TWI597536B - 用於支撐鏡片的支撐裝置與方法及用於支 撐功能元件的支撐組件 - Google Patents

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Description

用於支撐鏡片的支撐裝置與方法及用於支 撐功能元件的支撐組件
本揭露是關於一支撐裝置，且特別是關於用於支撐一鏡片的一支撐裝置與方法。
在半導體產業中，曝光機的鏡頭被使用以將光罩(Mask)的圖樣作放大率轉換，藉此將該圖樣轉寫到晶圓(Wafer)上。在晶圓上的解析度至少是微米(μm)等級或更高，因接近繞射極限，光學品質以波前誤差(wavefront error)作評價。以波前觀點觀察，鏡面變形量會改變光波的相位(Phase)；經過每個鏡面的波前扭曲後，在成像面會疊加出最後的波前誤差。因此，大口徑鏡片(外直徑φ>150mm)的組裝會遭遇到情況：即使該鏡片是完美、且位於正確的位置，也無法保證良好的成像品質。所述情況的原因為自重(Self-gravity)和夾持(Clamping)所導致的鏡面變形與應力使得光學品質下降。當一般小型鏡頭所使用的環狀支撐(Annular support)的穩固固定機制被應用到大口徑鏡片時，該穩固固定機制所產生的變形量過 大；因此，該穩固固定機制不適用於大口徑鏡片而需要另外作特殊設計。
大口徑鏡片的穩固固定機制在基本設計概念上遵循運動學(Kinematic)的原則：剛體(Rigid body)的自由度包含三個平移自由度及三個旋轉自由度；欲穩固地固定元件會需要線性獨立的六個拘束力；當被夾持的元件有過度拘束(Over constraint)的狀況時，會造成元件的內應力及變形；當夾持條件符合運動學拘束(Kinematic constraint)的狀況時，物件的變形會是最小的。然而，運動學的剛體接觸假設為點接觸；該點接觸對於鏡片而言會有接觸應力過大的問題，因此將接觸點擴大為小面積範圍接觸，如此的設計稱之為「半運動學設計(Semi-kinematic design)」；在先前技術中，許多大口徑鏡片的穩固固定機制即依據此原則作設計。
美國第7,085,080 B2號公告專利揭露一種光學元件的低變形支撐裝置。美國第6,594,093 B2號公告專利揭露一種用於在透鏡系統中光學元件的調整裝置。美國第6,239,924 B1號公告專利揭露一種具有分佈式支撐和徑向撓曲的運動學透鏡裝置。美國第6,400,516 B1號公告專利揭露一種運動學光學裝置。歐洲第0230277 B1號公告專利揭露一種運動學光學裝置。美國第8,654,461 B2號公告專利揭露一種光學系統的鏡片定位單元。美國第7,903,353 B2號公告專利揭露一種具有彎曲桿操縱器單元的橫向可調整光學裝置。美國第7,609,464 B2號公告專利揭露一種 具有支撐力平衡而用於光學元件的固定裝置。中國第102279454 B號公告專利揭露一種光刻投影物鏡中鏡片的支撐裝置。在先前技術中的上述揭露通常皆有機構零組件過多、機構零組件不易製作、組裝程序過於繁瑣、成本過高或不利量產的缺點。
本揭露的一目的在於提供一種用於支撐一鏡片的支撐裝置以將鏡片自重變形降低，進而達成超低鏡面變形的技術功效。
本揭露的一實施例在於提供一種用於支撐一鏡片的支撐裝置。該支撐裝置包含一支撐組件。該支撐組件包含一支撐本體、複數第一支撐部和複數第二支撐部。該複數第一支撐部設置於該支撐本體上，其中每一該第一支撐部具有在其上的一第一支撐位置，並用於剛性地支撐該鏡片。該複數第二支撐部設置於該支撐本體上，其中每一該第二支撐部設置於二該第一支撐部之間，具有在其上的一第二支撐位置，並用於撓性地支撐該鏡片。當該支撐組件和該鏡片之間的一配置關係形成一解耦合關係時，該第二支撐位置的一第二高度高於該第一支撐位置的一第一高度。當該配置關係被改變而形成一耦合關係時，該第一及該第二高度之間的一絕對差值小於一門檻值。
本揭露的另一實施例在於提供一種用於支撐一鏡片的支撐方法。該支撐方法包含下列步驟：提供一支撐組件，其中該支撐組件包含一支撐本體、設置於該支 撐本體上的複數第一支撐部、和設置於該支撐本體上的複數第二支撐部，其中每一該第一支撐部具有在其上的一第一支撐位置、並用於剛性地支撐該鏡片，且每一該第二支撐部設置於二該第一支撐部之間，具有在其上的一第二支撐位置，並用於撓性地支撐該鏡片；當該支撐組件和該鏡片之間的一配置關係形成一解耦合關係時，使該第二支撐位置的一第二高度高於該第一支撐位置的一第一高度；以及當該配置關係被改變而形成一耦合關係時，使該第一及該第二高度之間的一絕對差值小於一門檻值。
本揭露的另一實施例在於提供一種用於支撐一功能元件的支撐組件。該支撐組件包含一支撐本體、複數第一支撐部和複數第二支撐部。該複數第一支撐部設置於該支撐本體上，其中每一該第一支撐部具有在其上的一第一支撐位置，並用於剛性地支撐該功能元件。該複數第二支撐部設置於該支撐本體上，其中每一該第二支撐部設置於二該第一支撐部之間，具有在其上的一第二支撐位置，並用於撓性地支撐該功能元件。當該支撐組件和該功能元件之間的一配置關係形成一解耦合關係時，該第二支撐位置的一第二高度高於該第一支撐位置的一第一高度。當該配置關係被改變而形成一耦合關係時，該第一及該第二高度之間的一絕對差值小於一門檻值。
10‧‧‧鏡片
15‧‧‧功能元件
20、90‧‧‧支撐裝置
21、91‧‧‧支撐組件
211‧‧‧支撐本體
21A‧‧‧中心軸
21U‧‧‧第二極性支撐位置陣列
22‧‧‧鎖附環
221‧‧‧周邊螺紋結構
23‧‧‧套筒
231‧‧‧第五側
2311、2312、2313‧‧‧第四支撐部
2310P‧‧‧第四支撐位置
2310S‧‧‧第四支撐表面
2315‧‧‧第一本體
23151‧‧‧內側部分
232‧‧‧第六側
2321‧‧‧內螺紋結構
26、27、76、77、78‧‧‧實現結構
30H‧‧‧第一高度
30S‧‧‧第一支撐表面
30P‧‧‧第一支撐位置
30U‧‧‧第一極性支撐位置陣列
31、32、33‧‧‧第一支撐部
31A、32A、33A‧‧‧第一外定位缺口
31P、32P、33P‧‧‧支撐位置
3R‧‧‧支撐參考位置
40H‧‧‧第二高度
40S‧‧‧第二支撐表面
40P‧‧‧第二支撐位置
41、42、43‧‧‧第二支撐部
41A、42A、43A‧‧‧第二外定位缺口
41P、42P、43P‧‧‧支撐位置
50P‧‧‧第三支撐位置
50S‧‧‧第三支撐表面
51、52、53‧‧‧第三支撐部
60A‧‧‧第一側
60B‧‧‧第二側
60C‧‧‧第三側
60D‧‧‧第四側
61、62、63‧‧‧剛性本體部
701‧‧‧中央部
702‧‧‧第一端
703‧‧‧第二端
704‧‧‧第一撓性絞鏈
704P‧‧‧第二參考位置
704Q‧‧‧第二參考平面
705‧‧‧第一相對剛性連接部分
706‧‧‧第二撓性絞鏈
706P‧‧‧第三參考位置
706Q‧‧‧第三參考平面
707‧‧‧第二相對剛性連接部分
71、72、73‧‧‧撓性本體部
74‧‧‧支撐樑
741‧‧‧撓性樑
751‧‧‧中央支撐塊
7511‧‧‧第七側
7512‧‧‧第八側
7513‧‧‧第九側
751P‧‧‧第一參考位置
