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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Gebiet der Erfindung
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Die
Erfindung betrifft eine Haltevorrichtung für ein optisches
Element mit einer ein aufzunehmendes optisches Element umgebenden
Grundstruktur und einer Lagereinrichtung, mittels welcher das optische
Element an der Grundstruktur abstützbar ist. Die Erfindung
betrifft weiter eine Manipulatoreinheit für ein optisches
System umfassend eine Haltevorrichtung.
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Beschreibung des verwandten
Standes der Technik
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Haltevorrichtungen
für optische Elemente werden in optischen Systemen eingesetzt,
wobei eine für die Lagerung geforderte Präzision
von einem jeweiligen Einsatzzweck abhängt.
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Aus
der
WO 2007/017013
A2 ist eine Anordnung zur Lagerung eines optischen Bauelements
relativ zu einem Träger über wenigstens drei am äußeren
Umfangsbereich des optischen Elements angeordnete Anlenkstellen
bekannt, wobei das optische Element über die Anlenkstellen
in wenigstens einer Richtung durch elastisch federnde Elemente kraftschlüssig
gehalten wird. Die elastisch federnden Elemente befinden sich dabei
in Lagereinrichtungen, welche das optische Element statisch bestimmt
halten.
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Aus
der
US 5,220,460 ist
eine justierbare Lagerung für eine Zylinderlinse in einem
optischen System, beispielsweise dem optischen System eines Laserdruckers,
bekannt. Die Lagerung umfasst ein senkrecht zur optischen Achse
(z-Achse) angeordnetes Trägerelement mit einer ebenen Fläche,
auf welcher die Zylinderlinse unter Einwirkung einer konstanten
Kraft aufliegt. Eine Krümmungsrichtung der Zylinderlinse
ist in
US 5,220,460 als
y-Achse bezeichnet, eine parallel einer Axialrichtung der Zylinderlinse
verlaufende Achse ist als x-Richtung bezeichnet. Die justierbare
Lagerung soll eine Rotationsbewegung um die optische Achse und eine Translationsbewegung
in Krümmungsrichtung für eine Justierung ermöglichen.
Hierfür ist die Zylinderlinse an zwei in der x-y-Ebene
gegenüberliegenden Ecken mittels einer als Gelenk wirkenden
Rippe, einem Federelement und zwei Stellschrauben gelagert. Ein
Verkippen um die zwei senkrecht zur optischen Achse verlaufenden
Achsen soll dagegen durch die ebene Fläche, auf welcher
die Zylinderlinse aufliegt, für Anwendung in einem Laserdrucker
ausreichend sichergestellt sein.
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Optische
Elemente werden weiter in Materialbearbeitungsvorrichtungen beispielsweise
in Laser-Temperungsvorrichtungen verwendet. Ein derartiges optisches
System ist beispielsweise in
WO 2006/066706 beschrieben.
Bei derartigen Vorrichtungen verwendet man einen Laserstrahl, um
beispielsweise eine Schicht, insbesondere eine Silizium-Schicht,
auf ein Substrat aufzuschmelzen. Der Laserstrahl fällt
dabei als sehr schmaler Linienstrahl auf die aufzuschmelzende Schicht.
Die Schicht und der Laserstrahl werden relativ zueinander quer zu
einer vom Laserstrahl gebildeten Linie verschoben, so dass der Laserstrahl
flächig über das Substrat, das sogenannte „Panel” geführt
wird.
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Da
diese Vorrichtungen das Panel mit einem langen, aber sehr schmalen
Feld belichten, kommen Zylinderlinsen, d. h. Linsen mit nur einer
Krümmungsrichtung, zum Einsatz.
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Derartige
Anwendungen verlangen eine sehr hohe Präzision. Um Verformungen
aufgrund von Erwärmungen des Systems zu verhindern oder
zumindest gering zu halten, ist es bekannt, Werkstoffe mit einem
geringen thermischen Ausdehnungskoeffizienten, beispielsweise Invar,
zu verwenden. Derartige Werkstoffe sind jedoch sehr teuer.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Es
ist daher eine Aufgabe der Erfindung, eine Haltevorrichtung für
ein optisches Element zu schaffen, durch welche eine ungewünschte
Verschiebung und/oder Verdrehung oder Dezentrierung des optischen
Elements insbesondere aufgrund einer Erwärmung verhindert
oder zumindest verringert wird.
