JP5592951B2 - 光学要素のための保持装置 - Google Patents
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- 収容される光学要素(10)を取り囲む基本構造(3)と、光軸(z)を有する光学系における光学要素(10)を該基本構造(3)上に支持することができる取り付けデバイスと、収容される光学要素(10)を担持し、かつ前記取り付けデバイスが作用する内側構造(2)とを有する光学要素(10)のための保持装置であって、
前記取り付けデバイスが、前記光学要素(10)を前記光軸(z)の回りと、該光軸(z)と垂直に延びる第1の軸(x)の回りとに回転移動可能であるように前記取り付けデバイスによって支持することができるように2つの自由度を有し、
前記取り付けデバイスは、前記基本構造(3)の対向する位置において前記第1の軸(x)に沿って配置された2つの連結点(6,106,206)と連結ユニット(I)を有し、該連結点(6,106,206)は、前記内側構造(2)を前記基本構造(3)に結合し、前記連結ユニット(I)は、周方向に前記連結点(6,106,206)の間に配置され、
前記連結点(6,106,206)の各々が、前記連結点(6,106,206)において、前記光軸(z)及び前記第1の軸(x)に垂直に位置し、かつ該光軸(z)及び該第1の軸(x)と共通点で交わる第2の軸(y)の方向と平行な前記基本構造(3)に対する前記収容される光学要素(10)の並進移動と、前記基本構造(3)に対する前記収容される光学要素(10)の前記第1の軸(x)の回りの回転移動とが可能であるように構成され、
前記連結点(6,106,206)の各々が、前記光軸(z)の方向と平行な前記基本構造(3)に対する前記収容される光学要素(10)の並進移動と、前記第2の軸(y)の回りの回転移動とを阻止するように構成され、
前記連結点(6,106,206)は、前記第1の軸(x)の方向と平行な前記基本構造(3)に対する前記収容される光学要素(10)の並進移動を共同で阻止するように構成され、
前記連結ユニット(I)は、前記連結ユニット(I)において、前記第1の軸(x)の方向と平行な前記基本構造(3)に対する前記収容される光学要素(10)の並進移動と、前記光軸(z)の方向と平行な前記基本構造(3)に対する前記収容される光学要素(10)の並進移動とが可能であるように構成され、
前記連結ユニット(I)は、前記基本構造(3)に対する前記収容される光学要素(10)の前記第2の軸(y)の方向の並進移動を阻止するように構成される、
ことを特徴とする保持装置。 - 前記光学要素は円柱レンズとして具現化され、前記第1の軸(x)は、前記円柱レンズの軸方向と垂直に延びることを特徴とする請求項1に記載の保持装置。
- 前記連結点(6,106,206)は、少なくとも1つの固定本体継手を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の保持装置。
- 前記少なくとも1つの固定本体継手は、板バネ継手として具現化されることを特徴とする請求項3に記載の保持装置。
- 前記連結ユニット(I)は、中間要素(21)を有し、前記光学要素(10)は、少なくとも第1の接続構造(7)を通じて該中間要素(21)に連結され、該中間要素(21)は、少なくとも第2の接続構造(8)を通じて前記基本構造(3)に連結されることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の保持装置。
- 前記接続構造(7,8)は、固定本体継手を有することを特徴とする請求項5に記載の保持装置。
- 前記固定本体継手は、板バネ継手として具現化されることを特徴とする請求項6に記載の保持装置。
- 少なくとも1つの調節ユニット(4)が、周方向に前記連結点(6,106,206)の間に、かつ前記連結ユニット(I)に対向して設けられ、
前記少なくとも1つの調節ユニット(4)は、前記収容される光学要素(10)が前記第1の軸(x)の回りの回転移動を通じて調節可能であるように前記少なくとも1つの調節ユニット(4)において前記光軸(z)の方向と平行な並進移動を生ぜしめるか、又は前記収容される光学要素(10)が前記光軸(z)の回りの回転移動を通じて調節可能であるように前記少なくとも1つの調節ユニット(4)において前記第1の軸(x)の方向と平行な並進移動を生ぜしめるために使用可能であることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の保持装置。 - 前記調節ユニット(4)は、前記基本構造(3)上に配置された静止部(41)、及び出力部(42)を有し、該静止部及び該出力部は、少なくとも1つの設定レバー(43,44)を通じて互いに接合されることを特徴とする請求項8に記載の保持装置。
- 前記静止部(41)及び前記出力部(42)は、2つの設定レバー(43,44)を通じて互いに接合されることを特徴とする請求項9に記載の保持装置。
- 前記少なくとも1つの設定レバー(43,44)は、固定本体継手によって前記静止部(41)及び/又は前記出力部(42)に接続されることを特徴とする請求項10に記載の保持装置。
- 前記出力部(42)は、少なくとも1つの固定本体継手(5,105)によって前記内側構造(2)に対して支持されることを特徴とする請求項9、請求項10、又は請求項11に記載の保持装置。
- 前記固定本体継手は、板バネ継手として具現化されることを特徴とする請求項11又は12に記載の保持装置。
- 光学系のためのマニピュレータユニットであって、
請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の保持装置、
を含むことを特徴とするマニピュレータユニット。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102009037135A DE102009037135B4 (de) | 2009-07-31 | 2009-07-31 | Haltevorrichtung für ein optisches Element |
DE102009037135.4 | 2009-07-31 | ||
PCT/EP2010/004515 WO2011012264A1 (en) | 2009-07-31 | 2010-07-23 | Holding arrangement for an optical element |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013501250A JP2013501250A (ja) | 2013-01-10 |
JP2013501250A5 JP2013501250A5 (ja) | 2013-09-12 |
JP5592951B2 true JP5592951B2 (ja) | 2014-09-17 |
Family
ID=42671720
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012522010A Expired - Fee Related JP5592951B2 (ja) | 2009-07-31 | 2010-07-23 | 光学要素のための保持装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8508868B2 (ja) |
JP (1) | JP5592951B2 (ja) |
KR (1) | KR20120055573A (ja) |
CN (1) | CN102549469B (ja) |
DE (1) | DE102009037135B4 (ja) |
WO (1) | WO2011012264A1 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011012388B3 (de) * | 2011-02-25 | 2012-05-31 | Imm Photonics Gmbh | Justiervorrichtung |
US8279544B1 (en) | 2011-03-18 | 2012-10-02 | Premier Systems USA, Inc | Selectively attachable and removable lenses for communication devices |
