WO2005019878A1 - Optische abbildungsvorrichtung mit wenigstens einer systemblende - Google Patents

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WO2005019878A1
WO2005019878A1 PCT/EP2004/007186 EP2004007186W WO2005019878A1 WO 2005019878 A1 WO2005019878 A1 WO 2005019878A1 EP 2004007186 W EP2004007186 W EP 2004007186W WO 2005019878 A1 WO2005019878 A1 WO 2005019878A1
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WO
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imaging device
optical imaging
lamellae
curvature
slats
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PCT/EP2004/007186
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English (en)
French (fr)
Inventor
Hermann Bieg
Martin Huber
François HENZELIN
Thomas Bischoff
Bernhard Gellrich
Gerhard Szekely
Uy-Liem Nguyen
Original Assignee
Carl Zeiss Smt Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Carl Zeiss Smt Ag filed Critical Carl Zeiss Smt Ag
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Priority to US10/566,196 priority patent/US8009343B2/en
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70058—Mask illumination systems
    • G03F7/70091—Illumination settings, i.e. intensity distribution in the pupil plane or angular distribution in the field plane; On-axis or off-axis settings, e.g. annular, dipole or quadrupole settings; Partial coherence control, i.e. sigma or numerical aperture [NA]
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/005—Diaphragms
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70216—Mask projection systems
    • G03F7/7025—Size or form of projection system aperture, e.g. aperture stops, diaphragms or pupil obscuration; Control thereof

Definitions

  • Optical imaging device with at least one system aperture
  • the invention relates to an optical imaging device, in particular an objective for semiconductor lithography, with at least one system diaphragm, the system diaphragm having a plurality of movable slats.
  • iris diaphragms with a plane diaphragm plane are used in optical systems in semiconductor lithography.
  • a diaphragm is known in which, from a certain opening width, a further flat plate pack limits the beam path at a second position.
  • the diaphragm has at least two diaphragms arranged at an axial distance from one another. In Depending on the opening diameter of the system cover, a different cover is optically active.
  • the plate pack of which can be moved along the optical axis.
  • the lamellae are arranged between two rings that are rotatable relative to one another, at least one of the rings being rotatable.
  • the plate pack is moved or moved in parallel in the axial direction.
  • WO 02/31870 discloses a projection system with aperture diaphragms, the aperture diaphragms being arranged in the vicinity of the pupil plane. At least one of the aperture diaphragms can be changed in the opening diameter and in the axial direction be moved.
  • the present invention is therefore based on the object of providing a system diaphragm in an optical imaging device for limiting the beam path, which solves the disadvantages of the prior art, which can be used in a small installation space, and with almost no friction of the slats, and so on Avoid contamination on optical surfaces.
  • the system diaphragm of an optical imaging device has spherically curved lamellae which are rotatably mounted.
  • the rotary bearing axes of the lamellae are advantageously directed towards the center of curvature of a sphere, which in turn also determines the spherical curvature or shape of the lamellae. It is thus possible for the light-determining edge of the system cover to move along a spherically designed plane when opening and closing.
  • a system diaphragm can now be constructed which, at different opening widths and different positions along an optical axis of an optical imaging device, for example a projection lens, travels a curve which corresponds to a sphere and can plunge or drive into the spherical cap of the sphere from the installation space ,
  • an optical imaging device for example a projection lens
  • a system diaphragm according to the invention can be introduced into the hollow surface of a mirror, a lens or a very narrow space between two lenses.
  • the lamellae are arranged such that they can overlap on two spherical surfaces whose centers of curvature are identical, the two spherical surfaces advantageously being at a very small distance A from one another.
  • the system diaphragm has lamellae, the surfaces of which do not lie directly on top of one another, as in the case of the diaphragms known from the prior art, but are arranged alternately on two spheres and at a distance A of a few millimeters, preferably A ⁇ 1 mm. Thanks to the contactless closing and opening of the slats it is an enormous advantage, namely that there is no friction between two "superimposed" lamellae, which can contaminate the projection objective, for example, by particles formed thereby. Furthermore, there is no wear on the slats used in the system cover.
  • the use of the individually mounted lamellas thus opens up the possibility of producing them, for example, from ceramics, such as SISIC (reaction-bound silicon-infiltrated silicon carbide).
  • SISIC reaction-bound silicon-infiltrated silicon carbide
  • the slats can thus be made light and very stiff and can also be made in any shape.
  • the slats are each rotatably supported on the pivot bearing axis by means of solid-state joints, the slats being movable by means of a drive ring, the drive ring being rotatably supported about an optical axis by means of solid-state joints.
  • Solid-state joints With solid-state joints, small travels can be achieved through elastic deformation of a spring element. This results in significant advantages such as no sliding and rolling friction. As a result, no particles can settle on optical surfaces of optical imaging devices, as is the case when plain or roller bearings are used, and the imaging quality deteriorates considerably. Another advantage is that Solid joints can be calculated very precisely. Lubricants that may be on the surfaces of the optical imaging devices, as is the case when plain or roller bearings are used, and the imaging quality deteriorates considerably. Another advantage is that Solid joints can be calculated very precisely. Lubricants that may be on the surfaces of the optical imaging devices, as is the case when plain or roller bearings are used, and the imaging quality deteriorates considerably. Another advantage is that Solid joints can be calculated very precisely. Lubricants that may be on the surfaces of the optical imaging devices, as is the case when plain or roller bearings are used, and the imaging quality deteriorates considerably. Another advantage is that Solid joints can be calculated very precisely. Lubricants that may be on the surfaces of the optical imaging
  • Figure 1 is a schematic representation of an arrangement of a system diaphragm according to the invention in a hollow surface of an optical element
  • Figure 2 is a schematic representation of an arrangement and design of a lamella of the system cover according to the invention.