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Diese
Aufgabe wird gelöst durch eine Haltevorrichtung gemäß Anspruch
1 und eine Manipulatoreinheit gemäß Anspruch 14.
Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den abhängigen Ansprüchen
angegeben. Der Wortlaut sämtlicher Ansprüche wird
durch Bezugnahme zum Inhalt der Beschreibung gemacht.
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Gemäß einem
Aspekt der Erfindung ist bei einer Haltevorrichtung für
ein optisches Element mit einer ein aufzunehmendes optisches Element umgebenden
Grundstruktur und einer Lagereinrichtung, mittels welcher das optische
Element an der Grundstruktur mit zwei Freiheitsgraden für
eine Rotationsbewegung um eine optische Achse und eine Translationsbewegung
entlang einer zu der optischen Achse senkrecht verlaufenden, die
optische Achse in einem Zentrum schneidenden, ersten Achse abstützbar
ist, vorgesehen, dass die Lagereinrichtung vier punktsymmetrisch
bezüglich dem Zentrum angeordnete Gelenkstellen aufweist.
Durch die punktsymmetrische Anordnung der Gelenkstellen wird erreicht, dass
das aufgenommene optische Element bei einer Ausdehnung aufgrund
einer Erwärmung nicht dezentriert wird. Die Freiheitsgrade
der Lagereinrichtung gewährleisten, dass eine Justierung
möglich ist.
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Die
Haltevorrichtung ist insbesondere für Zylinderlinsen vorteilhaft,
da Zylinderlinsen zwei äußerst empfindliche Zentrierrichtungen
aufweisen. Insbesondere Rotationsverschiebungen um die optische
Achse und Translationsverschiebungen parallel zu einer Krümmungsrichtung,
d. h. senkrecht zu einer Zylinderachse, haben bei Zylinderlinsen
einen starken Einfluss auf die Genauigkeit des zugehörigen
optischen Systems. Die erfindungsgemäße Haltevorrichtung
weist daher entsprechende Freiheitsgrade auf, um eine Justierung
in diesen Richtungen zu ermöglichen.
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Vorzugsweise
ist eine ein zu lagerndes optisches Element tragende Innenstruktur
vorgesehen, an welcher die Lagereinrichtung angreift. Die Innenstruktur
ist fest mit dem optischen Element verbunden. In einer Ausgestaltung
ist die Innenstruktur plattenförmig gestaltet und weist
einen Durchbruch für einen eintreffenden Lichtstrahl auf.
Die Innenstruktur ist beispielsweise kreisförmig oder elliptisch
gestaltet. Zur Aufnahme von Zylinderlinsen sind weiter im Wesentlichen
rechteckförmige Innenstrukturen vorteilhaft. In anderen
Ausgestaltungen umfasst die Innenstruktur mehrere Bauteile, welche
jeweils partiell das optische Element tragen.
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Vorzugsweise
weisen die Gelenkstellen jeweils einen die Innenstruktur mit der
Grundstruktur koppelnden Umlenkhebel auf. Die Umlenkhebel sind jeweils
vorzugsweise um eine parallel zur optischen Achse verlaufende Achse
drehbar an der Grundstruktur angelenkt. Beispielsweise erfolgt eine
Anlenkung mittels einem einachsigen Drehgelenk oder mittels einem
Festkörperkippgelenk. Eine Verstellbewegung für
eine Justierung wird über die Umlenkhebel an die Innenstruktur
und damit das optische Element übertragen.
