JP2007500869A - 少なくとも1つのシステム絞りを備えた光学結像装置 - Google Patents
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Abstract
Description
光学結像装置において様々なタイプの絞りがシステム絞りとして使用されていることは広く知られている。絞りによる光束の画定は、光学的結像を行うのに非常に重要である。絞りは光束の直径を左右するあるいは変化させることができるため、光学結像装置の光学結像品質にかなり影響し、光学結像品質を改善することができる。
本発明の光学結像装置のシステム絞りは、回転可能に装着される球状に湾曲した薄板を備える。薄板の回転軸受中心軸は好ましくは球の湾曲の中心に向けられており、球は球状湾曲部あるいは薄板の形状を規定する。これにより、開閉時にシステム絞りの光規定エッジを球面に沿って移動させることが可能になる。この結果、開口幅ごとに例えば投影レンズのような光学結像装置の光軸に沿っていろいろな位置で、球に対応する湾曲上を移動し、設置領域から球状キャップへの進入または挿入が可能なシステム絞りを形成することが可能になる。したがって、設置領域が狭い場合でも、本発明のシステム絞りをミラーの凹面、レンズ、あるいは2つのレンズの間の非常に狭い中間領域に導入することができる。
図1は、概略的かつ部分的に示された光学結像装置PL、例えば半導体リソグラフィ用のレンズにおいて、空間を節約して開口幅ごとに光軸3に沿っていろいろな位置で光路を画定するために、本発明のシステム絞り1(ここでは単に点線により表示されている)がどのように光学素子2の凹面に導入されることができるかを示している。光学結像装置PLは半導体リソグラフィに使用されるレンズとして設計されている。RBは、例えばシステム絞り1が完全に閉じている場合のシステム絞り1の半径を表す。REは、システム絞り1の表面に対応する光学素子2の表面の半径である。
Claims (21)
- 回転可能に装着された複数の可動薄板(4,4’)を備えた少なくとも1つのシステム絞り(1)を有する光学結像装置、特に半導体リソグラフィ用のレンズであって、薄板(4,4’)が球状に湾曲していることを特徴とする光学結像装置。
- 薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)が球(7)の湾曲の中心(C)に心合わせされていて、球(7)が、薄板(4,4’)が互いに連動して移動できる面を規定することを特徴とする、請求項1に記載の光学結像装置。
- 薄板(4,4’)が、湾曲の中心(C)が同一である2つの球面(7,7’)上を部分的に重なって移動できるように配置されることを特徴とする、請求項1に記載の光学結像装置。
- 2つの球面(7,7’)間には数ミリメータの間隔Aがあり、好ましくはA<1mmであることを特徴とする、請求項3に記載の光学結像装置。
- 薄板(4)が高い剛性を有することを特徴とする、請求項1に記載の光学結像装置。
- 薄板(4)を回転させるために、各薄板(4)が、ソリッドステート関節手段(8)を用いて、回転するように回転軸受中心軸(6)に装着されることを特徴とする、請求項2に記載の光学結像装置。
- 薄板(4)が駆動リング(10)を使って移動可能であり、駆動リング(10)がソリッドステート関節手段(11,11’)を介して光軸(3)周りを回転可能に装着されることを特徴とする、請求項1に記載の光学結像装置。
- ソリッドステート関節手段(11,11’)が半径方向において堅く、回転方向において柔軟なソリッドステート関節手段(11,11’)であることを特徴とする、請求項7に記載の光学結像装置。
- 駆動リング(10)が駆動要素(12)を介して薄板(4)にそれぞれ接続されることを特徴とする、請求項7に記載の光学結像装置。
- 駆動要素(12)がソリッドステート関節手段(11’)を介して駆動リング(10)に接続されることを特徴とする、請求項9に記載の光学結像装置。
- 駆動リング(10)が駆動要素(12)と一体であることを特徴とする、請求項7に記載の光学結像装置。
- 駆動リング(10)が、交互に与える負荷下で高い安定性を有する材料により形成されることを特徴とする、請求項7,9,10,11のいずれかに記載の光学結像装置。
- 薄板(4,4’)を移動させるための駆動装置(10’)が、ガス空間(G)の外側に配置されることを特徴とする、請求項1ないし9のいずれかに記載の光学結像装置。
- 薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)を備えた回転軸受(5,5’)がそれぞれ絞り(13)に固定されていて、薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)を湾曲部の中心(C)に心合わせできることを特徴とする、請求項2又は6に記載の光学結像装置。
- 回転軸受中心軸(6,6’)を心合わせするために制御部材(15)が設けられることを特徴とする、請求項14に記載の光学結像装置。
- 薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)を備えた回転軸受(5,5’)がそれぞれソリッドステート関節手段(16)に固定されていて、薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)を湾曲部の中心(C)に心合わせできることを特徴とする、請求項2又は6に記載の光学結像装置。
- ソリッドステート関節手段(16)が四重関節手段として設計されることを特徴とする、請求項16に記載の光学結像装置。
- 薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)を心合わせする際の計測に、触覚または光学測定法を用いることを特徴とする、請求項14又は16に記載の光学結像装置。
- 複数の可動薄板を備え、該薄板(4,4’)が球状に湾曲すると共に回転するように装着され、薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)が球(7)の湾曲部の中心(C)に心合わせされていて、球(7)が、薄板(4,4’)が互いに連動して移動できる面を規定することを特徴とする、絞り。
- 薄板(4,4’)が、湾曲の中心(C)が同一である2つの球面(7,7’)上を部分的に重なって移動できるように配置されることを特徴とする、請求項19に記載の絞り。
- 2つの球面(7,7’)間には数ミリメータの間隔Aがあり、好ましくはA<1mmであることを特徴とする、請求項20に記載の絞り。
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