751Q‧‧‧第一參考平面
752‧‧‧第三撓性絞鏈
752P‧‧‧第四參考位置
752Q‧‧‧第四參考平面
753‧‧‧第四撓性絞鏈
753P‧‧‧第五參考位置
753Q‧‧‧第五參考平面
758‧‧‧撓性絞鏈
7581‧‧‧第一溝槽
7582‧‧‧第二溝槽
7583‧‧‧頸部
758S1‧‧‧第一頸部曲面
758S2‧‧‧第二頸部曲面
851‧‧‧第一端部
8511‧‧‧第一支撐結構
85111‧‧‧第一螺紋件
85115‧‧‧第一拘束件
85116‧‧‧第二拘束件
852‧‧‧第二端部
8521‧‧‧第二支撐結構
85211‧‧‧第二螺紋件
85215‧‧‧第三拘束件
85216‧‧‧第四拘束件
853‧‧‧相對剛性本體部分
854‧‧‧撓性單元
8541‧‧‧第三端部
8542‧‧‧第四端部
8543‧‧‧第一表面
8544‧‧‧第二表面
855‧‧‧空隙
AD1‧‧‧絕對差值
b1、b2、b3‧‧‧寬度
D1‧‧‧高度差
L2、L3‧‧‧長度
Mz‧‧‧力矩
P‧‧‧重量
R1、Rh‧‧‧半徑
RA‧‧‧第一曲率半徑
RB‧‧‧第二曲率半徑
RC‧‧‧第三曲率半徑
t1、t2、t3‧‧‧厚度
tA‧‧‧頸部厚度
TH1‧‧‧門檻值
αz‧‧‧撓曲角
δ2‧‧‧理論突起值
φ‧‧‧外直徑
θ1‧‧‧第一預定角度
θ2‧‧‧第二預定角度
θ3‧‧‧第三預定角度
θ4‧‧‧第四預定角度
本揭露得藉由下列圖式之詳細說明，俾得更深入之瞭解： 第1A圖：為在本揭露各式各樣實施例中當包含於一支撐裝置中的一支撐組件和一鏡片之間的一配置關係形成一耦合關係時、該配置關係的側視剖面示意圖。
第1B圖：為當該配置關係形成一解耦合關係時、該支撐組件的俯視示意圖。
第1C圖：為當該配置關係形成該解耦合關係時、該支撐組件在第1B圖中參考線CC’處的前剖面示意圖。
第1D圖：為當該配置關係形成該解耦合關係時、該支撐組件在第1B圖中參考線FF’處的右側剖面示意圖。
第1E圖：為當該配置關係形成該解耦合關係時、該支撐組件在第1B圖中參考線GG’處的左視剖面示意圖。
第1F圖：為當該配置關係形成該解耦合關係時、該支撐組件的仰視示意圖。
第2A圖和第2B圖：分別為在本揭露各式各樣實施例中該支撐裝置和該鏡片的分解示意圖和組合示意圖。
第3A圖和第3B圖：分別為在本揭露各式各樣實施例中該支撐組件的一實現結構的部分俯視示意圖和部分前視示意圖。
第4圖：為在本揭露各式各樣實施例中該支撐組件的一撓性絞鏈的立體示意圖。
第5A圖：為在本揭露各式各樣實施例中該支撐組件的一實現結構的部分立體示意圖。
第5B圖和第5C圖：分別為在本揭露各式各樣實施例中該支撐組件的一中央部的一實現結構在支撐該鏡片之 前和在支撐該鏡片之時的剖面示意圖。
第6圖：為在本揭露各式各樣實施例中該支撐組件的該中央部的一實現結構的剖面示意圖。
第7圖：為在本揭露各式各樣實施例中該支撐組件的該中央部的一實現結構的剖面示意圖。
請參閱第1A圖、第1B圖、第1C圖、第1D圖、第1E圖和第1F圖。第1A圖為在本揭露各式各樣實施例中當包含於一支撐裝置20中的一支撐組件21和一鏡片10之間的一配置關係形成一耦合關係時、該配置關係的側視剖面示意圖。第1B圖為當該配置關係形成一解耦合關係時、該支撐組件21的俯視示意圖。第1C圖為當該配置關係形成該解耦合關係時、該支撐組件21在第1B圖中參考線CC’處的前剖面示意圖。第1D圖為當該配置關係形成該解耦合關係時、該支撐組件21在第1B圖中參考線FF’處的右側剖面示意圖。第1E圖為當該配置關係形成該解耦合關係時、該支撐組件21在第1B圖中參考線GG’處的左視剖面示意圖。第1F圖為當該配置關係形成該解耦合關係時、該支撐組件21的仰視示意圖。
如第1A、1B、1C、1D、1E和1F圖所示，一種用於支撐該鏡片10的該支撐裝置20包含一支撐組件21。該支撐組件21包含一支撐本體211、複數第一支撐部31、32和33、及複數第二支撐部41、42和43。該複數第一支撐部31、32和33設置於該支撐本體211上，其中每 一該第一支撐部(比如31)具有在其上的一第一支撐位置30P，並用於剛性地支撐該鏡片10。該複數第二支撐部41、42和43設置於該支撐本體211上，其中每一該第二支撐部(比如42)設置於二該第一支撐部(比如32和33)之間，具有在其上的一第二支撐位置40P，並用於撓性地支撐該鏡片10。當該支撐組件21和該鏡片10之間的一配置關係形成一解耦合關係時，該第二支撐位置40P的一第二高度40H高於該第一支撐位置30P的一第一高度30H。當該配置關係被改變而形成一耦合關係時，該第一及該第二高度30H和40H之間的一絕對差值AD1小於一門檻值TH1。
例如，每一該第一支撐部(比如31)具有一支撐參考位置3R，且該第一及該第二高度30H和40H皆參考該支撐參考位置3R。當該配置關係形成該解耦合關係時，該第二支撐位置40P的該第二高度40H以一高度差D1高於該第一支撐位置30P的該第一高度30H。例如，該支撐組件21是一體成形的。例如，每一該第二支撐部(比如42)經由使用至少一固定組件(未顯示)而被安裝到該支撐本體211上。例如，該門檻值TH1對該高度差D1的一比率等於在0和1之間的一特定比率以使該門檻值TH1小於該高度差D1。
在一些實施例中，每一該第一支撐部(比如31)突出自該支撐本體211，並包含具有該第一支撐位置30P的一第一支撐表面30S。每一該第二支撐部(比如42)突出自該支撐本體211，並包含具有該第二支撐位置40P 的一第二支撐表面40S。由該第一支撐位置30P所識別的第一複數支撐位置31P、32P和33P被等間隔地排列以形成一第一極性支撐位置陣列30U。該第一複數支撐位置31P、32P和33P、和由該第二支撐位置40P所識別的第二複數支撐位置41P、42P和43P被等間隔地排列以形成一第二極性支撐位置陣列21U。
該支撐組件21更包含相關於該支撐本體211而分別與該複數第一支撐部31、32和33相對的複數第三支撐部51、52和53，其中每一該第三支撐部(比如51)突出自該支撐本體211，並包含具有一第三支撐位置50P的一第三支撐表面50S，且該第一支撐表面30S相關於該支撐本體211而對應地相對於該第三支撐表面50S。當該配置關係形成該耦合關係時，每一該第三支撐部(比如51)剛性地支撐該支撐本體211，藉此該支撐組件21支撐該鏡片10以形成該耦合關係。例如，該第三支撐位置50P作為該支撐參考位置3R。
在一些實施例中，該支撐本體211形成一環狀物，並包含複數剛性本體部61、62和63、及複數撓性本體部71、72和73，其中每一該撓性本體部(比如72)和每一該第二支撐部(比如42)組成一支撐樑74。該複數第一支撐部31、32和33分別設置於該複數剛性本體部61、62和63上，且該複數剛性本體部61、62和63分別設置於該複數第三支撐部51、52和53上。每一該剛性本體部(比如61)包含一第一側60A、相對於該第一側60A的一第二 側60B、相鄰於該第一和該第二側60A和60B的一第三側60C、及相對於該第三側60C的一第四側60D。對應的該第一支撐部(比如31)設置於該第一側60A上，且對應的該第三支撐部(比如51)耦合於該第二側60B。該複數第二支撐部41、42和43分別設置於該複數撓性本體部71、72和73上。
