JP2012014180A - 少なくとも1つのシステム絞りを備えた光学結像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学結像装置(PL)は少なくとも1つのシステム絞り(1)を備え、該システム絞りは、球状に湾曲し回転可能に取り付けられた複数の可動薄板を備える。該可動薄板は、一体構成のソリッドステート関節動作継手部により、互いに接触することなく回転するように回転軸受中心軸に取り付けられる。
【選択図】図1
Description
光学結像装置において様々なタイプの絞りがシステム絞りとして使用されていることは広く知られている。絞りによる光束の画定は、光学的結像を行うのに非常に重要である。絞りは光束の直径を左右するあるいは変化させることができるため、光学結像装置の光学結像品質にかなり影響し、光学結像品質を改善することができる。
Claims (21)
- 回転可能に取り付けられた複数の可動薄板(4,4’)を備えた少なくとも1つのシステム絞り(1)を有する光学結像装置、特に半導体リソグラフィ用の対物レンズであって、薄板(4,4’)が球状に湾曲していることを特徴とする光学結像装置。
- 薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)が球(7)の湾曲の中心(C)に心合わせされていて、球(7)が、薄板(4,4’)が互いに連動して移動できる面を規定することを特徴とする、請求項1に記載の光学結像装置。
- 薄板(4,4’)が、湾曲の中心(C)が同一である2つの球面(7,7’)上を部分的に重なって移動できるように配置されることを特徴とする、請求項1に記載の光学結像装置。
- 2つの球面(7,7’)間には数ミリメータの間隔Aがあり、好ましくはA<1mmであることを特徴とする、請求項3に記載の光学結像装置。
- 薄板(4)が高い剛性を有することを特徴とする、請求項1に記載の光学結像装置。
- 薄板(4)を回転させるために、各薄板(4)を、一体構成のソリッドステート関節動作継手部(8)により、回転するように回転軸受中心軸(6)に取り付けることを特徴とする、請求項2に記載の光学結像装置。
- 薄板(4)が駆動リング(10)を使って移動可能であり、駆動リング(10)が、駆動リング(10)に、一体構成のソリッドステート関節動作継手部(11,11’)を介して光軸(3)周りを回転可能に取り付けたことを特徴とする、請求項1に記載の光学結像装置。
- ソリッドステート関節動作継手部(11,11’)が、半径方向において堅く、回転方向において柔軟なソリッドステート関節動作継手部(11,11’)であることを特徴とする、請求項7に記載の光学結像装置。
- 駆動リング(10)が駆動要素(12)を介して薄板(4)にそれぞれ接続されることを特徴とする、請求項7に記載の光学結像装置。
- 駆動要素(12)がソリッドステート関節動作継手部(11’)を介して駆動リング(10)に接続されることを特徴とする、請求項9に記載の光学結像装置。
- 駆動リング(10)が駆動要素(12)と一体であることを特徴とする、請求項7に記載の光学結像装置。
- 駆動リング(10)が、交互に与える負荷下で高い安定性を有する材料により形成されることを特徴とする、請求項7,9,10,11のいずれかに記載の光学結像装置。
- 薄板(4,4’)を移動させるための駆動装置(10’)が、ガス空間(G)の外側に配置されることを特徴とする、請求項1ないし9のいずれかに記載の光学結像装置。
- 薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)を備えた回転軸受部(5,5’)がそれぞれダイヤフラム(13)に固定されていて、薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)を湾曲部の中心(C)に心合わせできることを特徴とする、請求項2又は6に記載の光学結像装置。
- 回転軸受中心軸(6,6’)を心合わせするために調整部材(15)が設けられることを特徴とする、請求項14に記載の光学結像装置。
- 薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)を備えた回転軸受部(5,5’)をそれぞれ、一体構成のソリッドステート関節動作継手部(16)に固定し、薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)を湾曲部の中心(C)に心合わせできることを特徴とする、請求項2又は6に記載の光学結像装置。
- ソリッドステート関節動作継手部(16)を4自由度関節動作継手部として設計することを特徴とする、請求項16に記載の光学結像装置。
- 薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)を心合わせする際の計測に、触覚または光学測定法を用いることを特徴とする、請求項14又は16に記載の光学結像装置。
- 複数の可動薄板を備え、該薄板(4,4’)が球状に湾曲すると共に回転するように取り付けられ、薄板(4,4’)の回転軸受中心軸(6,6’)が球(7)の湾曲部の中心(C)に心合わせされていて、球(7)が、薄板(4,4’)が互いに連動して移動できる面を規定することを特徴とする、絞り。
- 薄板(4,4’)が、湾曲の中心(C)が同一である2つの球面(7,7’)上を部分的に重なって移動できるように配置されることを特徴とする、請求項19に記載の絞り。
- 2つの球面(7,7’)間には数ミリメータの間隔Aがあり、好ましくはA<1mmであることを特徴とする、請求項20に記載の絞り。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10335215 | 2003-08-01 | ||
DE10335215.5 | 2003-08-01 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006522245A Division JP5620039B2 (ja) | 2003-08-01 | 2004-07-02 | 少なくとも1つのシステム絞りを備えた光学結像装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012014180A true JP2012014180A (ja) | 2012-01-19 |
JP2012014180A5 JP2012014180A5 (ja) | 2013-07-18 |
JP5639971B2 JP5639971B2 (ja) | 2014-12-10 |
Family
ID=34201407
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006522245A Expired - Fee Related JP5620039B2 (ja) | 2003-08-01 | 2004-07-02 | 少なくとも1つのシステム絞りを備えた光学結像装置 |
JP2011173442A Expired - Fee Related JP5639971B2 (ja) | 2003-08-01 | 2011-08-08 | 少なくとも1つのシステム絞りを備えた光学結像装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006522245A Expired - Fee Related JP5620039B2 (ja) | 2003-08-01 | 2004-07-02 | 少なくとも1つのシステム絞りを備えた光学結像装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8009343B2 (ja) |
JP (2) | JP5620039B2 (ja) |
WO (1) | WO2005019878A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013235183A (ja) * | 2012-05-10 | 2013-11-21 | Canon Inc | 光学系及びそれを有する撮像装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE602004019142D1 (de) | 2003-12-02 | 2009-03-05 | Zeiss Carl Smt Ag | Optisches projektionssystem |
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CN103765310B (zh) | 2011-07-07 | 2016-08-24 | 佳能电子株式会社 | 光量调节设备和光学设备 |
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- 2004-07-02 US US10/566,196 patent/US8009343B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-07-02 JP JP2006522245A patent/JP5620039B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-07-02 WO PCT/EP2004/007186 patent/WO2005019878A1/de active Application Filing
-
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- 2011-08-08 JP JP2011173442A patent/JP5639971B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2007500869A (ja) | 2007-01-18 |
JP5620039B2 (ja) | 2014-11-05 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130305 |
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A524 | Written submission of copy of amendment under section 19 (pct) |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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