DE20012046U1 - Vorrichtung zum Justieren einer Fläche eines Justierteiles - Google Patents

Vorrichtung zum Justieren einer Fläche eines Justierteiles

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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
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    • G—PHYSICS
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Claims (12)

1. Vorrichtung zum Justieren einer Fläche eines Justierteiles in zwei unabhängig voneinander liegende Richtungen, insbe­ sondere einer Spiegelfläche eines Spiegels zum Einstellen eines Meßstrahles, z. B. eines Meßlasers, in der Halbleiter- Lithographie, mit folgenden Merkmalen:
  • a) einem mit einem Basisteil (3) verbundenen Grundträger (6),
  • b) der Grundträger (6) ist über erste Federarme (7, 8) mit einem ersten Verstellträger (9) verbunden,
  • c) der erste Verstellträger (9) ist über zweite Federarme (11, 12) mit einem zweiten Verstellträger (10) verbun­ den,
  • d) die ersten Federarme (7, 8) und die zweiten Federarme (11, 12) liegen in einem Winkel zueinander,
  • e) die zu justierende Fläche (2) ist auf einem der beiden Verstellträger (9, 10) angeordnet, und
  • f) Stellglieder (13, 14) greifen an dem ersten und dem zweiten Verstellträger (9, 10) an.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zu justierende Fläche (2) auf dem zweiten Verstellträ­ ger (10) angeordnet ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Stellglieder (13, 14) aus der gleichen Richtung an­ greifen.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Winkel zwischen den ersten Federarmen (7, 8) und den zweiten Federarmen (11, 12) 90° beträgt.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß zur Justierung der Fläche Viergelenke (18, 19, 20,21) vorgesehen sind, die aus den ersten und aus den zweiten Federarmen (11, 12) in Verbindung mit dem ersten und dem zweiten Verstellträger (9, 10) gebildet sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Federarme (7, 8, 11, 12) an ihren Anbindungsstellen mit dem ersten und dem zweiten Verstellträger (9, 10) als Fest­ körpergelenke ausgebildet sind.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens der Grundträger (6), der erste Verstellträger (9), der zweite Verstellträger (10) und die Federarme (7, 8, 11, 12) einstückig ausgebildet sind.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Basisteil (3) zusammen mit dem Grundträger (6), dem er­ sten Verstellträger (9), dem zweiten Verstellträger (10) und den Federarmen (7, 8, 11, 12) einstückig ausgebildet ist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Federarme (7, 8, 11, 12) durch Einschnitte in dem ein­ stückigen Körper, z. B. durch Erodierung, gebildet sind.
10. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstellglieder aus Stellschrauben (13, 14) gebildet sind.
11. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß entgegen der Schraubrichtung der Stellschrauben (13, 14) ge­ richtete Vorspannglieder (22, 23) an den ersten und zweiten Federarmen (7, 8, 11, 12) angreifen.
12. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorspannglieder (22, 23) durch Vorspannschrauben gebil­ det sind.
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