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In
einer vorteilhaften Ausgestaltung sind Umlenkhebel mit der Innenstruktur
jeweils über mindestens eine Koppelstange verbunden. Die
Koppelstange weist an ihren Enden vorzugsweise jeweils ein Drehgelenk
oder ein Festkörperkippgelenk auf. In einer anderen Ausgestaltung
sind die Umlenkhebel mit der Innenstruktur jeweils über
mindestens ein Blattfedergelenk verbunden. Die Koppelstangen oder
ein entsprechendes Blattfedergelenk sind jeweils in einer Grundstellung
im Wesentlichen senkrecht zu einer Verbindungslinie zwischen der
zugehörigen Gelenkstelle und dem Zentrum angeordnet. In
anderen Worten sind die Koppelstangen in der Grundstellung im Wesentlichen
tangential zu einem gedachten Umkreis um das Zentrum durch die Gelenkstellen
angeordnet. Beider Ausdehnung ist es daher möglich, dass
die Koppelstangen in Radialrichtung des gedachten Umkreises nachgeben
und so die Ausdehnung aufgrund der Erwärmung ohne Dezentrierung ausgleichen.
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Die
Lagereinrichtung weist vorzugsweise mindestens eine parallel zur
ersten Achse verschiebbare Parallelschwinge auf, an welcher mindestens ein
Umlenkhebel, vorzugsweise zwei Umlenkhebel angelenkt ist/sind. Eine
Anbindung der Umlenkhebel an die Parallelschwingen erfolgt dabei
vorzugsweise derart, dass die zwei Umlenkhebel bei einer Verschiebung
der Parallelschwinge eine gleichsinnige Drehung durchführen.
Gegensinnige Verdrehungen der Umlenkhebel werden dabei durch die
Anbindung an die Parallelschwinge verhindert. Die Parallelschwinge
ist in einer vorteilhaften Ausgestaltung über zwei Koppelstangen,
die vorzugsweise jeweils an ihren beiden Enden ein Drehgelenk oder
ein Kippgelenk aufweisen, mit der Grundstruktur verbunden. Die Parallelschwinge
bildet dabei mit den Koppelstangen und der Grundstruktur in einer
Ebene senkrecht zur optischen Achse ein Parallelogramm, so dass
auf einfache Weise eine lineare Verschiebbarkeit der Parallelschwinge
realisiert ist. Eine Anbindung des oder der Umlenkhebel an die zugehörige Parallelschwinge
erfolgt vorzugsweise über eine Koppelstange. Insbesondere
sind für eine gute Bewegungs- oder Verschiebungseinleitung
zumindest in einer Grundstellung parallel zu den Parallelschwingen
angeordnete Koppelstangen vorteilhaft.
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Die
Lagereinrichtung ist vorzugsweise spiegelsymmetrisch zu der ersten
Achse und/oder einer zweiten, senkrecht zu der ersten Achse und
der optischen Achse verlaufenden Achse ausgebildet. Durch gleiche
oder zumindest wirkungsgleiche Bauteile wird dabei eine einfache
Kompensation einer Ausdehnung der Innenstruktur und/oder des optischen Elements
aufgrund einer Erwärmung erzielt.
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In
einer weiteren Ausgestaltung ist mindestens eine an der mindestens
einen Parallelschwinge angreifende Verstelleinheit vorgesehen. Vorzugsweise
sind mindestens zwei Verstelleinheiten vorgesehen, welche jeweils
an einer Parallelschwinge angreifen. In anderen Ausgestaltungen
greifen an jeder Parallelschwingen zwei Verstelleinheiten für
eine Verschiebung in eine positive und eine negative Richtung an.
Für eine Justierung des optischen Elements ist es möglich,
mittels der Verstelleinheiten die zwei Parallelschwingen in die
gleiche Richtung oder in entgegengesetzte Richtungen zu verschieben.
Je nach Art des Stelleingriffs wird dabei eine Ausrichtung des optischen
Elements entsprechend justiert. Als Verstelleinheiten sind im Zusammenhang
mit der Erfindung beliebige manuell-, kraft- und/oder motorischbetätigbare
Stellmittel einsetzbar, einschließlich Stellschrauben,
pneumatisch und/oder hydraulisch betätigbare Kolben, elektromotorische
Stellantriebe und/oder dergleichen. Mittels der Verstelleinheiten werden
die optischen Elemente auch in einer statisch bestimmten Ausrichtung
gehalten.
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Die
Aufgabe wird weiter gelöst durch eine Manipulatoreinheit
mit einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung.
Eine derartige Manipulatoreinheit ist beispielsweise vorteilhaft
in einem System gemäß
WO 2006/066706 einsetzbar.
