JP2002072057A - 調整部品の面調整装置 - Google Patents
調整部品の面調整装置Info
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- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
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- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】極めて正確な調整が可能であり、必要によって
は組立後も調整可能である調整部品の面調整装置を提供
する。 【解決手段】 調整部品の面、特に半導体リソグラフィ
ーで測定光線、例えば、測定レーザを調整する鏡の反射
面を互いに別個に位置されている２つの方向に調整する
ための本発明による装置は、ベース部材３と結合された
基礎支持台６を備え、基礎支持台６は、第１バネアーム
７、８を介して第１移動支持台９と結合され、第１移動
支持台９は、第２バネアーム１１、１２を介して第２移
動支持台１０と結合され、第１バネアーム７、８及び第
２バネアーム１１、１２は、互いに角度をなして位置さ
れ、調整しようとする面２は、２つの移動支持台９、１
０のいずれかの上に配置され、調整部材１３、１４は、
第１及び第２移動支持台９、１０にその作用を及ぼす。
は組立後も調整可能である調整部品の面調整装置を提供
する。 【解決手段】 調整部品の面、特に半導体リソグラフィ
ーで測定光線、例えば、測定レーザを調整する鏡の反射
面を互いに別個に位置されている２つの方向に調整する
ための本発明による装置は、ベース部材３と結合された
基礎支持台６を備え、基礎支持台６は、第１バネアーム
７、８を介して第１移動支持台９と結合され、第１移動
支持台９は、第２バネアーム１１、１２を介して第２移
動支持台１０と結合され、第１バネアーム７、８及び第
２バネアーム１１、１２は、互いに角度をなして位置さ
れ、調整しようとする面２は、２つの移動支持台９、１
０のいずれかの上に配置され、調整部材１３、１４は、
第１及び第２移動支持台９、１０にその作用を及ぼす。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、調整部品の面、特
に半導体リソグラフィーで測定光線、例えば、測定レー
ザを調整する鏡の反射面を互いに別個に位置されている
２つの方向に調整するための装置に関する。
に半導体リソグラフィーで測定光線、例えば、測定レー
ザを調整する鏡の反射面を互いに別個に位置されている
２つの方向に調整するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】各種の分野、特に光学分野では、通常、
調整部品の面を正確に調整することが必要である。それ
は、例えば、半導体リソグラフィーでレーザの測定光線
に対して適用されるものである。その場合、測定光線か
らなるレーザは、十字線またはウェハ上に配置された測
定マークを互いに比較するためにシステムまたは対物レ
ンズを介して転送される。また、測定光線の経路には極
めて正確に調整される必要がある反射面を備える転向鏡
を設けられ、これにより、マスクまたは十字線がウェハ
に対して極めて正確に位置することになる。
調整部品の面を正確に調整することが必要である。それ
は、例えば、半導体リソグラフィーでレーザの測定光線
に対して適用されるものである。その場合、測定光線か
らなるレーザは、十字線またはウェハ上に配置された測
定マークを互いに比較するためにシステムまたは対物レ
ンズを介して転送される。また、測定光線の経路には極
めて正確に調整される必要がある反射面を備える転向鏡
を設けられ、これにより、マスクまたは十字線がウェハ
に対して極めて正確に位置することになる。
【０００３】実際に、組立しようとする装置に複雑に装
着されて調整され、大部分ガラス棒である棒上に転向鏡
を接着することが公知されているが、その場合は対物レ