  • FIG. 3 shows a basic representation of an arrangement of a plurality of lamellae of the system cover
  • FIG. 4 shows a perspective view of the system cover according to the invention, the slats being mounted over solid-state joints;
  • Figure 5 is a schematic representation of the system panel with a multi-plate drive
  • FIG. 6 shows a basic representation of a possibility for aligning the pivot axes of the slats
  • FIG. 7 shows a basic representation of an alternative possibility for aligning the pivot axes of the lamellae
  • FIG. 8 shows a basic illustration of a possibility for measuring when aligning the pivot axis of the lamellae
  • FIG. 9 shows an illustration in principle of an alternative possibility for measuring when aligning the rotary bearing axes of the lamellae.
  • Figure 10 is a schematic representation of an alternative embodiment of the system cover according to the invention.
  • FIG. 1 shows how a system diaphragm 1 according to the invention (shown here only in dashed lines) can be introduced into a hollow surface of an optical element 2 in an optical imaging device PL, for example a lens for semiconductor lithography, which is shown in principle and in order to thus limit space in a space-saving manner to ensure the beam path at different positions along an optical axis 3 for different opening widths.
  • the optical imaging device PL is designed as an objective for use in semiconductor lithography.
  • R B shows the radius of the system cover 1, which is present, for example, when the system cover 1 is completely closed.
  • R E is the radius of the surface before the optical element 2, which corresponds to the surface of the system diaphragm 1.
  • the lamella 4 is shown in cross section.
  • the lamella 4 is spherical in its curvature. There is a bearing on the lamella 4
  • the pivot bearing 5 is provided, which is designed as a rotary bearing.
  • the pivot bearing 5 has a pivot bearing axis 6 which is directed very precisely at a center of curvature C of a sphere 7 which is produced by the lamella shape of the lamella 4. Due to the spherical configuration of the lamella 4 and the orientation of the pivot axis 6 on the center of curvature C, the lamella 4 can now move in a spherical surface.
  • the center of curvature C of the sphere 7 thus corresponds to the center of the optimal aperture area.
  • FIG 3 a section of the system cover 1 with three slats 4 is shown in principle.
  • a single lamella 4 is not yet able to limit the beam path in a circular manner.
  • a certain number of lamellae 4 is usually necessary, which approximately describe a circle due to their light-defining edges.
  • Eight to ten slats 4 can preferably be used here for circular beam path limitation.
  • the slats 4 are light and very stiff and can be produced in any shape. Due to the rigidity of the slats 4, a hanging down of the slats 4 due to their own weight and consequently contact of individual slats 4 can advantageously be avoided. An overlap of the individual slats 4 is therefore only possible if the slats 4 are located in two spherical surfaces 7 and 7 ', which are shown here in broken lines, at a very small distance A from one another.
  • the pivot bearing axes 6 of the slats 4 are directed towards the center of curvature C and the spheres 7 and 7 'likewise have their center of curvature in C.
  • the slats 4 should move synchronously and, as already mentioned, the axes of rotation or pivot bearing 6 of the pivot bearing 5 should be very precisely aligned with the center of curvature C.
  • the distance A between the two spheres 7 and 7 ' should be kept as small as possible, for example only a few mm, preferably A ⁇ 1 mm, but nevertheless ensure contactlessness of the slats 4 when the system cover 1 is closed and opened. This can advantageously be accomplished in that the rotary bearings 5 with their rotary bearing axes 6 alternately in the direction of the elbow. center C and opposite, as can be clearly seen in Figure 3, are arranged.
  • the system diaphragm 1 according to the invention is shown in a perspective view in FIG.
  • the system cover 1 according to the invention makes it possible, by using solid-state joints 8, to rotate or move the slats 4, and thus to adjust the cover opening 9, without the use of roller or slide bearings.
  • the system cover 1 from FIG. 4 is shown in more detail in FIG.
  • the slats 4 are rotatably mounted on their pivot bearing axis 6 by means of the solid-state joints 8, which can be seen more clearly in FIG.
  • the solid-state joints 8 can be used as solid-state joints 8.
  • the solid-state joints 8 can be determined very precisely by calculation. If the load on the solid joints 8 lies within the fatigue strength of the material, the risk of failure of such solid joints 8 is very low.
  • Metallic materials can be used for the solid-state joints 8, care being taken to ensure that the materials are UV-resistant.
  • a drive ring or synchronization ring 10 can be rotated a few degrees about the optical axis 3 in the direction of the arrow by means of a hermetically sealed lever which is guided outwards.
  • the drive ring 10 itself is mounted by means of radially stiff solid joints 11 which are soft in the direction of rotation.
  • a drive element 12 is monolithic with the drive ring 10.
  • the drive element 12 is connected to the plate 4 on the pivot bearing axis 6 of the plate 4. If the drive ring 10 is now moved about the optical axis 3, the drive element 12 rotates with the lamella 4 around the Lamella axis or pivot bearing axis 6.
  • the solid body joints 11 deform elastically, whereby the drive torque increases.
  • solid-state joints 11 ′ are also provided between the drive element 12 and the drive ring 10.
  • the solid body joint 11 ' can be designed as a single leaf spring. Of course, this does not represent any restriction to a type of solid-state joint.
  • the drive ring 10 should be formed from a material which has a high resistance to alternating loads, so that the risk of failure remains very low.
  • the drive unit 10 ' is arranged to move the slats 4 outside a gas space G.
  • the gas space G can be filled with various gases, such as helium or nitrogen.
  • the drive unit 10 'with rubbing moving parts can be replaced, while the non-friction system, which is only supported by solid-state joints 8, 11 and 11', is arranged in the optical gas space G.
  • the arrangement of the drive unit 10 'outside the gas space G is advantageous in that no contamination substances can thus deposit on the optical surfaces.
  • Such a mounting of the slats 4 with solid joints 8, 11 and 11 ' can of course also be used for panel systems which move in one plane and should not be limited to a panel whose light-defining edge follows a spherical surface.
  • the suspension has a lower and an upper bearing element 14 and 14 '.
