JP5620039B2 - 少なくとも1つのシステム絞りを備えた光学結像装置 - Google Patents
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Description
光学結像装置において様々なタイプの絞りがシステム絞りとして使用されていることは広く知られている。絞りによる光束の画定は、光学的結像を行うのに非常に重要である。絞りは光束の直径を左右するあるいは変化させることができるため、光学結像装置の光学結像品質にかなり影響し、光学結像品質を改善することができる。
本発明の光学結像装置のシステム絞りは、回転可能に装着される球状に湾曲した薄板を備える。薄板の回転軸受中心軸は好ましくは球の湾曲の中心に向けられており、球は球状湾曲部あるいは薄板の形状を規定する。これにより、開閉時にシステム絞りの光規定エッジを球面に沿って移動させることが可能になる。この結果、開口幅ごとに例えば投影対物レンズのような光学結像装置の光軸に沿っていろいろな位置で、球に対応する湾曲上を移動し、設置領域から球状キャップへの進入または挿入が可能なシステム絞りを形成することが可能になる。したがって、設置領域が狭い場合でも、本発明のシステム絞りをミラーの凹面、レンズ、あるいは2つのレンズの間の非常に狭い中間領域に導入することができる。
図1は、概略的かつ部分的に示された光学結像装置PL、例えば半導体リソグラフィ用の対物レンズにおいて、空間を節約して開口幅ごとに光軸3に沿っていろいろな位置で光路を画定するために、本発明のシステム絞り1(ここでは単に点線により表示されている)がどのように光学素子2の凹面に導入されることができるかを示している。光学結像装置PLは半導体リソグラフィに使用される対物レンズとして設計されている。RBは、例えばシステム絞り1が完全に閉じている場合のシステム絞り1の半径を表す。REは、システム絞り1の表面に対応する光学素子2の表面の半径である。
Claims (28)
- 弾性変形が可能な棒状の一体構成の継手部である第1の弾性可変形継手部によって保持要素に回転可能に取り付けられた複数の可動の薄板(4,4’)を備え、薄板を回転させることにより開口の大きさを調整可能なシステム絞り(1)を少なくとも1つ有する光学結像装置、特に半導体リソグラフィ用の対物レンズであって、第1の弾性可変形継手部は薄板と保持要素とを連結し、薄板(4,4’)が球状に湾曲しており、第1の弾性可変形継手部が弾性変形することにより薄板(4,4’)は回転軸受中心軸(6)の周りを回転可能であることを特徴とする光学結像装置。
- 薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)が薄板(4,4’)の球状の湾曲を含む球(7)の湾曲の中心(C)に心合わせされていて、球(7)が、薄板(4,4’)が互いに連動して移動できる面を規定することを特徴とする、請求項1に記載の光学結像装置。
- 薄板(4)が、湾曲の中心(C)が同一である2つの、薄板(4,4’)の球状の湾曲を含む球面(7,7’)上を部分的に重なって移動できるように配置されることを特徴とする、請求項1に記載の光学結像装置。
- 2つの球面(7,7’)間には数ミリメータの間隔Aがあり、好ましくはA<1mmであることを特徴とする、請求項3に記載の光学結像装置。
- 薄板(4)が高い剛性を有することを特徴とする、請求項1に記載の光学結像装置。
- 薄板(4)が駆動リング(10)を使って移動可能であり、駆動リング(10)が、弾性変形が可能な一体構成の継手部である第2の弾性可変形継手部によって筐体の一部に光軸(3)周りを回転可能に連結され、第2の弾性可変形継手部が弾性変形することにより駆動リング(10)が光軸(3)周りを回転可能であることを特徴とする、請求項1に記載の光学結像装置。
- 第2の弾性可変形継手部は、半径方向において堅く、回転方向において柔軟なリーフスプリングの形式であることを特徴とする、請求項6に記載の光学結像装置。
- 駆動リング(10)が駆動要素(12)を介して薄板(4)にそれぞれ接続されることを特徴とする、請求項6に記載の光学結像装置。
- 駆動要素(12)が、リーフスプリングの形式である、第3の弾性可変形継手部を介して駆動リング(10)に接続されることを特徴とする、請求項8に記載の光学結像装置。
- 駆動リング(10)が駆動要素(12)と一体であることを特徴とする、請求項6に記載の光学結像装置。
- 駆動リング(10)が、交互に与える負荷下で高い安定性を有する材料により形成されることを特徴とする、請求項6,8,9,10のいずれかに記載の光学結像装置。
- 薄板(4,4’)を移動させるための駆動装置(10’)が、光学素子(2)およびシステム絞り(1)を包囲してガスを満したガス空間(G)の外側に配置されることを特徴とする、請求項1ないし8のいずれかに記載の光学結像装置。