在一些實施例中，每一該撓性本體部(比如72)包含一中央部701、相關於該中央部701的一第一端702、和相對於該第一端702的一第二端703。對應的該第二支撐部(比如42)設置於該中央部701上。每一該撓性本體部(比如72)設置於二該剛性本體部(比如62和63)之間，其中該第一端702耦合於二該剛性本體部(比如62和63)的其中之一(比如62)的該第三側60C，且該第二端703耦合於二該剛性本體部(比如62和63)的其中之另一(比如63)的該第四側60D。
在一些實施例中，該支撐組件21更包含一中心軸21A、與該複數第一支撐部31、32和33分別對應的複數第一外定位缺口31A、32A和33A、及該複數第二支撐部41、42和43分別對應的複數第二外定位缺口41A、42A和43A。每一該第一外定位缺口(比如31A)的一部分對應地形成在每一該第一支撐部(比如31)上。每一該第二外定位缺口(比如42A)的一部分對應地形成在每一該第二支撐部(比如42)上。
請參閱第2A圖和第2B圖，其分別為在本 揭露各式各樣實施例中該支撐裝置20和該鏡片10的分解示意圖和組合示意圖。如第2A和2B圖所示，該支撐裝置20更包含一鎖附環22和一套筒23。該鎖附環22包含一周邊螺紋結構221，其中當該配置關係形成該耦合關係時，該支撐組件21藉由使用該複數第三支撐部51、52和53而設置於該鎖附環22上。
該套筒23包含一第五側231和相對於該第五側231的一第六側232。該第五側231包含一第一本體2315、及用於耦合於該鏡片10的複數第四支撐部2311、2312和2313。該複數第四支撐部2311、2312和2313分別對應於該複數第一支撐部31、32和33，且每一該第四支撐部(比如2311)突出自該第一本體2315的內側部分23151，並包含具有一第四支撐位置2310P的一第四支撐表面2310S。該第六側232包含一內螺紋結構2321。當該配置關係形成該耦合關係時，該鏡片10設置於該複數第一支撐部31、32和33和該複數第二支撐部41、42和43上，該複數第四支撐部2311、2312和2313設置於該鏡片10上，該第四支撐表面2310S相關於該鏡片10而對應地面對該第一支撐表面30S，且該周邊螺紋結構221耦合至該內螺紋結構2321。
請參閱第3A圖和第3B圖。第3A圖和第3B圖分別為在本揭露各式各樣實施例中該支撐組件21的一實現結構26的部分俯視示意圖和部分前視示意圖。如第3A和3B圖所示，該支撐組件21的每一該撓性本體部(比如72)更包含設置於該第一端702和該中央部701之間的 一第一撓性絞鏈704、設置於該第一撓性絞鏈704和該中央部701之間的一第一相對剛性連接部分705、設置於該中央部701和該第二端703之間的一第二撓性絞鏈706、及設置於該中央部701和該第二撓性絞鏈706之間的一第二相對剛性連接部分707。
在一些實施例中，該中央部701包含一中央支撐塊751、耦合於該中央支撐塊751的一第三撓性絞鏈752、和耦合於該中央支撐塊751的一第四撓性絞鏈753。該中央支撐塊751包含耦合於對應的該第二支撐部(比如42)的一第七側7511、相鄰於該第七側7511的一第八側7512、和相對於該第八側7512的一第九側7513。對應的該第二支撐部(比如42)設置於該第七側7511上。該第三撓性絞鏈752設置於該第八側7512和該第一相對剛性連接部分705之間。該第四撓性絞鏈753設置於該第九側7513和該第二相對剛性連接部分707之間。例如，該支撐組件21為一體成形的。
在一些實施例中，該中央支撐塊751、該第一撓性絞鏈704、該第二撓性絞鏈706、該第三撓性絞鏈752和該第四撓性絞鏈753分別具有一第一參考位置751P、一第二參考位置704P、一第三參考位置706P、一第四參考位置752P和一第五參考位置753P。該中心軸21A和該第一參考位置751P之間具有一第一參考平面751Q，該中心軸21A和該第二參考位置704P之間具有一第二參考平面704Q，該中心軸21A和該第三參考位置706P之間具有一第 三參考平面706Q，該中心軸21A和該第四參考位置752P之間具有一第四參考平面752Q，且該中心軸21A和該第五參考位置753P之間具有一第五參考平面753Q。
該第一和該第二參考平面751Q和704Q之間具有一第一預定角度θ1以使該第一撓性絞鏈704鄰近該第一端702。該第一和該第三參考平面751Q和706Q之間具有一第二預定角度θ2以使該第二撓性絞鏈706鄰近該第二端703。該第一和該第四參考平面751Q和752Q之間具有一第三預定角度θ3以使該第三撓性絞鏈752鄰近該第八側7512。該第一和該第五參考平面751Q和753Q之間具有一第四預定角度θ4以使該第四撓性絞鏈753鄰近該第九側7513。
如第1A、1B、1C、1D、1E、1F、2A、2B、3A和3B圖所示，有鑑於先前技術的缺點，在本揭露的一些實施例中，該支撐組件21包含該第一撓性絞鏈(Flexure hinge)704、該第二撓性絞鏈706、該第三撓性絞鏈752和該第四撓性絞鏈753。該支撐組件21使用該第一、該第二、該第三和該第四撓性絞鏈704、706、752和753以形成一彈性支撐組件，並被製作為一體成形的利於該支撐裝置20的製造與組裝。
在一些實施例中，用於支撐該鏡片10的該支撐裝置20包含該套筒23、該支撐組件21和該鎖附環(Retainer)22。例如，該套筒23作為一次套筒(Sub-cell)，形成一鏡片承載主體，並能夠與其它的套筒(未顯示)連 結以形成一鏡片組合。該套筒23的內側部分(比如該第五側231的該內側部分23151)包含三個該第四支撐表面2310S；例如，三個該支撐表面2310S分別為三個硬支撐小平面。
該鏡片10具有一外直徑φ。在一些實施例中，該外直徑φ能夠大於或等於150mm以使該鏡片10形成一大口徑鏡片；例如，在一些情況中，該支撐裝置20適用於支撐該大口徑鏡片。在一些實施例中，該支撐組件21作為一壓附環；三個該第一支撐表面30S分別為三個剛性支撐小平面；且三個該第二支撐表面40S分別為三個撓性支撐小平面。
例如，該鎖附環22的邊緣具有該周邊螺紋結構221以使該鎖附環22用於鎖附及壓附。在本揭露中，僅使用上述三個機構零組件(該套筒23、該支撐組件21和該鎖附環22)即可達到撓性支撐的技術功效；相較於在先前技術中的一般鏡片支撐裝置動輒所需的數十個零組件，本揭露的該支撐裝置20可說是具有相當精簡的設計。
在一些實施例中，包含該支撐裝置20和該鏡片10的鏡組的組合如第2B圖所示。相對於該中心軸21A，包含於該套筒23中的該三個剛性支撐小平面(2310S)形成三個第一夾角，每一該第一夾角為120度角。例如，每個該小平面的尺寸為4X4mm的矩形；每個該小平面的斜率與該鏡片10的表面相切，以減少作用於該鏡片10的應力(Stress)；且每個該小平面與該鏡片10的實際有效接 觸為線接觸。