  • the pivot bearing axis 6 is located between the bearing elements 14 and 14 '.
  • the membrane 13 is provided between the bearing elements 14, 14' and the lamella 4.
  • the lower bearing element 14 can be adjusted with the aid of adjustment screws 15.
  • the membrane 13 is thus used as a ball joint.
  • adjustment screws 15 arranged three times at 120 ° can be used for the adjustment.
  • FIG. 7 Another possibility for adjusting the pivot bearing axis 6 to the center of curvature C is the use of a kinematic system.
  • the solid body joint 16 can be designed as a four-bar joint.
  • Holding elements 17 are provided for holding the solid body joint 16 on the upper part of the solid body joint 16. Due to the advantageous use a four-bar linkage, the pivoting movements of the pivot bearing 5 can be used to adjust the pivot bearing axis 6.
  • Such kinematics are particularly suitable if a direction of the axis, in the exemplary embodiment the x-axis, can be solved by manufacturing tolerances on the holding elements 17. A movement in the y direction is therefore sufficient.
  • a further alternative is the kinematics if the kinematics or the pivot bearing 5 is made rotatable about the z-axis. This is easily possible with a clamping device.
  • FIGS. 8 and 9 schematically show measurement methods when aligning the pivot bearing axes 6 of the slats 4 to the center of curvature C.
  • a first possibility is given by a tactile measurement method, as shown in FIG. It is important here that the spherically shaped lamella 4 is produced very precisely.
  • the sphere can thus be measured, for example, with two militron probes 18. The exact radius of the spherical surface of the lamella 4 can be determined. With the correct arrangement of the lamella 4 in space, the center of curvature C can thus be determined directly.
  • a tool can also be aligned with a reference plane and an axis of rotation. Like the lamella 4, the tool also has a spherical shape.
  • the slats 4 are placed against this prefabricated form and sucked in or held using other fastening methods.
  • the prefabricated shape is then aligned with the reference plane and with the pivot bearing axis 6. After alignment, the lamellae 4 can thus be measured using the tool or the prefabricated shape and positioned at the correct location.
  • Tactile measurement is that it can be easily implemented with a mechanical tool and that the mechanical tool is reusable. Furthermore, it is relatively inexpensive compared to other measurement methods.
  • FIG. 9 shows a further schematic illustration of an optical measuring method for aligning the pivot bearing axes 6 of the slats 4.
  • the slat 4 is also held by a prefabricated shape or device, so that the slat 4 can be tilted or moved.
  • a small recess H in the form of a hole is made in the lamella 4 or in the bearing 5. With the aid of a laser beam 19, which passes through the small recess H, a point can be imaged on a screen 20.
  • the center of curvature C In order to define the center of curvature C, it is necessary that a laser beam 19 must pass through all the lamellae 4 or rotary bearings 5 in order to obtain imaging points on the screen 20.
  • the imaging points should result in a small point cloud as possible, which is close to the center of curvature C. If all imaging points form such a small point cloud, the center of curvature C is determined using the optical measurement method.
  • the optical measuring method is much more precise than the tactile measuring method.
  • the lamellae 4 ' are layered.
  • the lamellae 4' are also spherical in their curvature, with pivot bearing axes 6 'of pivot bearings 5' again having to be aligned with the center of curvature C of the sphere.
  • a guide system known from the prior art can be provided for guiding the slats 4 ', which has an inner ring with a fixed axis, an outer ring with a grooved ring and pins.
  • both the fixed ring and the moving grooved ring are provided with a spherical surface.

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Abstract

Eine optische Abbildungsvorrichtung (PL), insbesondere Objektiv für die Halbleiterlithographie, ist mit wenigstens einer Systemblende (1,1') versehen. Die Systemblende (1,1') weist eine Vielzahl von bewegbaren Lamellen (4,4') auf, welche drehbar gelagert sind. Die Lamellen (4,4') weisen eine sphärische Krümmung auf.

Description

Optische Abbildungsvorrichtung mit wenigstens einer Systemblende
Die Erfindung betrifft eine optische Abbildungsvorrichtung, insbesondere Objektiv für die Halbleiterlithographie, mit wenigstens einer Systemblende, wobei die Systemblende eine Vielzahl von bewegbaren Lamellen aufweist.
Der Einsatz von verschiedenartigen Blenden als Systemblenden in optischen Abbildungsvorrichtungen ist allgemein bekannt. Die Strahlenbündelbegrenzung durch Blenden hat für die Realisierung der optischen Abbildung große Bedeutung. Durch Blenden kann der Durchmesser des Strahlenbündels beeinflusst bzw. variiert werden. Dadurch kann die optische Abbildungsqualität der optischen Abbildungsvorrichtung wesentlich beeinflusst und verbessert werden.
In optischen Systemen der Halbleiterlithographie werden bekanntermaßen Irisblenden mit einer ebenen Blendenebene eingesetzt. Es kann jedoch die Notwendigkeit bestehen, dass eine Begrenzung des Strahlengangs an unterschiedlichen Positionen entlang der optischen Achse für die unterschiedlichen Öffnungsweiten vorgesehen werden muss. Dies ist bereits durch existierende Blenden, wie nachfolgend aufgeführt, gelöst.
So ist beispielsweise aus der DE 199 55 984 AI eine Blende bekannt, bei der ab einer bestimmten Öffnungsweite ein weiteres ebenes Lamellenpaket den Strahlengang an einer zweiten Position begrenzt. Die Blende weist dabei wenigstens zwei mit einem axialen Abstand zueinander angeordnete Blenden auf. In Abhängigkeit des Öffnungsdurchmessers der Systemblende ist jeweils eine andere Blende optisch aktiv.