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Die
vorstehenden und weitere Merkmale gehen außer aus den Ansprüchen
auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen
Merkmale jeweils für sich alleine oder zu mehreren in Form
von Unterkombinationen bei Ausführungsformen der Erfindung
und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie
für sich schutzfähige Ausführungen darstellen
können.
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KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 zeigt
eine schematische Draufsicht auf eine Manipulatoreinheit ohne Verschiebungen oder
Verdrehungen des optischen Elements;
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2 zeigt
eine schematische Draufsicht auf die Manipulatoreinheit gemäß 1 bei
einer Verschiebung des optischen Elements entlang einer x-Achse;
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3 zeigt
eine schematische Draufsicht auf die Manipulatoreinheit gemäß 1 bei
einer Verdrehung des optischen Elements um eine z-Achse;
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4 zeigt
eine schematische Draufsicht auf die Manipulatoreinheit gemäß 1 bei
einer Verformung des optischen Elements aufgrund einer Erwärmung
und
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5 zeigt
eine schematische Draufsicht auf eine Manipulatoreinheit ähnlich 1.
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1 zeigt
schematisch eine Draufsicht auf eine Manipulatoreinheit 1 für
ein optisches Element 10. Bei dem optischen Element 10 handelt
es sich beispielsweise um eine Zylinderlinse.
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In 1 ist
ein kartesisches Koordinatensystem mit dem Zentrum 0 und
den Koordinaten x, y und z dargestellt. Eine Lichtrichtung oder
optische Achse wird dabei als z-Achse bezeichnet. Eine Krümmungsrichtung
der Zylinderlinse wird als x-Achse bezeichnet und eine parallel
zu der Axialrichtung der Zylinderlinse (Zylinderachse) verlaufende
Achse als y-Achse.
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Eine
Zylinderlinse weist vor allem zwei empfindliche Zentrierrichtungen
auf, nämlich eine Rotationsbewegung um die optische Achse,
d. h. die senkrecht zur Blattrichtung verlaufende z-Achse, und eine Verschiebung
entlang einer Krümmungsichtung, d. h. der x-Achse.
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Die
dargestellte Manipulatoreinheit 1 umfasst eine Haltevorrichtung
mit einer Außen- oder Grundstruktur 3 und einer
Lagereinrichtung 4, durch welche das optische Element 10 an
der Grundstruktur 3 abgestützt ist. In dem dargestellten
Ausführungsbeispiel ist das optische Element 10 auf
einer Innenstruktur 2 angeordnet, wobei die Lagereinrichtung 4 die
Innenstruktur 2 mit der Grundstruktur verbindet. Die Lagereinrichtung 4 umfasst
vier punktsymmetrisch zu dem Zentrum 0 des kartesischen
Koordinatensystems angeordnete Gelenkstellen 4a, 4b, 4c, 4d.
In dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Innenstruktur 2 in
der Draufsicht rechteckförmig ausgebildet, wobei die Gelenkstellen 4a bis 4d an den
vier Ecken der Innenstruktur 2 angreifen. Die Lagereinrichtung 4 ist
außerdem spiegelsymmetrisch zur x-Achse und zur y-Achse.
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Die
Lagereinrichtung 4 umfasst weiter zwei Parallelschwingen 51, 52,
welche parallel zur x-Achse verschieblich an der Grundstruktur 3 angeordnet sind.
Eine Anbindung der Parallelschwingen 51, 52 an
die Grundstruktur 3 erfolgt dabei mittels Kopplungsstangen 511, 512, 521, 522,
wobei jeweils zwei Kopplungsstangen 511, 521 bzw. 512, 522 für
die zwei Parallelschwingen 51 bzw. 52 vorgesehen
sind. Die Kopplungsstangen 511, 521 bzw. 512, 522 bilden mit
der jeweils zugehörigen Parallelschwinge 51 bzw. 52 ein
Parallelogramm.
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An
den Parallelschwingen 51, 52 greift jeweils eine
Verstelleinheit 61 bzw. 62 an, durch welche die
Parallelschwingen 51, 52 parallel zur x-Achse verschieblich
sind. Die zwei Parallelschwingen 51, 52 sind spiegelsymmetrisch
zu der x-Achse angeordnet.