包含於該支撐組件21中的該三個剛性支撐小平面(30S)與包含於該套筒23中的該三個硬支撐小平面(2310S)兩兩相對，如此能夠有效地抵銷夾持力(Clamping force)以避免產生力矩(Torque)，並能夠有效地用於固緊該鏡片10，同時亦兼具鏡片對心功能。在這種情況中的三點承載遵循「半運動學設計(Semi-kinematic design)」，因此沒有過度拘束(Over constraint)的狀況，又夾持力已抵銷，該鏡片10的表面變形主要來自於自重(Self-gravity)變形。該表面變形的變形量與該鏡片10的重量相關；根據不同的鏡片口徑及/或材質，該表面變形會有不同的變形量。此時若量測該表面變形，可得到三葉(Trefoil)變形圖(未顯示)。若要再進一步降低變形量，能夠在三變形凹陷處施加彈簧力(Spring force)，以將凹陷的部分作上頂。
施加彈簧力的原因在於該鏡片10的表面以三點支撐的最大變形量通常介於(1/3)λ和(1/10)λ(光波長λ=0.633μm)之間；因此若使用剛體在鏡面三葉變形凹陷處作為頂出元件，基本上最精密的機械加工都無法達到完美的共平面(Coplanar)；此時產生的應力會破壞原三點支撐因而導致過度拘束狀況。包含於該支撐組件21中的三個該第二支撐表面40S分別為三個撓性支撐表面。三個該第二支撐表面40S的彈簧力的產生源自於柔性絞鏈的原理，並能夠將該鏡片10的自重所產生的三葉變形的三凹陷點作上頂的支撐。
在一些實施例中，當該配置關係形成該解耦合關係時，該第二支撐位置40P的該第二高度40H以該高度差D1高於該第一支撐位置30P的該第一高度30H。該高度差D1取決於該鏡片10的重量和任一該撓性本體部(比如72)的彈性模數。當該配置關係形成該耦合關係時，藉由該鏡片10的重量下壓的線性變形而該支撐組件21產生一彈簧力。例如，當該鏡片10具有一第一預定重量且該任一該撓性本體部(比如72)具有一預定彈性模數時，該高度差D1是一預定高度差。例如，該預定高度差為0.15mm。例如，該第一支撐位置30P是該第一支撐表面30S的一預定代表性接觸位置；該第二支撐位置40P是該第二支撐表面40S的一預定代表性接觸位置；該第三支撐位置50P是該第三支撐表面50S的一預定代表性接觸位置；且該第四支撐位置2310P是該第四支撐表面2310S的一預定代表性接觸位置。
當該配置關係形成該耦合關係時，發生在該第一支撐位置30P的一第一夾持力和發生在該第四支撐位置2310P的一第二夾持力兩兩抵銷，且該彈簧力則用以抵抗重力變形。此時，該鏡片10的重力支撐由原先的三點平均分配支撐被改變為六點平均分配支撐，因此該鏡片10的最大表面變形量理論上能夠被有效降低。例如，當該鏡片10僅由三個剛性支撐位置(比如30P)支撐時，該鏡片10的表面所形成的最大變形量為(1/10)λ(光波長λ=0.633μm)；則當該鏡片10由該三個剛性支撐位置(比如 30P)和三個撓性支撐位置(比如40P)支撐時，該鏡片10的表面所形成的最大變形量就能夠被抑制在(1/10)λ和(1/20)λ之間的較低範圍內。例如，該門檻值TH1等於一特定值，該特定值介於(1/10)λ和(1/20)λ之間。
在一些實施例中，該支撐裝置20作為具有直立式(Vertical setup)架構的鏡片固緊(Mounting)裝置；一般的曝光機鏡頭(解析度高於1μm)屬於這種架構。因此該支撐裝置20能夠被應用到相當廣泛範圍的功能元件15的支撐。例如，該功能元件15是一光學元件。例如，該支撐裝置20包含於一曝光機中。在一些實施例中，相對於該中心軸21A，包含於該支撐組件21中的該三個剛性支撐位置(30P)形成三個第二夾角，每一該第二夾角為120度角。相對於該中心軸21A，包含於該支撐組件21中的該三個撓性支撐位置(40P)形成三個第三夾角，每一該第三夾角為120度角。相對於該中心軸21A，相鄰的該剛性支撐位置(30P)和該撓性支撐位置(40P)形成一第四夾角，該第四夾角為60度角。
在一些實施例中，該支撐裝置20使用三個該第一支撐表面(30S)和三個該第四支撐表面(2310S)上下對夾(Clamp)該鏡片10以定位該鏡片10，藉此達到應力抵銷及將該鏡片10的中心軸與該支撐組件21的該中心軸21A對準的功能。該支撐裝置20使用包含於該支撐組件21中的該第一、該第二、該第三和該第四撓性絞鏈704、706、752和753以形成支撐該鏡片10的彈簧力；該彈簧力 用以抵銷三點支撐所殘留的自重變形，藉此達到該鏡片10的表面變形最小化的功效。
在一些實施例中，柔性絞鏈(Flexure hinge)能夠應用於精密機械產業；例如，微米等級的移動平台(Micro-motion stage)可藉由柔性絞鏈的變形來移動；這種移動平台的優點包括：避免了摩擦力(Friction)、耗損、齒輪間隙(Backlash)等傳統機械作動問題，以便達到高精度的位移定位。
請參閱第4圖，其為在本揭露各式各樣實施例中該支撐組件21的一撓性絞鏈758的立體示意圖。該第一、該第二、該第三和該第四撓性絞鏈704、706、752和753的每一絞鏈的結構相似於該撓性絞鏈758的結構。如第4圖所示，該撓性絞鏈758包含一第一溝槽7581、相對於該第一溝槽7581的一第二溝槽7582、及由該第一和該第二溝槽7581和7582所形成的一頸部7583。該頸部7583具有一頸部厚度tA、由該第一溝槽7581所形成的一第一頸部曲面758S1、及由該第二溝槽7582所形成的一第二頸部曲面758S2。該第一和該第二頸部曲面758S1和758S2分別具有一第一曲率半徑RA和一第二曲率半徑RB。該撓性絞鏈758的撓性特性取決於比率tA/RA和比率tA/RB。
例如，該第一和該第二曲率半徑RA和RB的每一半徑等於一第三曲率半徑RC；如此，該頸部厚度tA對於該第三曲率半徑RC的比率tA/RC能夠經由最佳化計算作配置以估計用於支撐該鏡片10所需要的彈簧力。當該配 置關係形成該解耦合關係時，該第二支撐表面40S(或該第二支撐位置40P)以該高度差D1高於該第一支撐表面30S(或該第一支撐位置30P)。該支撐裝置20和該鏡片10被組裝以使該配置關係形成該耦合關係。當該配置關係形成該耦合關係時，該第一及該第二高度30H和40H之間的該絕對差值AD1小於該門檻值TH1，且該支撐樑74的線性變形能夠形成彈簧力，該彈簧力的強度正比於該預定高度差。例如，藉由該預定高度差的改變，該彈簧力能夠被控制以避免形成過度拘束的狀況，最後達到抑制自重變形的功效。例如，該支撐組件21為一體成型的；相較於具有繁複的機構零件的習知鏡片支撐裝置，該支撐組件21具有易於加工、組裝、低成本與利於量產的優勢。
在一些實施例中，該高度差D1正比於一理論突起值δ1。該理論突起值δ1符合方程式：δ1=(3/16)R1 2(αz/Mz)P，其中αz/Mz滿足下列程式： 其中R1代表每一該撓性本體部(比如72)至光軸中心的半徑；αz代表在z方向的撓曲角；Mz代表在z方向的力矩；P代表在每個支撐表面相關於該鏡片10的重量；E1代表每一該撓性本體部(比如72)的楊氏模數；b1代表該撓性絞鏈758的寬度；t1代表該撓性絞鏈758的厚度；且Rh代表該撓性絞鏈758的半徑。例如，每一該撓性本體部(比如72)具有相對於該中心軸21A的一中心參考圓弧，而該 中心參考圓弧具有該半徑R1。