ンズの組立後にこれ以上調整の補正ができなくなる。
着されて調整され、大部分ガラス棒である棒上に転向鏡
を接着することが公知されているが、その場合は対物レ
ンズの組立後にこれ以上調整の補正ができなくなる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような課
題に着目してなされたものであり、その目的とすること
は、極めて正確な調整が可能であり、必要によっては組
立後も、すなわち装置が装着された状態でも調整可能で
ある上述した類型の装置を提供することにある。
題に着目してなされたものであり、その目的とすること
は、極めて正確な調整が可能であり、必要によっては組
立後も、すなわち装置が装着された状態でも調整可能で
ある上述した類型の装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、本発明に
より請求項１に記載の特徴により達成される。
より請求項１に記載の特徴により達成される。
【０００６】本発明による装置によると、調整しようと
する面、例えば、鏡の反射面または光学要素の他の調整
しようとする面の角度が極めてコンパクトである構造群
により調整できる。
する面、例えば、鏡の反射面または光学要素の他の調整
しようとする面の角度が極めてコンパクトである構造群
により調整できる。
【０００７】特に、調整しようとする面が第２移動支持
台に配置され、調整部材が同一方向から作用することに
なると、装着状態でも後に調整を行なうことが可能にな
る。すなわち、この場合は、調整部材を各々穴の中に配
置しているか、または調整部材が穴を介してそれに到達
できるベース部材が後でも調整ネジが調整ステージ側か
ら対物レンズに接近できるように配置可能になる。
台に配置され、調整部材が同一方向から作用することに
なると、装着状態でも後に調整を行なうことが可能にな
る。すなわち、この場合は、調整部材を各々穴の中に配
置しているか、または調整部材が穴を介してそれに到達
できるベース部材が後でも調整ネジが調整ステージ側か
ら対物レンズに接近できるように配置可能になる。
【０００８】第１及び第２バネアームは、互いに９０°
の角度で配置されることがよい。このようにして、２次
元的な角度調整稼動装置が得られることにより、調整し
ようとする面が２つの任意の方向に傾斜するようにでき
る。
の角度で配置されることがよい。このようにして、２次
元的な角度調整稼動装置が得られることにより、調整し
ようとする面が２つの任意の方向に傾斜するようにでき
る。
【０００９】本発明の極めて好適な構成では２つの移動
支持台と結合されたバネアームで形成される４ジョイン
トまたは４節クランク機構により調整が行なわれる。
支持台と結合されたバネアームで形成される４ジョイン
トまたは４節クランク機構により調整が行なわれる。
【００１０】本発明の他の好適な構成及び改善する点
は、残りの従属請求項及び添付の図面により概念的に説
明される以後の実施の形態からよくわかる。
は、残りの従属請求項及び添付の図面により概念的に説
明される以後の実施の形態からよくわかる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明を半導体リソグラフ
ィー等で反射面２を備えた転向鏡１に関連して説明す
る。しかしながら、本発明は、その他の面を調整するに
も適合であることは言うまでもない。転向鏡１は、図示
を省略した測定レーザにより生成される測定光線を調整
して、十字線をウェハに対して正向させるための測定シ
ステムの一部である。このために、ベース部材３を備え
た装置が図１に点線のみで示す対物レンズ４に装着され
る。ベース部材３は、対物レンズ４との結合のために、
螺合用穴５を備える。ベース部材３からはそれと直角を
なして基礎支持台６が延長される。基礎支持台６は、第
１バネアーム７、８を介して第１移動支持台９と結合さ
れる。バネアーム７、８は、基礎支持台６からエッチン
グされた部分による薄いブリッジとして形成される。特