Des weiteren ist aus DE 199 55 984 AI eine Blende bekannt, deren Lamellenpaket entlang der optischen Achse verschoben werden kann. Hierbei sind die Lamellen zwischen zwei rotato- risch relativ zueinander beweglichen Ringen angeordnet, wobei wenigstens einer der Ringe rotatorisch bewegbar ist. Dabei wird jeweils das Lamellenpaket parallel in axialer Richtung verschoben bzw. bewegt.
Weiterhin ist ebenfalls aus der DE 199 55 984 AI eine Blende bekannt, deren Lamellen in einer kegelförmigen Weise angeordnet sind. Dadurch kann die optisch wirksame Kante der Blende auf beispielsweise einer Kegelmantelfläche oder auf einer Mantelfläche einer Kugelkalottenform verfahren werden. Die rotationssymmetrisch zu der optischen Achse der Systemblende angeordneten Lamellen bewegen sich somit in einer linearen oder halbkreisförmigen Abhängigkeit zwischen dem Öffnungsdurchmesser und der axialen Lage in dem Lichtweg der Abbildungsvorrichtung. Der Nachteil einer derartigen Anordnung besteht darin, dass der Kegelwinkel stark begrenzt ist, und somit der Strahlengang nicht der optimalen Form einer Sphäre folgt. Außerdem kommen erhebliche Reibungsprobleme, welche durch die Wölbung der elastischen Lamellen verursacht werden, hinzu.
In der WO 02/31870 ist ein Projektionssystem mit Aperturblenden offenbart, wobei die Aperturblenden in Nähe der Pupillenebene angeordnet sind. Wenigstens eine der Aperturblenden kann im Öffnungsdurchmesser verändert und in axialer Richtung bewegt werden.
Ebenso ist aus den bisher bekannten Lösungen, wie auch aus der DE 199 55 984 AI, bekannt, dass derartige Blenden in Lithographieobjektiven Wälz- oder Gleitlager enthalten. Hierbei sind beispielsweise die Drehachsen der Lamellen gleit- oder wälzgelagert, und/oder das Antriebselement, welches die Lamellen bewegt, gleit- oder wälzgelagert, und/oder sind am Kraftantriebspunkt der Lamellen Gleit- oder Wälzlager vorhanden. Dabei stellt jedes dieser derartigen Lager innerhalb eines Lithographieobjektives ein Problem dar. Durch Gleit- oder Rollreibung können Partikel entstehen, die das Objektiv kontaminieren und somit die Abbildungsqualität sehr beeinträchtigen. Des weiteren kann eine Schmierung im Objektivinnenraum sehr problematisch werden, wobei aber ungeschmierte Lager ein hohes Risiko, was die Betriebssicherheit anbelangt, darstellen.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Systemblende in einer optischen Abbildungsvorrichtung zur Begrenzung des Strahlengangs zu schaffen, die die Nachteile des Standes der Technik löst, welche in einem geringen Bauraum einsetzbar ist, und wobei nahezu keine Reibung der Lamellen auftritt, um so Kontaminationen auf optischen Flächen zu vermeiden.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch die Merkmale des Anspruches 1 gelöst.
Die erfindungsgemäße Systemblende einer optischen Abbildungs- vorrichtung weist sphärisch gekrümmte Lamellen auf, welche drehbar gelagert sind. Vorteilhafterweise sind die Drehlagerachsen der Lamellen auf den Krümmungsmittelpunkt einer Sphäre gerichtet, die wiederum auch die sphärische Krümmung bzw. Form der Lamellen bestimmt. Somit ist es möglich, dass die lichtbestimmende Kante der Systemblende entlang einer sphärisch ausgebildeten Ebene beim Öffnen und Schließen verfährt. Es kann nun dadurch eine Systemblende konstruiert werden, die bei unterschiedlichen Öffnungsweiten und unterschiedlichen Positionen entlang einer optischen Achse einer optischen Abbildungseinrichtung, beispielsweise einem Projektionsobjektiv, eine Kurve abfährt, die einer Sphäre entspricht und vom Bauraum her in die Kalotte einer Kugel hineintauchen bzw. hineinfahren kann. Somit kann bei Vorhandensein eines kleinen Bauraumes eine derartige erfindungsgemäße Systemblende in die hohle Fläche eines Spiegels, einer Linse oder eines sehr schmalen Zwischenraumes zwischen zwei Linsen eingebracht werden.
In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung ist vorgesehen, dass die Lamellen auf zwei sphärischen Flächen, deren Krümmungsmittelpunkte identisch sind, überlappend bewegbar angeordnet sind, wobei vorteilhafterweise die beiden sphärischen Flächen einen sehr geringen Abstand A zueinander aufweisen.
Die Systemblende weist Lamellen auf, deren Flächen nicht direkt aufeinanderliegen, wie bei dem aus dem Stand der Technik bekannten Blenden, sondern sie werden auf zwei Sphären jeweils abwechselnd und in einem Abstand A von wenigen Millimetern, vorzugsweise A < 1 mm angeordnet. Durch ein berührungsloses Schließen und Öffnen der Lamellen untereinander kommt es zu einem enormen Vorteil, es tritt nämlich keine Reibung zwischen zwei "aufeinanderliegenden" Lamellen auf, welche beispielsweise durch dadurch entstehende Partikel das Projektionsobjektiv kontaminieren kann. Des weiteren kommt es zu keinem Verschleiß der eingesetzten Lamellen in der Systemblende. Durch die Verwendung der einzeln gelagerten Lamellen eröffnet sich somit die Möglichkeit, diese beispielsweise aus Keramik, wie beispielsweise SISIC (reaktionsgebundenes sili- ciuminfiltriertes Siliciumcarbid) , herzustellen. Dies hat wiederum sehr vorteilhafte Eigenschaften im Bezug auf die Systemblende. Die Lamellen können somit leicht und sehr steif hergestellt und ebenfalls in jeder beliebigen Form ausgeführt werden.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist weiterhin vorgesehen, dass zur Verdrehung der Lamellen die Lamellen jeweils an der Drehlagerachse mittels Festkörpergelenke drehgelagert sind, wobei die Lamellen mittels eines Antriebsringes bewegbar sind, wobei der Antriebsring über Festkörpergelenke drehbar um eine optische Achse gelagert ist.