請參閱第5A圖、第5B圖和第5C圖。第5A圖為在本揭露各式各樣實施例中該支撐組件21的一實現結構27的部分立體示意圖。第5B圖和第5C圖分別為在本揭露各式各樣實施例中該支撐組件21的該中央部701的一實現結構76在支撐該鏡片之前和在支撐該鏡片之時的剖面示意圖。如第5A、5B和5C圖所示，每一該撓性本體部(比如71)更包含設置於該第一端702和該中央部701之間的一第一相對剛性相連部分801、及設置於該中央部701和該第二端703之間的一第二相對剛性相連部分802。
在一些實施例中，該中央部701包含一第一端部851、一第二端部852、一相對剛性本體部分853和一撓性單元854。該第一端部851耦合於該第一相對剛性相連部分801。該第二端部852耦合於該第二相對剛性相連部分802。該相對剛性本體部分853設置於該第一和該第二端部851和852之間，並耦合於該第一和該第二端部851和852。該撓性單元854，設置於該第一和該第二端部851和852之間，位於該相對剛性本體部分853之上，形成一撓性板件，並包含一第三端部8541、和相對於該第三端部8541的一第四端部8542，其中該第三和該第四端部8541和8542分別耦合於該第一和該第二端部851和852，且該撓性單元854和對應的該第二支撐部(比如41)組成包含於該支撐樑74中的一撓性樑741。
例如，該撓性單元854和該相對剛性本體部 分853之間具有一空隙855。該撓性單元854更包含面向該相對剛性本體部分853的一第一表面8543、和相對於該第一表面8543的一第二表面8544。對應的該第二支撐部(比如41)設置於該撓性單元854的該第二表面8544上。該第一和該第二端部851和852分別包含一第一支撐結構8511和一第二支撐結構8521。該第一支撐結構8511和該第三端部8541之間具有一第一連接關係以使該第一支撐結構8511支撐該第三端部8541。該第二支撐結構8521和該第四端部8542之間具有對應於該第一連接關係的一第二連接關係以使該第二支撐結構8521支撐該第四端部8542。
例如，該第一連接關係為複數預定關係的其中之一，該複數預定關係包含一第一預定關係、一第二預定關係和一第三預定關係。該中央部701存在分別相關於該第一、該第二和該第三預定關係的一第一狀態、一第二狀態和一第三狀態。在該第一狀態中，該第一支撐結構8511包含一第一螺紋件85111，該第一螺紋件85111使該第一支撐結構8511和該第三端部8541結合以形成該第一預定關係。例如，該第二支撐結構8521包含一第二螺紋件85211，該第二螺紋件85211使該第二支撐結構8521和該第四端部8542結合以形成與該第一預定關係對應的一第一對應關係。
在一些實施例中，在該第一狀態中，該高度差D1正比於一理論突起值δ2。該理論突起值δ2符合方程式：δ2=(PL2 3)/(16E2b2t2 3)，其中P代表在每個支撐表面相 關於該鏡片10的重量；L2代表該撓性單元854的長度；E2代表該撓性單元854的楊氏模數；b2代表該撓性單元854的寬度；t2代表該撓性單元854的厚度。例如，在一特定情況中，該高度差D1為0.77mm。
請參閱第6圖，其為在本揭露各式各樣實施例中該支撐組件21的該中央部701的一實現結構77的剖面示意圖。如第6圖所示，在該第二狀態中，該第一支撐結構8511和該第三端部8541是一體成形的以形成該第二預定關係。在該第二狀態中，該高度差D1正比於該理論突起值δ2。例如，該第二支撐結構8521和該第四端部8542是一體成形的以形成與該第二預定關係對應的一第二對應關係。
請參閱第7圖，其為在本揭露各式各樣實施例中該支撐組件21的該中央部701的一實現結構78的剖面示意圖。如第7圖所示，在該第三狀態中，該第一支撐結構8511包含一第一拘束件85115和相對於該第一拘束件85115的一第二拘束件85116，該第一支撐結構8511使用該第一和該第二拘束件85115和85116拘束該第三端部8541以形成該第三預定關係。例如，該第一和該第二拘束件85115和85116分別形成一第一半球和一第二半球。由於沒有經過螺絲貫穿鎖住，在該撓性單元854支撐該鏡片10時，該撓性單元854會向兩側滑動延伸。例如，該第二支撐結構8521包含一第三拘束件85215和相對於該第一拘束件85215的一第四拘束件85216，該第二支撐結構8521使 用該第三和該第四拘束件85215和85216拘束該第四端部8542以形成與該第三預定關係對應的一第三對應關係。
在一些實施例中，在該第三狀態中，該高度差D1正比於一理論突起值δ3。該理論突起值δ3符合方程式：δ3=(PL3 3)/(4E3b3t3 3)，其中P代表在每個支撐表面相關於該鏡片10的重量；L3代表該撓性單元854的長度；E3代表該撓性單元854的楊氏模數；b3代表該撓性單元854的寬度；t3代表該撓性單元854的厚度。
基於第1A圖至第7圖，一種用於支撐一鏡片10的支撐方法被揭露。在一些實施例中，該支撐方法包含下列步驟：提供一支撐組件21，其中該支撐組件21包含一支撐本體211、設置於該支撐本體211上的複數第一支撐部31、32和33、及設置於該支撐本體211上的複數第二支撐部41、42和43，其中每一該第一支撐部(比如31)具有在其上的一第一支撐位置30P、並用於剛性地支撐該鏡片10，且每一該第二支撐部(比如42)設置於二該第一支撐部(比如32和33)之間，具有在其上的一第二支撐位置40P，並用於撓性地支撐該鏡片10；當該支撐組件21和該鏡片10之間的一配置關係形成一解耦合關係時，使該第二支撐位置40P的一第二高度40H高於該第一支撐位置30P的一第一高度30H；以及當該配置關係被改變而形成一耦合關係時，使該第一及該第二高度30H和40H之間的一絕對差值AD1小於一門檻值。
在一些實施例中，每一該第一支撐部(比如 31)突出自該支撐本體211，並包含具有該第一支撐位置30P的一第一支撐表面30S。每一該第二支撐部(比如42)突出自該支撐本體211，並包含具有該第二支撐位置40P的一第二支撐表面40S。該支撐組件21更包含相關於該支撐本體211而分別與該複數第一支撐部31、32和33相對的複數第三支撐部51、52和53，其中每一該第三支撐部(比如51)突出自該支撐本體211，並包含具有一第三支撐位置50P的一第三支撐表面50S，且該第一支撐表面30S相關於該支撐本體211而對應地相對於該第三支撐表面50S。
在一些實施例中，該支撐方法更包含下列步驟：提供一鎖附環22；以及提供一套筒23。該鎖附環22包含一周邊螺紋結構221。該套筒23包含一第五側231和相對於該第五側231的一第六側232。該第五側231包含一第一本體2315、及用於耦合於該鏡片10的複數第四支撐部2311、2312和2313。該複數第四支撐部2311、2312和2313分別對應於該複數第一支撐部31、32和33，且每一該第四支撐部(比如2311)突出自該第一本體2315的內側部分23151，並包含具有一第四支撐位置2310P的一第四支撐表面2310S。該第六側232包含一內螺紋結構2321。