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Die
Gelenkstellen 4a, 4b, 4c, 4d umfassen jeweils
einen über ein Drehgelenk 401, 402, 403, 404 mit
der Grundstruktur 3 verbundenen Umlenkhebel 41, 42, 43, 44,
welcher an der zugehörigen Parallelschwinge 51, 52 und
an der Innenstruktur 2 angelenkt ist. Eine Anbindung der
Umlenkhebel 41 bis 44 an die Parallelschwingen 51, 52 und
an die Innenstruktur 2 erfolgt dabei mittels Kopplungsstangen 411, 412, 413, 414, 421, 422, 423, 424.
Eine Anbindung der Umlenkhebel 41 bis 44 an die
Parallelschwingen 51, 52 ist dabei so gewählt,
dass zwei einer Parallelschwinge 51 bzw. 52 zugeordnete
Umlenkhebel 41, 42 bzw. 43, 44 bei
einer Verschiebung der Parallelschwinge 51 bzw. 52 parallel
zur x-Achse eine gleichsinnige Drehung durchführen. Gegensinnige
Verdrehungen der an einer Parallelschwinge 51 bzw. 52 angebrachten
Umlenkhebel 41, 42 bzw. 43, 44 werden
dagegen durch die Anbindung an die Parallelschwinge 51 bzw. 52 verhindert.
Durch die Umlenkhebel 41, 42, 43, 44 wird
eine Bewegung der Parallelschwingen 51, 52 auf
die Innenstruktur 2 übertragen. Die Koppelstangen 421, 422, 423, 424 zwischen
den Parallelschwingen und den Umlenkhebel 41, 42, 43, 44 sind
in einer dargestellten Grundstellung jeweils im Wesentlichen parallel
zu den Parallelschwingen 51, 52 angeordnet.
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2 zeigt
schematisch eine Verschiebung der Innenstruktur 2 mit dem
optischen Element 10 in eine x-Richtung. Zu diesem Zweck
werden die Verstelleinheiten 61, 62 derart angetrieben,
dass die Parallelschwingen 51, 52 in negativer
X-Richtung, wie durch Pfeile dargestellt, verschoben werden. Die
mit der Parallelschwinge 51 verbundenen Umlenkhebel 41, 42 liegen
in positiver y-Richtung betrachtet, unterhalb der Parallelschwinge 51.
Aufgrund der Verschiebung der Parallelschwingen 51, 52 in
die negative x-Richtung werden die der Parallelschwinge 51 zugeordneten
Umlenkhebel 41, 42 entgegen dem Uhrzeigersinn
verschwenkt. Die der zweiten Parallelschwinge 52 zugeordneten
Umlenkhebel 43, 44 liegen dagegen in positiver
y-Richtung betrachtet oberhalb der Parallelschwinge 52 und
werden aufgrund der Verschiebung der Parallelschwinge in die negative x-Richtung
im Uhrzeigersinn verschwenkt. Das Verschwenken der Umlenkhebel 41 bis 44 bewirkt,
dass die Innenstruktur 2 mit dem optischen Element 10 gegenüber
der Grundstruktur 3 in positiver x-Richtung verschoben
wird.
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3 zeigt
schematisch einen Antrieb der Verstelleinheiten 61, 62 um
eine Rotationsbewegung der Innenstruktur 2 und damit des
optischen Elements 10 um die z-Achse zu bewirken. In dem
dargestellten Ausführungsbeispiel entspricht eine positive Rotationsbewegung
um die z-Achse eine Drehung entgegen dem Uhrzeigersinn. Um eine
derartige Rotationsbewegung zu bewirken, wird die Verstelleinheit 61,
welche der in positiver y-Richtung angeordneten Parallelschwingen 51 zugeordnet
ist (in 3 oben dargestellt), derart
betrieben, dass die zugehörige Parallelschwinge 51 in
positiver x-Richtung verschoben wird. Die zweite Verstelleinheit 62 wird
dagegen derart betrieben, dass die zugehörige Parallelschwinge 52 in
negativer x-Richtung verschoben wird. Die Verschiebung der Parallelschwingen 51, 52 in
zwei unterschiedliche Richtungen bewirkt, dass alle Umlenkhebel 41, 42, 43, 44 in
eine Rotationsbewegung mit einem gleichen Drehsinn versetzt werden.