Rotatorisch zu bewegende Teile werden nicht durch Gleit- oder Wälzlager, wie aus dem Stand der Technik bekannt, gelagert, sondern erfindungsgemäß durch Festkörpergelenke. Mit Festkörpergelenken können kleine Verfahrwege durch elastische Verformung eines Federelementes realisiert werden. Daraus ergeben sich wesentliche Vorteile wie keine Gleit- und Rollreibung. Somit können sich keine Partikel so wie beim Einsatz von Gleit- oder Wälzlagern auf optischen Flächen von optischen Abbildungseinrichtungen absetzen und die Abbildungsgüte wesentlich verschlechtern. Des weiteren ist ein Vorteil, dass Festkörpergelenke rechnerisch sehr genau erfasst werden können. Schmierstoffe, die evtl. auf die Oberflächen der optischen
Elemente gelangen und diese beschädigen können, sind nicht erforderlich.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigt:
Figur 1 eine prinzipmäßige Darstellung einer Anordnung einer erfindungsgemäßen Systemblende in einer Hohlfläche eines optischen Elementes;
Figur 2 eine prinzipmäßige Darstellung einer Anordnung und Ausführung einer Lamelle der erfindungsgemäßen Systemblende;
Figur 3 eine prinzipmäßige Darstellung einer Anordnung von mehreren Lamellen der Systemblende;
Figur 4 eine perspektivische Darstellung der erfindungsgemäßen Systemblende, wobei die Lamellen über Festkörpergelenke gelagert sind;
Figur 5 eine prinzipmäßige Darstellung der Systemblende mit Darstellung eines Lamellenantriebes;
Figur 6 eine prinzipmäßige Darstellung einer Möglichkeit zur Ausrichtung von Drehlagerachsen der Lamellen; Figur 7 eine prinzipmäßige Darstellung einer alternativen Möglichkeit zur Ausrichtung von Drehlagerachsen der Lamellen;
Figur 8 eine prinzipmäßige Darstellung einer Möglichkeit zum Messen beim Ausrichten der Drehlagerachsen der Lamellen;
Figur 9 eine prinzipmäßige Darstellung einer alternativen Möglichkeit zum Messen beim Ausrichten der Drehlagerachsen der Lamellen; und
Figur 10 eine prinzipmäßige Darstellung einer Alternativausführung der erfindungsgemäßen Systemblende.
Figur 1 zeigt wie in einer prinzipmäßig und nur ausschnittsweise dargestellten optischen Abbildungsvorrichtung PL, z.B. einem Objektiv für die Halbleiterlithographie, eine erfindungsgemäße Systemblende 1 (hier nur gestrichelt dargestellt) in eine Hohlfläche eines optischen Elements 2 eingebracht werden kann, um somit auf platzsparende Weise eine Begrenzung des Strahlenganges an unterschiedlichen Positionen entlang einer optischen Achse 3 für unterschiedliche Öffnungsweiten zu gewährleisten. Die optische Abbildungsvorrichtung PL ist als Objektiv für den Einsatz in der Halbleiterlithographie ausgebildet. Hierbei ist mit RB der Radius der Systemblende 1 aufgezeigt, welcher beispielsweise bei vollständiger Schließung der Systemblende 1 vorliegt. RE ist der Radius der Flä- ehe des optischen Elementes 2, welche korrespondierend zur Fläche der Systemblende 1 ist.
In Figur 2 ist prinzipmäßig ein Ausschnitt der erfindungsgemäßen Systemblende 1 aufgezeigt, wobei hier nur eine Lamelle
4 im Querschnitt dargestellt ist. Die Lamelle 4 ist sphärisch in ihrer Krümmung ausgebildet. An der Lamelle 4 ist ein Lager
5 vorgesehen, welches als Drehlager ausgestaltet ist. Das Drehlager 5 weist eine Drehlagerachse 6 auf, welche sehr genau auf einen Krümmungsmittelpunkt C einer Sphäre 7 gerichtet ist, welche durch die Lamellenform der Lamelle 4 erzeugt wird. Durch die sphärische Ausgestaltung der Lamelle 4 und der Ausrichtung der Drehlagerachse 6 auf den Krümmungsmittelpunkt C kann sich nun die Lamelle 4 in einer sphärischen Fläche bewegen. Der Krümmungsmittelpunkt C der Sphäre 7 entspricht somit dem Mittelpunkt der optimalen Blendenfläche.
In Figur 3 ist prinzipmäßig ein Ausschnitt der Systemblende 1 mit drei Lamellen 4 dargestellt. Eine einzelne Lamelle 4 ist jedoch noch nicht in der Lage den Strahlengang kreisförmig zu begrenzen. Dafür ist üblicherweise eine gewisse Anzahl von Lamellen 4 notwendig, die durch ihre lichtbestimmenden Kanten annähernd einen Kreis beschreiben. Vorzugsweise können hier acht bis zehn Lamellen 4 zur kreisförmigen Strahlengangbe- grenzung eingesetzt werden. Selbstverständlich ist es auch möglich, eine höhere oder eine geringere Anzahl zu verwenden. Bei den bereits aus dem Stand der Technik bekannten Lamellen ist zu erkennen, dass sich diese bei Benutzung der Blende vollständig überlappen. Dies muss selbstverständlich auch bei der erfindungsgemäßen Systemblende 1 gewährleistet werden. Durch die Verwendung von einzeln gelagerten Lamellen 4, wobei nicht alle Lamellen 4 in einer Ebene gelagert sind, ist es möglich, diese aus einem Material mit hoher Steifigkeit, wie beispielsweise Keramik, vorzugsweise SISIC (reaktionsgebundenes siliciuminfiltriertes Siliciumcarbid) , herzustellen. Dies hat insbesondere dahingehend Vorteile, dass die Lamellen 4 leicht und sehr steif sind und in jeder beliebigen Form hergestellt werden können. Durch die Steifigkeit der Lamellen 4 kann vorteilhafterweise ein Herunterhängen der Lamellen 4 durch Eigengewicht und folglich Berührung einzelner Lamellen 4 vermieden werden. Eine Überlappung der einzelnen Lamellen 4 ist somit nur möglich, wenn sich die Lamellen 4 in zwei sphärischen Flächen 7 und 7', welche hier gestrichelt dargestellt werden, mit einem sehr geringen Abstand A zueinander befinden. Hierbei sollte wieder darauf geachtet werden, dass die Drehlagerachsen 6 der Lamellen 4 zum Krümmungsmittelpunkt C gerichtet sind und die Sphären 7 und 7 ' ebenfalls ihren Krümmungsmittelpunkt in C besitzen.