在一些實施例中，該支撐方法更包含下列步驟：當該配置關係形成該耦合關係時：藉由將該周邊螺紋結構221耦合至該內螺紋結構2321而使該鎖附環22耦合至該套筒23；藉由使用該複數第三支撐部51、52和53而使該支撐組件21設置於該鎖附環22上；使該鏡片10設置 於該複數第一支撐部31、32和33、及該複數第二支撐部41、42和43上；以及藉由使用該複數第四支撐部2311、2312和2313而使該套筒23設置於該鏡片10上，其中該第四支撐表面2310S相關於該鏡片10而對應地面對該第一支撐表面30S。
基於第1A圖至第7圖，一種用於支撐一功能元件15的支撐組件91被揭露。在一些實施例中，該支撐組件91包含一支撐本體211、複數第一支撐部31、32和33、及複數第二支撐部41、42和43。該複數第一支撐部31、32和33設置於該支撐本體211上，其中每一該第一支撐部(比如31)具有在其上的一第一支撐位置30P，並用於剛性地支撐該功能元件15。該複數第二支撐部41、42和43設置於該支撐本體211上，其中每一該第二支撐部(比如42)設置於二該第一支撐部(比如32和33)之間，具有在其上的一第二支撐位置40P，並用於撓性地支撐該功能元件15。當該支撐組件91和該功能元件15之間的一配置關係形成一解耦合關係時，該第二支撐位置40P的一第二高度40H高於該第一支撐位置30P的一第一高度30H。當該配置關係被改變而形成一耦合關係時，該第一及該第二高度30H和40H之間的一絕對差值AD1小於一門檻值TH1。
在一些實施例中，該功能元件15具有一特定功能，該特定功能是複數預定功能的其中之一。該複數預定功能包含一光使用功能、一力使用功能和一電使用功 能。當該特定功能是該光使用功能時，該功能元件15是一光學元件。當該特定功能是該力使用功能時，該功能元件15是一機械元件。當該特定功能是該電使用功能時，該功能元件15是一電學元件。例如，當該特定功能是屬於該光使用功能的一光傳輸功能時，該功能元件15是一鏡片10。該支撐組件21包含於用於支撐該功能元件15的一支撐裝置90中；例如，該支撐裝置20更包含一套筒23和一鎖附環22。當該配置關係形成該耦合關係時，該功能元件15設置於該鎖附環22，該鎖附環22耦合於該套筒23，且該套筒23和該支撐組件21在不同方向夾持該功能元件15。例如，該功能元件15更具有一預定結構，以便該支撐組件91和該功能元件15之間的該耦合關係能夠被計算。
提出於此之本揭露多數變形例與其他實施例，將對於熟習本項技藝者理解到具有呈現於上述說明與相關圖式之教導的益處。因此，吾人應理解到本揭露並非受限於所揭露之特定實施例，而變形例與其他實施例意圖是包含在以下的申請專利範圍之範疇之內。
10‧‧‧鏡片
20‧‧‧支撐裝置
21‧‧‧支撐組件
22‧‧‧鎖附環
221‧‧‧周邊螺紋結構
23‧‧‧套筒
231‧‧‧第五側
2311、2313‧‧‧第四支撐部
2310P‧‧‧第四支撐位置
2310S‧‧‧第四支撐表面
2315‧‧‧第一本體
23151‧‧‧內側部分
232‧‧‧第六側
2321‧‧‧內螺紋結構
30S‧‧‧第一支撐表面
30P‧‧‧第一支撐位置
31、33‧‧‧第一支撐部
40S‧‧‧第二支撐表面
40P‧‧‧第二支撐位置
42‧‧‧第二支撐部
50P‧‧‧第三支撐位置
50S‧‧‧第三支撐表面
51、53‧‧‧第三支撐部
φ‧‧‧外直徑

Claims (10)

  1. 一種用於支撐一鏡片的支撐裝置，包含：一支撐組件，包含：一支撐本體；複數第一支撐部，設置於該支撐本體上，其中每一該第一支撐部具有在其上的一第一支撐位置，並用於剛性地支撐該鏡片；以及複數第二支撐部，設置於該支撐本體上，其中每一該第二支撐部設置於二該第一支撐部之間，具有在其上的一第二支撐位置，並用於撓性地支撐該鏡片，其中：當該支撐組件和該鏡片之間的一配置關係形成一解耦合關係時，該第二支撐位置的一第二高度高於該第一支撐位置的一第一高度；以及當該配置關係被改變而形成一耦合關係時，該第一及該第二高度之間的一絕對差值小於一門檻值。
  2. 如請求項1所述的支撐裝置，其中：每一該第一支撐部包含具有該第一支撐位置的一第一支撐表面；每一該第二支撐部包含具有該第二支撐位置的一第二支撐表面；由該第一支撐位置所識別的第一複數支撐位置被等間隔地排列以形成一第一極性支撐位置陣列；該第一複數支撐位置、和由該第二支撐位置所識別的第二複數支撐位置被等間隔地排列以形成一第二極性支撐 位置陣列；該支撐組件更包含相關於該支撐本體而分別與該複數第一支撐部相對的複數第三支撐部，其中每一該第三支撐部剛性地支撐該支撐本體，並包含具有一第三支撐位置的一第三支撐表面，且該第一支撐表面相關於該支撐本體而對應地相對於該第三支撐表面；該支撐組件支撐該鏡片以形成該耦合關係；該支撐本體形成一環狀物，並包含複數剛性本體部和複數撓性本體部，其中每一該撓性本體部和每一該第二支撐部組成一支撐樑；該複數第一支撐部分別設置於該複數剛性本體部上，且該複數剛性本體部分別設置於該複數第三支撐部上；每一該剛性本體部包含一第一側、相對於該第一側的一第二側、相鄰於該第一和該第二側的一第三側、及相對於該第三側的一第四側；對應的該第一支撐部設置於該第一側上，且對應的該第三支撐部耦合於該第二側；該複數第二支撐部分別設置於該複數撓性本體部上；每一該撓性本體部包含一中央部、相關於該中央部的一第一端、和相對於該第一端的一第二端；對應的該第二支撐部設置於該中央部上；每一該撓性本體部設置於二該剛性本體部之間，其中該第一端耦合於二該剛性本體部的其中之一的該第三側，且該第二端耦合於二該剛性本體部的其中之另一的該第四 側；以及該支撐裝置更包含：一鎖附環，包含一周邊螺紋結構，其中當該配置關係形成該耦合關係時，該支撐組件藉由使用該複數第三支撐部而設置於該鎖附環上；以及一套筒，包含一第五側和相對於該第五側的一第六側，其中：該第五側包含一第一本體和用於耦合於該鏡片的複數第四支撐部，其中該複數第四支撐部分別對應於該複數第一支撐部，且每一該第四支撐部突出自該第一本體的內側部分，並包含具有一第四支撐位置的一第四支撐表面；該第六側包含一內螺紋結構；以及當該配置關係形成該耦合關係時，該鏡片設置於該複數第一支撐部上，該複數第四支撐部設置於該鏡片上，該第四支撐表面相關於該鏡片而對應地面對該第一支撐表面，且該周邊螺紋結構耦合至該內螺紋結構。
  3. 如請求項2所述的支撐裝置，其中：每一該撓性本體部更包含設置於該第一端和該中央部之間的一第一撓性絞鏈、設置於該第一撓性絞鏈和該中央部之間的一第一相對剛性連接部分、設置於該中央部和該第二端之間的一第二撓性絞鏈、及設置於該中央部和該第二撓性絞鏈之間的一第二相對剛性連接部分；該中央部包含一中央支撐塊、耦合於該中央支撐塊的 一第三撓性絞鏈、和耦合於該中央支撐塊的一第四撓性絞鏈；該中央支撐塊包含耦合於對應的該第二支撐部的一第七側、相鄰於該第七側的一第八側、和相對於該第八側的一第九側；對應的該第二支撐部設置於該第七側上；該第三撓性絞鏈設置於該第八側和該第一相對剛性連接部分之間；該第四撓性絞鏈設置於該第九側和該第二相對剛性連接部分之間；該支撐組件更包含一中心軸、與該複數第一支撐部分別對應的複數第一外定位缺口、及該複數第二支撐部分別對應的複數第二外定位缺口；每一該第一外定位缺口的一部分對應地形成在每一該第一支撐部上；每一該第二外定位缺口的一部分對應地形成在每一該第二支撐部上；該中央支撐塊、該第一撓性絞鏈、該第二撓性絞鏈、該第三撓性絞鏈和該第四撓性絞鏈分別具有一第一參考位置、一第二參考位置、一第三參考位置、一第四參考位置和一第五參考位置；該中心軸和該第一參考位置之間具有一第一參考平面，該中心軸和該第二參考位置之間具有一第二參考平面，該中心軸和該第三參考位置之間具有一第三參考平 面，該中心軸和該第四參考位置之間具有一第四參考平面，且該中心軸和該第五參考位置之間具有一第五參考平面；該第一和該第二參考平面之間具有一第一預定角度以使該第一撓性絞鏈鄰近該第一端；該第一和該第三參考平面之間具有一第二預定角度以使該第二撓性絞鏈鄰近該第二端；該第一和該第四參考平面之間具有一第三預定角度以使該第三撓性絞鏈鄰近該第八側；該第一和該第五參考平面之間具有一第四預定角度以使該第四撓性絞鏈鄰近該第九側；以及該支撐組件為一體成形的。