In dem dargestellten Ausführungsbeispiel werden alle Umlenkhebel 41 bis 44 durch
die dargestellte Bewegung der Parallelschwingen 51, 52 in
eine Rotationsbewegung im Uhrzeigersinn versetzt. Die Übertragung
der Rotationsbewegungen der Umlenkhebel 41 bis 44 auf
die Innenstruktur 2 bewirkt, dass die Innenstruktur 2,
wie dargestellt, durch eine positive Rotationsbewegung um die z-Achse
justiert wird.
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Bei
Verwendung des optischen Elements 10 in einer Anlage zur
Umkristallisation für ein Silizium-Panel treten sehr hohe
Lichtleistungen an dem optischen Element 10 auf. Die optischen
Elemente 10 können daher aufgrund der hohen Lichtleistungen erwärmt
werden. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind die
Koppeleinheiten 4a bis 4d punktsymmetrisch zu
dem Zentrum 0 angeordnet, um bei einer punktsymmetrischen
Ausdehnung des optischen Elements 10 aufgrund einer Erwärmung
eine Dezentrierung zu vermeiden.
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4 zeigt
schematisch eine radiale Ausdehnung des optischen Elements 10 und
der damit verbundenen Innenstruktur 2 aufgrund einer Erwärmung.
Die radiale Ausdehnung hat zur Folge, dass die zwischen der Innenstruktur 2 und
den Umlenkhebel 41 bis 44 angeordneten Koppelstangen 411, 412, 413 und 414 eine
Ausgleichs-Schwenkbewegung durchführen und so eine zentrische
Ausdehnung der Innenstruktur 2 ohne Dezentrierung des optischen Elements 10 ausgleichen.
Die Koppelstangen 411, 412, 413, 414 sind
im Wesentlichen tangential zu einem gedachten Umkreis um das Zentrum 0 angeordnet.
Die jeweils einer gemeinsamen Parallelschwinge 51, 52 zugeordneten
Koppelstangen 411, 412 sind dabei so angeordnet,
dass aufgrund der Ausdehnung die Koppelstangen 411, 412 in
entgegen gesetzten Richtungen verschwenkt werden. Eventuell aufgrund der
Verschwenkung der Koppelstangen 411, 412 an der
Parallelschwinge einwirkende Kräfte heben sich dabei gegenseitig
auf. Bei der Ausdehnung ist es daher möglich, dass die
Koppelstangen 411, 412, 413, 414 wie
dargestellt in Radialrichtung des gedachten Umkreises nachgeben
und so die Ausdehnung aufgrund der Erwärmung ohne Dezentrierung
des optischen Elements 10 ausgleichen.
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5 zeigt
schematisch ein zweites Ausführungsbeispiel eines Manipulators 1 gemäß der
Erfindung. Die Manipulatoreinheit 1 gemäß 5 entspricht
im Wesentlichen der Manipulatoreinheit 1 gemäß den 1 bis 4.
Für gleiche oder ähnliche Bauteile werden einheitliche
Bezugszeichen verwendet und auf eine detaillierte Beschreibung dieser Bauteile
wird verzichtet. Bei der Ausführungsform gemäß 5 sind
Gelenkstellen zwischen den Umlenkhebeln 41 bis 44 und
der Innenstruktur 2, der Grundstruktur 3 und den
Parallelschwingen 51, 52 jeweils durch Festkörpergelenke,
insbesondere durch Festkörperkippgelenke realisiert. Ebenso
sind die Koppelstangen 411 bis 414, 421 bis 424, 511, 512, 521, 522 durch
Blattfedergelenke ersetzt.
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Eine
Manipulatoreinheit 1 gemäß 5 mit Festkörpergelenken
ist besonders kleinbauend herstellbar, wobei eine hohe Präzision
gewährleistet ist. Anstelle der Blattfedergelenke ist es
auch denkbar, Koppelstangen vorzusehen, welche jeweils an ihren Enden
Festkörperkippgelenke aufweisen.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - WO 2007/017013
A2 [0003]
- - US 5220460 [0004, 0004]
- - WO 2006/066706 [0005, 0018]