に、これは図２からわかるように、図２では第１移動支
持台９が同様に２つのバネアーム１１、１２を介して第
１移動支持台９と結合される第２移動支持台１０の背後
に位置されているため、その自体は見られない。２つの
バネアーム１１、１２もやはり薄いブリッジとして形成
され、第２移動支持台１０の完全な材料からエッチング
された部分により加工される。
ィー等で反射面２を備えた転向鏡１に関連して説明す
る。しかしながら、本発明は、その他の面を調整するに
も適合であることは言うまでもない。転向鏡１は、図示
を省略した測定レーザにより生成される測定光線を調整
して、十字線をウェハに対して正向させるための測定シ
ステムの一部である。このために、ベース部材３を備え
た装置が図１に点線のみで示す対物レンズ４に装着され
る。ベース部材３は、対物レンズ４との結合のために、
螺合用穴５を備える。ベース部材３からはそれと直角を
なして基礎支持台６が延長される。基礎支持台６は、第
１バネアーム７、８を介して第１移動支持台９と結合さ
れる。バネアーム７、８は、基礎支持台６からエッチン
グされた部分による薄いブリッジとして形成される。特
に、これは図２からわかるように、図２では第１移動支
持台９が同様に２つのバネアーム１１、１２を介して第
１移動支持台９と結合される第２移動支持台１０の背後
に位置されているため、その自体は見られない。２つの
バネアーム１１、１２もやはり薄いブリッジとして形成
され、第２移動支持台１０の完全な材料からエッチング
された部分により加工される。
【００１２】特に図１からわかるように、全体の装置は
一体に形成される。すなわち、ベース部材３、基礎支持
台６、第１移動支持台９、及び第２移動支持台１０は、
同一部品で形成され、各々の分離及びバネアーム７、８
及び１１、１２を介した結合は、エッチングされた該当
部分によりなされる。
一体に形成される。すなわち、ベース部材３、基礎支持
台６、第１移動支持台９、及び第２移動支持台１０は、
同一部品で形成され、各々の分離及びバネアーム７、８
及び１１、１２を介した結合は、エッチングされた該当
部分によりなされる。
【００１３】バネアーム７、８は、バネアーム１１、１
２に対して９０°の角度で配置される。
２に対して９０°の角度で配置される。
【００１４】２つの調整ネジ１３、１４は、調整部材と
して設けられる。調整ネジ１４は、ベース部材３にある
ネジ穴の中に螺合され、反射面２を備えた転向鏡１がそ
の上に配置されている第２移動支持台１０にその作用を
及ぼす。
して設けられる。調整ネジ１４は、ベース部材３にある
ネジ穴の中に螺合され、反射面２を備えた転向鏡１がそ
の上に配置されている第２移動支持台１０にその作用を
及ぼす。
【００１５】調整ネジ１３は、第１移動支持台９のネジ
穴の中に配置され、やはり第２移動支持台１０にその作
用を及ぼすが、上述の移動方向に対して９０°で作用を
及ぼす。図示のように、２つの調整ネジ１３、１４は、
その軸線方向において同一に正向されるか、または同一
側から調整のために接近可能になる。そのために、例え
ば、両者の調整ネジ１３、１４は、いわゆるプッシュス
クリューとして形成可能である。この場合、調整ネジ１
３は、ベース部材３にある貫通穴１５を介して外部か
ら、すなわち調整ネジ１４と同一方向から接近可能であ
る。ベース部材３が点線のみで示される対物レンズ４
に、その下面または外面１６が外部に置かれるように配
置されると、両者の調整ネジ１３、１４は、組合せ後に
対物レンズ４にある該切欠部を介して常時反射面２の調
整のために接近可能になる。
穴の中に配置され、やはり第２移動支持台１０にその作
用を及ぼすが、上述の移動方向に対して９０°で作用を
及ぼす。図示のように、２つの調整ネジ１３、１４は、
その軸線方向において同一に正向されるか、または同一
側から調整のために接近可能になる。そのために、例え
ば、両者の調整ネジ１３、１４は、いわゆるプッシュス
クリューとして形成可能である。この場合、調整ネジ１
３は、ベース部材３にある貫通穴１５を介して外部か
