
  7. 【請求項７】 第２のアーム（７ｂ）は少なくとも１つ
    の中間レバー（６）を介してクランプ（２）に関節式に
    接続されることを特徴とする請求項５記載の保持装置。
  8. 【請求項８】 クランプ（２）は位置決めレバー（５）
    と錘レバー（７）の双方に配分されることを特徴とする
    請求項２乃至４の何れか、及び請求項５乃至７の何れか
    に記載された保持装置。
  9. 【請求項９】 各クランプ（２）はフレームに固定され
    た支持体（１５）と弾性要素（１４）とで構成され、マ
    スク（３）はその端部をフレームに固定された支持体と
    弾性要素との間にクランプされることが可能であること
    を特徴とする請求項１乃至８の何れかに記載された保持
    装置。
  10. 【請求項１０】 弾性要素（１４）はスプレイ手段（１
    ８，２１）によってフレームに固定された支持体（１
    ５）から一時的に持ち上げられることが可能であること
    を特徴とする請求項９記載の保持装置。
  11. 【請求項１１】 スプレイ手段はフレーム（１）の軸方
    向穴（１９）へと挿入可能な組立ピン（１８）であるこ
    とを特徴とする請求項１０記載の保持装置。
  12. 【請求項１２】 スプレイ手段は、弾性要素（１４）の
    傾斜面（２３）と共動する円錐状の端面（２２）を備え
    る半径方向に移動可能な組立ピン（２１）であることを
    特徴とする請求項１０記載の装置。
  13. 【請求項１３】 弾性要素は、２つの安定した位置、即
    ち開放位置と固定位置との間を移動可能な弾性ワイヤク
    リップ（２４）であることを特徴とする請求項９または
    １０記載の保持装置。
  14. 【請求項１４】 マスクを保持するためのディスク形状
    のフレーム（１）を有するマスク（３）用の保持装置で
    あって、フレームは装置内に挿入されることが可能であ
    り、装置側の保持／位置決め手段と共動するフレーム側
    の保持／位置決め手段（３４）が供給されており、 フレーム側の保持／位置決め手段（３４，２９）はレバ
    ー（３０）を介してフレーム（１）に関節式に接続され
    ていて、保持／位置決め手段によるフレームに対する半
    径方向の相対動作の実行を可能にし、 レバー（３０）は、フレームから、及びフレームの平面
    において前記レバーを限定する切欠（３１）によって形
    成され、レバージョイント（３２）は切欠内の狭い中断
    部によって形成されることを特徴とするマスク用保持装
    置。
  15. 【請求項１５】 外周方向において見られるように、レ
    バー（３０）は保持／位置決め手段（３４，２９）の両
    側に配置されることを特徴とする請求項１４記載の保持
    装置。
  16. 【請求項１６】 複数のレバー（３０）は互いに平行に
    配置されることを特徴とする請求項１４または１５記載
    の保持装置。
  17. 【請求項１７】 保持／位置決め手段（３４）はフレー
    ムの保持部分（２９）を備え、前記保持部分はレバー
    （３０）を介してフレーム（１）に関節式に接続されて
    いることを特徴とする請求項１４乃至１６の何れかに記
    載された保持装置。
  18. 【請求項１８】 保持フランジ（３４）はフレーム
    （１）の保持部分（２９）に取り付けられることを特徴
    とする請求項１７記載の保持装置。
  19. 【請求項１９】 保持フランジ（３４）は装置に固定さ
    れた突起（３６）に配分された円錐台状のリセス（３
    ５）を備えることを特徴とする請求項１８記載の保持装
    置。
  20. 【請求項２０】 前記突起はボール（３６）であること
    を特徴とする請求項１９記載の保持装置。
  21. 【請求項２１】 フレーム（１）に対するフレーム側の
    保持／位置決め手段（３４）の位置は調整手段（３７）
    を使用して事前に調整可能であることを特徴とする請求
    項１４乃至２０の何れかに記載された保持装置。
JP11289483A 1998-10-12 1999-10-12 マスク用保持装置 Pending JP2000223414A (ja)

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