Um nun eine eindeutige Begrenzung des Strahlenganges zu erzeugen, sollten sich die Lamellen 4 synchron bewegen und die Rotationsachsen bzw. Drehlagerachsen 6 der Drehlager 5, wie bereits erwähnt, sehr genau auf den Krümmungsmittelpunkt C ausgerichtet sein. Der Abstand A zwischen den beiden Sphären 7 und 7' sollte so klein wie möglich gehalten werden, z.B. nur wenige mm, vorzugsweise A < 1 mm, aber dennoch eine Be- rührungslosigkeit der Lamellen 4 beim Schließen und Öffnen der Systemblende 1 gewährleisten. Vorteilhafterweise kann dies dadurch bewerkstelligt werden, dass die Drehlager 5 mit ihren Drehlagerachsen 6 abwechselnd in Richtung des Krüm- mungsmittelpunktes C und entgegengesetzt, wie deutlich in Figur 3 erkennbar, angeordnet werden.
In Figur 4 ist in perspektivischer Ansicht die erfindungsgemäße Systemblende 1 dargestellt. Die erfindungsgemäße Systemblende 1 gestattet es, durch Einsatz von Festkörpergelenken 8 eine Drehung bzw. Bewegung der Lamellen 4, und damit eine Verstellung der Blendenöffnung 9, ohne Einsatz von Wälz- bzw. Gleitlagern, zu ermöglichen.
In Figur 5 ist die Systemblende 1 aus Figur 4 näher dargestellt. Die Lamellen 4 sind an ihrer Drehlagerachse 6 mittels den Festkörpergelenken 8, welche in Figur 4 deutlicher erkennbar sind, drehgelagert. Hierfür können beispielsweise Kreuzfedergelenke als Festkörpergelenke 8 eingesetzt werden. Die Festkörpergelenke 8 sind rechnerisch sehr genau erfassbar. Liegt die Belastung der Festkörpergelenke 8 innerhalb der Dauerfestigkeit des Materials, ist das Ausfallrisiko von derartigen Festkörpergelenken 8 sehr gering. Für die Festkörpergelenke 8 können metallische Werkstoffe eingesetzt werden, wobei darauf geachtet werden sollte, dass die Werkstoffe UV- beständig sind. Ein Antriebsring oder auch Synchronisationsring 10 kann durch einen hermetisch abgedichteten, nach außen geführten Hebel wenige Grad um die optische Achse 3 in Pfeilrichtung gedreht werden. Der Antriebsring 10 selbst ist mittels radial steifen und in Drehrichtung weichen Festkörpergelenken 11 gelagert. Ein Antriebselement 12 ist monolithisch mit dem Antriebsring 10. An der Drehlagerachse 6 der Lamelle 4 ist das Antriebselement 12 mit der Lamelle 4 verbunden. Wird nun der Antriebsring 10 um die optische Achse 3 bewegt, dreht sich das Antriebselement 12 mit der Lamelle 4 um die Lamellenachse bzw. Drehlagerachse 6. Die Festkörpergelenke 11 verformen sich elastisch, wobei dadurch das Antriebsmoment steigt.
Da der Antriebsring 10 monolithisch mit dem Antriebselement 12 ist und um die optische Achse 3 zur Schließung und Öffnung der Lamellen 4 gedreht werden muss, sind ebenfalls Festkörpergelenke 11' zwischen dem Antriebselement 12 und dem Antriebsring 10 vorgesehen. Das Festkörpergelenk 11' kann als einzelne Blattfeder ausgeführt werden. Selbstverständlich stellt dies keine Einschränkung auf eine Art von Festkörpergelenk dar. Der Antriebsring 10 sollte aus einem Material gebildet sein, welches eine hohe Wechsellastfestigkeit aufweist, damit das Ausfallrisiko sehr gering bleibt.
Eine Antriebseinheit 10' treibt den Antriebsring 10 in nicht näher dargestellter Weise an. Die Antriebseinheit 10' kann beispielsweise ein Kurvengetriebe, einen Exzenter, einen Linearmotor oder einen Piezomotor darstellen, wobei diese Nennung keine Einschränkung darstellen soll.
Die Antriebseinheit 10' ist zur Bewegung der Lamellen 4 außerhalb eines Gasraumes G angeordnet. Der Gasraum G kann mit verschiedenem Gas, wie beispielsweise Helium oder Stickstoff, gefüllt sein. Die Antriebseinheit 10' mit reibenden beweglichen Teilen ist auswechselbar, während das nichtreibende, nur über Festkörpergelenke 8, 11 und 11' gelagerte System im optischen Gasraum G angeordnet ist. Die Anordnung der Antriebseinheit 10' außerhalb des Gasraumes G ist dahingehend von Vorteil, dass sich somit keine Kontaminationssubstanzen auf den optischen Oberflächen absetzen können. Eine derartige Lagerung der Lamellen 4 mit Festkörpergelenken 8, 11 und 11' kann selbstverständlich auch für Blendensysteme eingesetzt werden, welche in einer Ebene verfahren und sollte sich nicht nur auf eine Blende beschränken, deren lichtbestimmende Kante einer sphärischen Fläche folgt.