ら、すなわち調整ネジ１４と同一方向から接近可能であ
る。ベース部材３が点線のみで示される対物レンズ４
に、その下面または外面１６が外部に置かれるように配
置されると、両者の調整ネジ１３、１４は、組合せ後に
対物レンズ４にある該切欠部を介して常時反射面２の調
整のために接近可能になる。
【００１６】調整しようとする反射面２を、互いに９０
°で位置される２つの方向に調整することは、次のよう
に実行できる。
°で位置される２つの方向に調整することは、次のよう
に実行できる。
【００１７】調整ネジ１３は、これが移動されるとき、
第２移動支持台１０のレバーアーム１７に作用を及ぼ
す。バネアーム１１、１２と２つの移動支持台９、１０
により、４ジョイントが形成される(図４参照)。この場
合、バネアーム１１、１２の各々のリンク点は、ジョイ
ント点１８、１９、２０、２１としての役割を果たす。
第２移動支持台１０のレバーアーム１７に作用を及ぼ
す。バネアーム１１、１２と２つの移動支持台９、１０
により、４ジョイントが形成される(図４参照)。この場
合、バネアーム１１、１２の各々のリンク点は、ジョイ
ント点１８、１９、２０、２１としての役割を果たす。
【００１８】調整ネジ１３により、レバーアーム１７を
介して、ジョイント点１８に「Ｆ１」の力がかかること
により、移動支持台１０の角度が変更され、これによ
り、反射面２の角度もやはり一方向に相応して変更され
る(図５参照)。
介して、ジョイント点１８に「Ｆ１」の力がかかること
により、移動支持台１０の角度が変更され、これによ
り、反射面２の角度もやはり一方向に相応して変更され
る(図５参照)。
【００１９】それに対して９０°で位置される方向とし
ての反射面２の必要な角度変更は、同様に４ジョイント
に作用を及ぼす調整ネジ１４により行なわれるが、この
ような４ジョイントは、バネアーム７、８と２つの移動
支持台９、１０により形成される。その場合もやはり、
バネアーム７、８のリンク点がジョイント点として提供
される。理解し易くするため、このジョイント点には、
図面符号「１８′、１９′、２０′、２１′」(図２参
照)を付する。
ての反射面２の必要な角度変更は、同様に４ジョイント
に作用を及ぼす調整ネジ１４により行なわれるが、この
ような４ジョイントは、バネアーム７、８と２つの移動
支持台９、１０により形成される。その場合もやはり、
バネアーム７、８のリンク点がジョイント点として提供
される。理解し易くするため、このジョイント点には、
図面符号「１８′、１９′、２０′、２１′」(図２参
照)を付する。
【００２０】図４及び図５の説明に関連して、この図面
の場合ではバネアーム１１、１２はバネアーム７、８に
該当する。
の場合ではバネアーム１１、１２はバネアーム７、８に
該当する。
【００２１】２つの調整ネジ１３、１４は、一方向のみ
に作用を及ぼすため、両方向への移動が各々可能になる
ために、それに相応する復元力ないし偏向力が提供され
なければならない。２つの偏向ネジ２２、２３がそのよ
うな役割を果たす。このために、偏向ネジ２２は、移動
支持台９にある傾斜穴の中に螺合し、移動支持台１０か
ら自由突出されたレバー２４にその作用を及ぼす。すな
わち、図３からわかるように、偏向ネジ２２は、レバー
２４を介して調整ネジ１３及びこれに附属されたレバー
アーム１７に対向するようになる。
に作用を及ぼすため、両方向への移動が各々可能になる
ために、それに相応する復元力ないし偏向力が提供され
なければならない。２つの偏向ネジ２２、２３がそのよ
うな役割を果たす。このために、偏向ネジ２２は、移動
支持台９にある傾斜穴の中に螺合し、移動支持台１０か
ら自由突出されたレバー２４にその作用を及ぼす。すな
わち、図３からわかるように、偏向ネジ２２は、レバー
２４を介して調整ネジ１３及びこれに附属されたレバー
アーム１７に対向するようになる。
【００２２】偏向ネジ２３は、基礎支持台６にある傾斜
のネジ穴の中に配置され、移動支持台９から自由突出さ
れたレバー２５にその作用を及ぼす。すなわち、図１及
び図２からわかるように、偏向ネジ２３はレバー２５を