  4. 如請求項2所述的支撐裝置，其中：每一該撓性本體部更包含設置於該第一端和該中央部之間的一第一相對剛性相連部分、及設置於該中央部和該第二端之間的一第二相對剛性相連部分；該中央部包含：一第一端部，耦合於該第一相對剛性相連部分；一第二端部，耦合於該第二相對剛性相連部分；一相對剛性本體部分，設置於該第一和該第二端部之間；以及一撓性單元，設置於該第一和該第二端部之間，位於該相對剛性本體部分之上，形成一撓性板件，並包含一第三端部、和相對於該第三端部的一第四端部，其中該 第三和該第四端部分別耦合於該第一和該第二端部分，且該撓性單元和對應的該第二支撐部組成包含於該支撐樑中的一撓性樑；該撓性單元和該相對剛性本體部分之間具有一空隙；該撓性單元更包含面向該相對剛性本體部分的一第一表面、和相對於該第一表面的一第二表面；對應的該第二支撐部設置於該撓性單元的該第二表面上；該第一和該第二端部分別包含一第一支撐結構和一第二支撐結構；該第一支撐結構和該第三端部之間具有一第一連接關係以使該第一支撐結構支撐該第三端部；該第二支撐結構和該第四端部之間具有對應於該第一連接關係的一第二連接關係以使該第二支撐結構支撐該第四端部；該第一連接關係為複數預定關係的其中之一，該複數預定關係包含一第一預定關係、一第二預定關係和一第三預定關係；該中央部存在分別相關於該第一、該第二和該第三預定關係的一第一狀態、一第二狀態和一第三狀態；在該第一狀態中，該中央部更包含一螺紋件，該螺紋件使該第一支撐結構和該第三端部結合以形成該第一預定關係；在該第二狀態中，該第一支撐結構和該第三端部是一 體成形的以形成該第二預定關係；以及在該第三狀態中，該第一支撐結構包含一第一拘束件和相對於該第一拘束件的一第二拘束件，該第一支撐結構使用該第一和該第二拘束件拘束該第三端部以形成該第三預定關係。
  5. 一種用於支撐一鏡片的支撐方法，包含下列步驟：提供一支撐組件，其中該支撐組件包含一支撐本體、設置於該支撐本體上的複數第一支撐部、和設置於該支撐本體上的複數第二支撐部，其中每一該第一支撐部具有在其上的一第一支撐位置、並用於剛性地支撐該鏡片，且每一該第二支撐部設置於二該第一支撐部之間，具有在其上的一第二支撐位置，並用於撓性地支撐該鏡片；當該支撐組件和該鏡片之間的一配置關係形成一解耦合關係時，使該第二支撐位置的一第二高度高於該第一支撐位置的一第一高度；以及當該配置關係被改變而形成一耦合關係時，使該第一及該第二高度之間的一絕對差值小於一門檻值。
  6. 如請求項5所述的支撐方法，其中：每一該第一支撐部包含具有該第一支撐位置的一第一支撐表面；每一該第二支撐部包含具有該第二支撐位置的一第二支撐表面；由該第一支撐位置所識別的第一複數支撐位置被等間隔地排列以形成一第一極性支撐位置陣列； 該第一複數支撐位置、和由該第二支撐位置所識別的第二複數支撐位置被等間隔地排列以形成一第二極性支撐位置陣列；該支撐組件更包含相關於該支撐本體而分別與該複數第一支撐部相對的複數第三支撐部，其中每一該第三支撐部剛性地支撐該支撐本體，並包含具有一第三支撐位置的一第三支撐表面，且該第一支撐表面相關於該支撐本體而對應地相對於該第三支撐表面；該支撐組件支撐該鏡片以形成該耦合關係；該支撐本體形成一環狀物，並包含複數剛性本體部和複數撓性本體部，其中每一該撓性本體部和每一該第二支撐部組成一支撐樑；該複數第一支撐部分別設置於該複數剛性本體部上，且該複數剛性本體部分別設置於該複數第三支撐部上；每一該剛性本體部包含一第一側、相對於該第一側的一第二側、相鄰於該第一和該第二側的一第三側、及相對於該第三側的一第四側；對應的該第一支撐部設置於該第一側上，且對應的該第三支撐部耦合於該第二側；該複數第二支撐部分別設置於該複數撓性本體部上；每一該撓性本體部包含一中央部、相關於該中央部的一第一端、和相對於該第一端的一第二端；對應的該第二支撐部設置於該中央部上；每一該撓性本體部設置於二該剛性本體部之間，其中 該第一端耦合於二該剛性本體部的其中之一的該第三側，且該第二端耦合於二該剛性本體部的其中之另一的該第四側；以及該支撐方法更包含下列步驟：提供一鎖附環，該鎖附環包含一周邊螺紋結構；提供一套筒，該套筒包含一第五側和相對於該第五側的一第六側，其中：該第五側包含一第一本體和用於耦合於該鏡片的複數第四支撐部，其中該複數第四支撐部分別對應於該複數第一支撐部，且每一該第四支撐部突出自該第一本體的內側部分，並包含具有一第四支撐位置的一第四支撐表面；以及該第六側包含一內螺紋結構；以及當該配置關係形成該耦合關係時：藉由使用該複數第三支撐部而使該支撐組件設置於該鎖附環上；使該鏡片設置於該複數第一支撐部上；藉由使用該複數第四支撐部而使該套筒設置於該鏡片上，其中該第四支撐表面相關於該鏡片而對應地面對該第一支撐表面；以及藉由將該周邊螺紋結構耦合至該內螺紋結構而使該鎖附環耦合至該套筒。
  7. 如請求項6所述的支撐方法，其中：每一該撓性本體部存在一第一狀態和一第二狀態； 在該第一狀態中：每一該撓性本體部更包含設置於該第一端和該中央部之間的一第一撓性絞鏈、設置於該第一撓性絞鏈和該中央部之間的一第一相對剛性連接部分、設置於該中央部和該第二端之間的一第二撓性絞鏈、及設置於該中央部和該第二撓性絞鏈之間的一第二相對剛性連接部分；該中央部包含一中央支撐塊、耦合於該中央支撐塊的一第三撓性絞鏈、和耦合於該中央支撐塊的一第四撓性絞鏈；該中央支撐塊包含耦合於對應的該第二支撐部的一第七側、相鄰於該第七側的一第八側、和相對於該第八側的一第九側；對應的該第二支撐部設置於該第七側上；該第三撓性絞鏈設置於該第八側和該第一相對剛性連接部分之間；該第四撓性絞鏈設置於該第九側和該第二相對剛性連接部分之間；該支撐組件更包含一中心軸、與該複數第一支撐部分別對應的複數第一外定位缺口、及該複數第二支撐部分別對應的複數第二外定位缺口；每一該第一外定位缺口的一部分對應地形成在每一該第一支撐部上；每一該第二外定位缺口的一部分對應地形成在每一該第二支撐部上； 