EP2895905A1 (en) | 2012-09-12 | 2015-07-22 | olloclip, LLC | Removable optical devices for mobile electronic devices |
US9294660B2 (en) | 2013-03-13 | 2016-03-22 | Olloclip, Llc | Removable lenses for mobile electronic devices |
US9661200B2 (en) | 2013-08-07 | 2017-05-23 | Olloclip, Llc | Auxiliary optical components for mobile devices |
WO2015048143A1 (en) | 2013-09-26 | 2015-04-02 | Olloclip, Llc | Selectively attachable and removable optical systems for mobile devices |
USD754228S1 (en) | 2014-02-19 | 2016-04-19 | olioclip, LLC | Optical component |
US10088738B2 (en) | 2014-04-11 | 2018-10-02 | Portero Holdings, Llc | Auxiliary optical devices |
USD761896S1 (en) | 2014-04-11 | 2016-07-19 | Olloclip, Llc | Optical component |
US9454066B2 (en) | 2014-06-19 | 2016-09-27 | Olloclip, Llc | Auxiliary optical components for mobile devices |
USD763340S1 (en) | 2014-10-02 | 2016-08-09 | Olloclip, Llc | Optical component |
DE102017112517B3 (de) | 2017-06-07 | 2018-12-06 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Stellvorrichtung |
US11448854B2 (en) | 2019-02-21 | 2022-09-20 | Alcon, Inc. | Angle adjustment system |
CN114063238A (zh) * | 2020-07-31 | 2022-02-18 | 奥普托图尼股份公司 | 光学装置、制造光学装置的方法和操作光学装置的方法 |
DE102020134653B3 (de) | 2020-12-22 | 2022-05-12 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein | Justierbarer Optikhalter für ein optisches Element |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5220460A (en) * | 1991-09-24 | 1993-06-15 | Eastman Kodak Company | Adjustable mount for cylindrical lens with torque applied directly to lens |
US5210648A (en) * | 1991-09-24 | 1993-05-11 | Eastman Kodak Company | Adjustable mount for cylindrical lens with independent rotational feature |
JP3894509B2 (ja) * | 1995-08-07 | 2007-03-22 | キヤノン株式会社 | 光学装置、露光装置およびデバイス製造方法 |
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JP4945845B2 (ja) * | 2000-03-31 | 2012-06-06 | 株式会社ニコン | 光学素子保持装置、鏡筒及び露光装置並びにマイクロデバイスの製造方法。 |
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KR20070090246A (ko) * | 2004-12-22 | 2007-09-05 | 칼 짜이스 레이저 옵틱스 게엠베하 | 선형 빔을 형성하기 위한 광 조명 시스템 |
JP5199068B2 (ja) | 2005-05-09 | 2013-05-15 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 光学エレメント調整組立体 |
WO2007017013A2 (de) * | 2005-07-01 | 2007-02-15 | Carl Zeiss Smt Ag | Anordnung zur lagerung eines optischen bauelements |
US7612956B2 (en) * | 2007-02-28 | 2009-11-03 | Corning Incorporated | Optical mount pivotable about a single point |
DE102008040218A1 (de) * | 2007-07-11 | 2009-01-15 | Carl Zeiss Smt Ag | Drehbares optisches Element |
JP5712519B2 (ja) | 2010-07-23 | 2015-05-07 | 株式会社リコー | 撮像装置および撮像方法 |
-
2009
- 2009-07-31 DE DE102009037135A patent/DE102009037135B4/de not_active Withdrawn - After Issue
-
2010
- 2010-07-23 JP JP2012522010A patent/JP5592951B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-07-23 KR KR1020127005285A patent/KR20120055573A/ko not_active Application Discontinuation
- 2010-07-23 WO PCT/EP2010/004515 patent/WO2011012264A1/en active Application Filing
- 2010-07-23 CN CN201080044076.4A patent/CN102549469B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-01-26 US US13/359,341 patent/US8508868B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20120055573A (ko) | 2012-05-31 |
JP2013501250A (ja) | 2013-01-10 |
CN102549469A (zh) | 2012-07-04 |
CN102549469B (zh) | 2014-08-06 |
DE102009037135A1 (de) | 2011-02-03 |
WO2011012264A1 (en) | 2011-02-03 |
DE102009037135B4 (de) | 2013-07-04 |
US20120154935A1 (en) | 2012-06-21 |
US8508868B2 (en) | 2013-08-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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