Eine Möglichkeit zur Ausrichtung der Drehlagerachsen 6 auf den Krümmungsmittelpunkt C ist eine Aufhängung des Drehlagers
5 in einer Membrane 13, wie in Figur 6 im Querschnitt dargestellt. Die Aufhängung weist ein unteres und ein oberes Lagerelement 14 und 14' auf. Zwischen den Lagerelementen 14 und 14' befindet sich die Drehlagerachse 6. Das Membran 13 ist zwischen den Lagerelementen 14, 14' und der Lamelle 4 vorgesehen. Zur Ausrichtung der Drehlagerachse 6 auf den Krümmungsmittelpunkt C kann das untere Lagerelement 14 mit Hilfe von Justage-Schrauben 15 verstellt werden. Das Membran 13 wird somit als Kugelgelenk genutzt. Beispielsweise können zur Verstellung dreimal 120° angeordnete Justage-Schrauben 15 eingesetzt werden. Durch Verstellung der Justage-Schrauben 15 an dem unteren Lagerelement 14 kann somit die Drehlagerachse
6 genau auf den Krümmungsmittelpunkt C ausgerichtet werden.
Eine weitere Möglichkeit zur Justage der Drehlagerachse 6 zum Krümmungsmittelpunkt C ist die Verwendung eines kinematischen Systems. Dies ist in Figur 7 schematisch dargestellt. Hierbei wird das Drehlager 5 mit seiner Drehlagerachse 6 an einem Festkörpergelenk 16 aufgehängt. Das Festkörpergelenk 16 kann als Viergelenk ausgebildet sein. Halteelemente 17 sind zur Halterung des Festkörpergelenks 16 am oberen Teil des Festkörpergelenkes 16 vorgesehen. Durch den vorteilhaften Einsatz eines Viergelenkes können die Schwenkbewegungen des Drehlagers 5 dazu genutzt werden, um die Drehlagerachse 6 zu justieren. Eine derartige Kinematik ist besonders geeignet, wenn eine Richtung der Achse, im Ausführungsbeispiel die x-Achse, durch Fertigungstoleranzen an den Halteelementen 17 gelöst werden kann. Damit ist eine Bewegung in y-Richtung ausreichend. Eine weitere Alternative stellt die Kinematik dar, wenn die Kinematik bzw. das Drehlager 5 um die z-Achse drehbar gestaltet wird. Dies ist mit einer Klemmeinrichtung leicht möglich.
Die Figuren 8 und 9 zeigen schematisch dargestellt Messmethoden beim Ausrichten der Drehlagerachsen 6 der Lamellen 4 auf den Krümmungsmittelpunkt C. Eine erste Möglichkeit ist durch ein taktiles Messverfahren gegeben, wie in Figur 8 dargestellt ist. Hierbei ist es wichtig, dass die sphärisch ausgebildete Lamelle 4 sehr genau hergestellt wird. Somit kann die Sphäre beispielsweise mit 2 Militrontastern 18 ausmessen werden. Dabei kann der genaue Radius der sphärischen Fläche der Lamelle 4 bestimmt werden. Bei noch dazu richtiger Anordnung der Lamelle 4 im Raum kann somit der Krümmungsmittelpunkt C direkt ermittelt werden. Weiterhin kann anhand dieser Sphäre ein Werkzeug zu einer Referenzebene und zu einer Drehachse ausgerichtet werden. Das Werkzeug besitzt ebenfalls wie die Lamelle 4 eine Kugelform. Die Lamellen 4 werden gegen diese vorgefertigte Form gesetzt und angesaugt oder über andere Befestigungsmethoden gehalten. Danach wird die vorgefertigte Form zu der Referenzebene und zu der Drehlagerachse 6 ausgerichtet. Nach dem Ausrichten können somit die Lamellen 4 anhand des Werkzeuges bzw. der vorgefertigten Form ausgemessen und am richtigen Ort positioniert werden. Der Vorteil der taktilen Messung ist, dass es mit einem mechanischen Werkzeug leicht umgesetzt werden kann, und dass das mechanische Werkzeug wiederverwendbar ist. Weiterhin ist es im Vergleich zu anderen Messverfahren relativ preiswert.
Figur 9 zeigt eine weitere schematische Darstellung eines optischen Messverfahrens zum Ausrichten der Drehlagerachsen 6 der Lamellen 4. Hierbei wird die Lamelle 4 ebenfalls von einer vorgefertigten Form oder Einrichtung gehalten, so dass die Lamelle 4 kippbar bzw. bewegbar ist. Um hier den Krümmungsmittelpunkt C direkt messen zu können, wird in die Lamelle 4 bzw. in das Lager 5 eine kleine Aussparung H in Ausführung eines Loches eingebracht. Mit Hilfe eines Laserstrahles 19, welcher durch die kleine Aussparung H durchtritt, kann auf einem Schirm 20 ein Punkt abgebildet werden. Um den Krümmungsmittelpunkt C zu definieren, ist es notwendig, dass durch alle Lamellen 4 bzw. Drehlager 5 ein Laserstrahl 19 durchtreten muss, um auf dem Schirm 20 Abbildungspunkte zu erhalten. Die Abbildungspunkte sollten möglichst eine kleine Punktewolke ergeben, welche nahe des Krümmungsmittelpunktes C liegt. Bilden alle Abbildungspunkte eine derartige kleine Punktewolke, so ist der Krümmungsmittelpunkt C über das optische Messverfahren ermittelt. Das optische Messverfahren ist gegenüber dem taktilen Messverfahren wesentlich genauer.