介して調整ネジ１４にそのレバーアーム１７′を通して
対抗することになり、そのときに留意することは、図２
では移動支持台９が移動支持台１０の背後に位置され
て、その一部のみが見えるということである。
のネジ穴の中に配置され、移動支持台９から自由突出さ
れたレバー２５にその作用を及ぼす。すなわち、図１及
び図２からわかるように、偏向ネジ２３はレバー２５を
介して調整ネジ１４にそのレバーアーム１７′を通して
対抗することになり、そのときに留意することは、図２
では移動支持台９が移動支持台１０の背後に位置され
て、その一部のみが見えるということである。
【００２３】図６から偏向ネジ２２、２３により生成さ
れた復元力Ｆ２は、移動支持台１０及びそれに配置され
たジョイント点１９にその作用を及ぼす形式であること
がわかる。
れた復元力Ｆ２は、移動支持台１０及びそれに配置され
たジョイント点１９にその作用を及ぼす形式であること
がわかる。
【００２４】図３(その図面符号もともに)及び図７を参
照して関連部品に対する力の作用を更に詳細に説明す
る。これからわかるように、この場合には、移動支持台
９が４ジョイントの固定部位を形成する。図７に示す４
ジョイントまたは４ジョイント−角度調整稼動装置に対
して９０°方向に作用する第２の４ジョイントに対して
も同一の原理が適用される。その場合も同様に移動支持
台１０の角位置は、調整しようとする面２とともに変更
され、特に上述した角位置に対して９０°に変更され
る。
照して関連部品に対する力の作用を更に詳細に説明す
る。これからわかるように、この場合には、移動支持台
９が４ジョイントの固定部位を形成する。図７に示す４
ジョイントまたは４ジョイント−角度調整稼動装置に対
して９０°方向に作用する第２の４ジョイントに対して
も同一の原理が適用される。その場合も同様に移動支持
台１０の角位置は、調整しようとする面２とともに変更
され、特に上述した角位置に対して９０°に変更され
る。
【００２５】バネアーム７、８、１１、１２、レバーア
ーム１７、１７′、及び必要な場合のレバー２４、２５
の長さ及び角度の比の大きさを意図した通りに設定する
ことにより、幾何形態を所望の要件に合せて最適化する
ことができる。
ーム１７、１７′、及び必要な場合のレバー２４、２５
の長さ及び角度の比の大きさを意図した通りに設定する
ことにより、幾何形態を所望の要件に合せて最適化する
ことができる。
【００２６】偏向ネジ２２、２３による偏向を提供する
ことにより、調整しようとする面に作用を及ぼす装置の
操作は単純に力の成分Ｆ１を変更すればよい。
ことにより、調整しようとする面に作用を及ぼす装置の
操作は単純に力の成分Ｆ１を変更すればよい。
【００２７】上記において、本発明の好適な実施の形態
について説明したが、本発明の請求範囲を逸脱すること
なく、当業者は種々の改変をなし得るであろう。
について説明したが、本発明の請求範囲を逸脱すること
なく、当業者は種々の改変をなし得るであろう。
【００２８】
【発明の効果】従って、本発明によれば、調整部品の面
を互いに別個に位置される２つの方向に極めて正確に調
整することが可能であり、必要によっては組合後も、す
なわち、装置が装着された状態でも調整可能になるとい
う効果を奏する。
を互いに別個に位置される２つの方向に極めて正確に調
整することが可能であり、必要によっては組合後も、す
なわち、装置が装着された状態でも調整可能になるとい
う効果を奏する。
【図１】本発明による装置の斜視図である。
【図２】図１のＡ矢印方向から眺めたときの図である。
【図３】図２のIII−III線の断面図である。
【図４】４ジョイントクランク機構による調整の作用図
である。
である。
【図５】４ジョイントクランク機構による調整の作用図
である。
である。
【図６】４ジョイントクランク機構による調整の作用図
である。
である。
【図７】「Ｆ１」の力を伴う調整部材、及びそれと反対に
作用し「Ｆ２」の力を伴う偏向部材による移動により作用
が行なわれる形式を示す図である。