- 薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)を備えた回転軸受(5,5’)がそれぞれ絞り(13)に固定されていて、薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)を湾曲部の中心(C)に心合わせできることを特徴とする、請求項1又は2に記載の光学結像装置。
- 回転軸受中心軸(6,6’)を心合わせするために調整ネジ(15)が設けられることを特徴とする、請求項13に記載の光学結像装置。
- 薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)を備えた回転軸受(5,5’)がそれぞれ連結対象物を連結する、弾性変形が可能な一体構成の継手部である第4の弾性可変形継手部によって保持要素に固定されていて、第4の弾性可変形継手部が弾性変形することにより回転軸受中心軸(6,6’)をずらすことが可能であり、薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)を湾曲部の中心(C)に心合わせできることを特徴とする、請求項1又は2に記載の光学結像装置。
- 第4の弾性可変形継手部が弾性変形により4自由度を有するように設計されることを特徴とする、請求項15に記載の光学結像装置。
- 薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)を心合わせする際の計測に、触覚または光学測定法を用いることを特徴とする、請求項13又は15に記載の光学結像装置。
- 弾性変形が可能な棒状の一体構成の継手部である第1の弾性可変形継手部により保持要素に連結された複数の薄板(4,4’)を備え、第1の弾性可変形継手部が弾性変形することにより薄板(4,4’)が移動可能であり、薄板を移動させることにより開口の大きさを調整可能である、マイクロリソグラフ投影露光装置用の可変システム絞り。
- 第1の弾性可変形継手部が弾性変形することにより薄板を回転可能にすることを特徴とする、請求項18に記載の可変システム絞り。
- 複数の可動の薄板を備え、該薄板(4,4’)が球状に湾曲し、弾性変形が可能な棒状の一体構成の継手部である弾性可変形継手部により該薄板が保持要素に連結され、弾性可変形継手部が弾性変形することにより薄板(4)が回転軸受中心軸(6)の周りを回転可能であり、該薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)が球(7)の湾曲部の中心(C)に心合わせされており、該球(7)が、該薄板(4,4’)が互いに対して移動できる面を規定することを特徴とする、可変システム絞り。
- 前記薄板(4,4’)が、湾曲の中心(C)が同一である2つの、薄板(4,4’)の球状の湾曲を含む球面(7,7’)上を部分的に重なって移動できるように配置されることを特徴とする、請求項20に記載の可変システム絞り。
- 前記2つの球面(7,7’)間には数ミリメータの間隔Aがあり、好ましくはA<1mmであることを特徴とする、請求項21に記載の絞り。
- 光学素子を有する半導体リソグラフィにおける投影対物レンズであって、マイクロリソグラフ投影露光装置用の少なくとも1つの可変システム絞りが、1つの光学素子の凹状面内への導入のために備えられ、該絞りは複数の可動の薄板を有し、該絞りが湾曲面に沿っており、前記薄板が、弾性変形が可能な棒状の一体構成の継手部である第1の弾性可変形継手部を用いて保持要素に回転可能に連結され、弾性可変形継手部が弾性変形することにより薄板が回転軸受中心軸(6,6’)の周りを回転可能であり、薄板を回転させることにより開口の大きさを調整可能であることを特徴とする投影対物レンズ。
- 前記絞りが、球状に湾曲した面に沿っていることを特徴とする、請求項23に記載の投影対物レンズ。
- 前記絞りが、回転可能に取り付けられた複数の薄板(4,4’)を備えていることを特徴とする、請求項23あるいは24に記載の投影対物レンズ。
- 前記薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)が前記球(7)の湾曲部の中心(C)に心合わせされており、該球(7)が、該薄板(4,4’)が互いに対して移動できる面を規定することを特徴とする、請求項25に記載の投影対物レンズ。
- 前記薄板(4,4’)が、湾曲の中心(C)が同一である2つの、薄板(4,4’)の球状の湾曲を含む球面(7,7’)上を部分的に重なって移動できるように配置されることを特徴とする、請求項26に記載の投影対物レンズ。
- 前記薄板(4,4’)が、前記弾性可変形継手部により回転するように取り付けられていることを特徴とする、請求項24に記載の投影対物レンズ。
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