Die steifen, vergleichsweise dicken Lamellen 4, welche einzeln gelagert und so im Raum fixiert sind, können auch durch extrem dünne Lamellen 4' ersetzt werden, wie dies in Figur 10 prinzipmäßig dargestellt ist. Hierbei ist es jedoch wichtig, dass die Lamellen 4' geschichtet werden. Bei dieser erfindungsgemäßen Möglichkeit der Ausgestaltung einer Systemblende 1' sind die Lamellen 4' ebenfalls sphärisch in ihrer Krümmung ausgebildet, wobei auch hier wieder Drehlagerachsen 6' von Drehlagern 5 ' auf den Krümmungsmittelpunkt C der Sphäre ausgerichtet sein müssen. Zur Führung der Lamellen 4' kann ein aus dem Stand der Technik bekanntes Blendensystem vorgesehen sein, welches einen inneren Ring mit einer feststehenden Achse, einen Außenring mit einem Nutenring und Stifte aufweist. Zur Führung der Lamellen 4 ' ist sowohl der fest stehende Ring als auch der bewegte Nutenring mit einer kugelförmigen Oberfläche versehen. Der Vorteil dieser Ausführung der Systemblende 1' besteht darin, dass eine genauere lichtbestimmende Kante vorhanden ist.
Bei beiden Varianten bzw. Möglichkeiten der Ausführung der Systemblenden 1 und 1' ist eine sehr genaue Einhaltung der Kugelfläche der Lamellen 4 und 4' notwendig. Insbesondere bei der geschichteten Variante nach Figur 10 mit den dünnen Lamellen 4 ' ist sonst mit nicht tolerierbaren Reibeffekten zu rechnen. Zur Herstellung derartiger Lamellen 4 und 4' eignet sich besonders das Verfahren „Galvanisches Abscheiden" auf einem Formkörper.

Claims

Patentansprüche :
1. Optische Abbildungsvorrichtung, insbesondere Objektiv für die Halbleiterlithographie, mit wenigstens einer Systemblende, wobei die Systemblende (1) eine Vielzahl von bewegbaren Lamellen (4,4') aufweist, welche drehbar gelagert sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Lamellen (4,4') eine sphärische Krümmung aufweisen.
2. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass Drehlagerachsen (6,6') der Lamellen (4,4') auf einen Krümmungsmittelpunkt (C) einer Sphäre (7) ausgerichtet sind, und wobei die Sphäre (7) eine Fläche bestimmt, auf welcher die Lamellen (4,4') gegeneinander bewegbar sind.
3. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Lamellen (4) auf zwei sphärischen Flächen (7,7'), deren Krümmungsmittelpunkte (C) i- dentisch sind, überlappend bewegbar angeordnet sind.
4. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden sphärischen Flächen (7,7') einen Abstand A von wenigen Millimetern, vorzugsweise A < 1 mm, zueinander aufweisen.
5. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Lamellen (4) eine hohe Steifigkeit aufweisen.
6. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass zur Verdrehung der Lamellen (4) die Lamellen (4) jeweils an der Drehlagerachse (6) mittels Festkörpergelenke (8) drehgelagert sind.
7. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Lamellen (4) mittels eines Antriebsringes (10) bewegbar sind, wobei der Antriebsring (10) über Festkörpergelenke (11,11') drehbar um eine optische Achse (3) gelagert ist.
8. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Festkörpergelenke (11,11') als radial steife und in Drehrichtung weiche Festkörpergelenke (11,11') ausgebildet sind.
9. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Antriebsring (10) jeweils mit einer Lamelle (4) über ein Antriebselement (12) verbunden ist .
10. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch .9, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebselement (12) mit dem Antriebsring (10) über ein Festkörpergelenk (11') verbunden ist.
11. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Antriebsring (10) mit dem Antriebselement (12) monolithisch ist.
12. Optische Abbildungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 7, 9, 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Antriebsring (10) aus einem Material gebildet ist, welches eine hohe Wechsellastfestigkeit aufweist.
13. Optische Abbildungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass eine Antriebseinheit (10') zur Bewegung der Lamellen (4,4') außerhalb eines Gasraumes (G) angeordnet ist.
14. Optische Abbildungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 2 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass Drehlager (5,5') mit den Drehlagerachsen (6,6') der Lamellen (4,4') jeweils in einer Membrane (13) aufgehängt sind, wobei die Drehlagerachsen (6,6') der Lamellen (4,4') auf den Krümmungsmittelpunkt (C) ausrichtbar sind.
15. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass zur Ausrichtung der Drehlagerachsen (6,6') Stellglieder (15) vorgesehen sind.
16. Optische Abbildungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 2 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehlager (5,5') mit den Drehlagerachsen (6,6') der Lamellen (4,4') jeweils an einem Festkörpergelenk (16) aufgehängt sind, wobei die Drehlagerachsen (6,6') der Lamellen (4,4') auf den Krümmungsmittelpunkt (C) ausrichtbar sind.
17. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass das Festkörpergelenk (16) als Viergelenk ausgebildet ist.
18. Optische Abbildungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 14, oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass für das Messen beim Ausrichten der Drehlagerachsen (6,6') der Lamellen (4,4') taktile oder optische Messverfahren vorgesehen sind.
19. Blende mit einer Vielzahl von bewegbaren Lamellen, wobei die Lamellen (4,4') eine sphärische Krümmung aufweisen und drehbar gelagert sind, wobei Drehlagerachsen (6,6') der Lamellen (4,4') auf einen Krümmungsmittelpunkt (C) einer Sphäre (7) ausgerichtet sind, und wobei die Sphäre (7) eine Fläche bestimmt, auf welcher die Lamellen (4,4') gegeneinander bewegbar sind.
20. Blende nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Lamellen (4,4') auf zwei sphärischen Flächen (7,7') deren Krümmungsmittelpunkte (C) identisch sind, überlappend bewegbar angeordnet sind.
21. Blende nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden sphärischen Flächen (7,7') einen Abstand A von wenigen Millimetern, vorzugsweise A < 1 mm, zueinander aufweisen.
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