作用し「Ｆ２」の力を伴う偏向部材による移動により作用
が行なわれる形式を示す図である。
１ 転向鏡 ２ 反射面/調整対象面 ３ ベース部材 ４ 対物レンズ ５ 穴 ６ 基礎支持台 ７、８、１１、１２ バネアーム ９ 第１移動支持台 １０ 第２移動支持台 １３、１４ 調整ネジ １５ 貫通穴 １６ 外面 １７ レバーアーム １８〜２１ ジョイント点 ２２ 偏向ネジ ２３ ターンバックル ２４、２５ レバー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H041 AA12 AB14 AC01 AZ01 AZ03 2H043 AB09 AB18 AB30 5F046 FA05 FA20 FB10 FB12
Claims (12)
- 【請求項１】 調整部品の面、特に特に半導体リソグラ
フィーで測定光線、例えば、測定レーザを調整する鏡の
反射面を互いに別個に位置されている２つの方向に調整
するための装置であって、 ａ）ベース部材３と結合された基礎支持台６を備え、 ｂ）基礎支持台６は、第１バネアーム７、８を介して第
１移動支持台９と結合され、 ｃ）前記第１移動支持台９は、第２バネアーム１１、１
２を介して第２移動支持台１０と結合され、 ｄ）前記第１バネアーム７、８及び前記第２バネアーム
１１、１２は、互いに角度をなして位置され、 ｅ）調整しようとする面２は、前記２つの移動支持台
９、１０のいずれかの上に配置され、 ｆ）調整部材１３、１４は、前記第１及び第２移動支持
台９、１０にその作用を及ぼすことを特徴とする調整部
品の面調整装置。 - 【請求項２】 前記調整しようとする面２は、前記第２
移動支持台１０上に配置されることを特徴とする請求項
１に記載の調整装置。 - 【請求項３】 前記調整部材１３、１４は、同一方向か
ら作用を与えることを特徴とする請求項１または請求項
２に記載の調整装置。 - 【請求項４】 前記第１バネアーム７、８と前記第２バ
ネアーム１１、１２との間の角度は９０°であることを
特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の
調整装置。 - 【請求項５】 前記第１及び第２移動支持台９、１０と
結合された前記第１及び第２バネアーム１１、１２で形
成される４ジョイント１８、１９、２０、２１が設けら
れて面２を調整することを特徴とする請求項１ないし請
求項４のいずれかに記載の調整装置。 - 【請求項６】 前記バネアーム７、８、１１、１２は、
前記第１及び第２移動支持台９、１０とのリンク部位で
固定体ジョイントとして形成されることを特徴とする請
求項５に記載の調整装置。 - 【請求項７】 少なくとも前記基礎支持台６、第１移動
支持台９、第２移動支持台１０、及びバネアーム７、
８、１１、１２は、一体に形成されることを特徴とする
請求項６に記載の調整装置。 - 【請求項８】 前記ベース部材３は、前記基礎支持台
６、第１移動支持台９、第２移動支持台１０、及びバネ
アーム７、８、１１、１２と共に一体に形成されること
を特徴とする請求項７に記載の調整装置。 - 【請求項９】 前記バネアーム７、８、１１、１２は、
一体形の本体における切開、例えば、エッチングにより
形成されることを特徴とする請求項７または請求項８に
記載の調整装置。 - 【請求項１０】 前記調整部材は、調整ネジ１３、１４
で形成されることを特徴とする請求項１に記載の調整装
置。 - 【請求項１１】 前記第１及び第２バネアーム７、８、
１１、１２には、調整ネジ１３、１４のネジ方向と反対
に向かう偏向部材２２、２３がその作用を及ぼすことを
特徴とする請求項９に記載の調整装置。 - 【請求項１２】 前記偏向部材２２、２３は、偏向ネジ
により形成されることを特徴とする請求項１０に記載の
調整装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE20012046.8 | 2000-07-12 | ||
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