該中央支撐塊、該第一撓性絞鏈、該第二撓性絞鏈、該第三撓性絞鏈和該第四撓性絞鏈分別具有一第一參考位置、一第二參考位置、一第三參考位置、一第四參考位置和一第五參考位置；該中心軸和該第一參考位置之間具有一第一參考平面，該中心軸和該第二參考位置之間具有一第二參考平面，該中心軸和該第三參考位置之間具有一第三參考平面，該中心軸和該第四參考位置之間具有一第四參考平面，且該中心軸和該第五參考位置之間具有一第五參考平面；該第一和該第二參考平面之間具有一第一預定角度以使該第一撓性絞鏈鄰近該第一端；該第一和該第三參考平面之間具有一第二預定角度以使該第二撓性絞鏈鄰近該第二端；該第一和該第四參考平面之間具有一第三預定角度以使該第三撓性絞鏈鄰近該第八側；該第一和該第五參考平面之間具有一第四預定角度以使該第四撓性絞鏈鄰近該第九側；以及該支撐組件為一體成形的；以及在該第二狀態中：每一該撓性本體部更包含設置於該第一端和該中央部之間的一第一相對剛性相連部分、及設置於該中央部和該第二端之間的一第二相對剛性相連部分；該中央部包含： 一第一端部，耦合於該第一相對剛性相連部分；一第二端部，耦合於該第二相對剛性相連部分；一相對剛性本體部分，設置於該第一和該第二端部之間；以及一撓性單元，設置於該第一和該第二端部之間，位於該相對剛性本體部分之上，形成一撓性板件，並包含一第三端部、和相對於該第三端部的一第四端部，其中該第三和該第四端部分別耦合於該第一和該第二端部分，且該撓性單元和對應的該第二支撐部組成包含於該支撐樑中的一撓性樑；該撓性單元和該相對剛性本體部分之間具有一空隙；該撓性單元更包含面向該相對剛性本體部分的一第一表面、和相對於該第一表面的一第二表面；對應的該第二支撐部設置於該撓性單元的該第二表面上；該第一和該第二端部分別包含一第一支撐結構和一第二支撐結構；該第一支撐結構和該第三端部之間具有一第一連接關係以使該第一支撐結構支撐該第三端部；該第二支撐結構和該第四端部之間具有對應於該第一連接關係的一第二連接關係以使該第二支撐結構支撐 該第四端部；該第一連接關係為複數預定關係的其中之一，該複數預定關係包含一第一預定關係、一第二預定關係和一第三預定關係；該中央部存在分別相關於該第一、該第二和該第三預定關係的一第三狀態、一第四狀態和一第五狀態；在該第三狀態中，該中央部更包含一螺紋件，該螺紋件使該第一支撐結構和該第三端部結合以形成該第一預定關係；在該第四狀態中，該第一支撐結構和該第三端部是一體成形的以形成該第二預定關係；以及在該第五狀態中，該第一支撐結構包含一第一拘束件和相對於該第一拘束件的一第二拘束件，該第一支撐結構使用該第一和該第二拘束件拘束該第三端部以形成該第三預定關係。
  8. 一種用於支撐一功能元件的支撐組件，包含：一支撐本體；複數第一支撐部，設置於該支撐本體上，其中每一該第一支撐部具有在其上的一第一支撐位置，並用於剛性地支撐該功能元件；以及複數第二支撐部，設置於該支撐本體上，其中每一該第二支撐部設置於二該第一支撐部之間，具有在其上的一第二支撐位置，並用於撓性地支撐該功能元件，其中：當該支撐組件和該功能元件之間的一配置關係形成一 解耦合關係時，該第二支撐位置的一第二高度高於該第一支撐位置的一第一高度；以及當該配置關係被改變而形成一耦合關係時，該第一及該第二高度之間的一絕對差值小於一門檻值。
  9. 如請求項8所述的支撐組件，其中：該功能元件具有一特定功能，該特定功能是複數預定功能的其中之一；該複數預定功能包含一光使用功能、一力使用功能和一電使用功能；當該特定功能是屬於該光使用功能的一光傳輸功能時，該功能元件是一鏡片；該支撐組件包含於用於支撐該功能元件的一支撐裝置中；每一該第一支撐部包含具有該第一支撐位置的一第一支撐表面；每一該第二支撐部包含具有該第二支撐位置的一第二支撐表面；由該第一支撐位置所識別的第一複數支撐位置被等間隔地排列以形成一第一極性支撐位置陣列；該第一複數支撐位置、和由該第二支撐位置所識別的第二複數支撐位置被等間隔地排列以形成一第二極性支撐位置陣列；該支撐組件更包含相關於該支撐本體而分別與該複數第一支撐部相對的複數第三支撐部，其中每一該第三支撐 部剛性地支撐該支撐本體，並包含具有一第三支撐位置的一第三支撐表面，且該第一支撐表面相關於該支撐本體而對應地相對於該第三支撐表面；該支撐組件支撐該鏡片以形成該耦合關係；該支撐本體形成一環狀物，並包含複數剛性本體部和複數撓性本體部，其中每一該撓性本體部和每一該第二支撐部組成一支撐樑；該複數第一支撐部分別設置於該複數剛性本體部上，且該複數剛性本體部分別設置於該複數第三支撐部上；每一該剛性本體部包含一第一側、相對於該第一側的一第二側、相鄰於該第一和該第二側的一第三側、及相對於該第三側的一第四側；對應的該第一支撐部設置於該第一側上，且對應的該第三支撐部耦合於該第二側；該複數第二支撐部分別設置於該複數撓性本體部上；每一該撓性本體部包含一中央部、相關於該中央部的一第一端、和相對於該第一端的一第二端；對應的該第二支撐部設置於該中央部上；每一該撓性本體部設置於二該剛性本體部之間，其中該第一端耦合於二該剛性本體部的其中之一的該第三側，且該第二端耦合於二該剛性本體部的其中之另一的該第四側；以及該支撐裝置更包含：一鎖附環，包含一周邊螺紋結構，其中當該配置 關係形成該耦合關係時，該支撐組件藉由使用該複數第三支撐部而設置於該鎖附環上；以及一套筒，包含一第五側和相對於該第五側的一第六側，其中：該第五側包含一第一本體和用於耦合於該鏡片的複數第四支撐部，其中該複數第四支撐部分別對應於該複數第一支撐部，且每一該第四支撐部突出自該第一本體的內側部分，並包含具有一第四支撐位置的一第四支撐表面；該第六側包含一內螺紋結構；以及當該配置關係形成該耦合關係時，該鏡片設置於該複數第一支撐部上，該複數第四支撐部設置於該鏡片上，該第四支撐表面相關於該鏡片而對應地面對該第一支撐表面，且該周邊螺紋結構耦合至該內螺紋結構。
  10. 如請求項9所述的支撐組件，其中：每一該撓性本體部存在一第一狀態和一第二狀態；在該第一狀態中：每一該撓性本體部更包含設置於該第一端和該中央部之間的一第一撓性絞鏈、設置於該第一撓性絞鏈和該中央部之間的一第一相對剛性連接部分、設置於該中央部和該第二端之間的一第二撓性絞鏈、及設置於該中央部和該第二撓性絞鏈之間的一第二相對剛性連接部分；該中央部包含一中央支撐塊、耦合於該中央支撐塊的一第三撓性絞鏈、和耦合於該中央支撐塊的一第四撓 性絞鏈；該中央支撐塊包含耦合於對應的該第二支撐部的一第七側、相鄰於該第七側的一第八側、和相對於該第八側的一第九側；對應的該第二支撐部設置於該第七側上；該第三撓性絞鏈設置於該第八側和該第一相對剛性連接部分之間；該第四撓性絞鏈設置於該第九側和該第二相對剛性連接部分之間；該支撐組件更包含一中心軸、與該複數第一支撐部分別對應的複數第一外定位缺口、及該複數第二支撐部分別對應的複數第二外定位缺口；每一該第一外定位缺口的一部分對應地形成在每一該第一支撐部上；每一該第二外定位缺口的一部分對應地形成在每一該第二支撐部上；該中央支撐塊、該第一撓性絞鏈、該第二撓性絞鏈、該第三撓性絞鏈和該第四撓性絞鏈分別具有一第一參考位置、一第二參考位置、一第三參考位置、一第四參考位置和一第五參考位置；該中心軸和該第一參考位置之間具有一第一參考平面，該中心軸和該第二參考位置之間具有一第二參考平面，該中心軸和該第三參考位置之間具有一第三參考平面，該中心軸和該第四參考位置之間具有一第四參考平 面，且該中心軸和該第五參考位置之間具有一第五參考平面；該第一和該第二參考平面之間具有一第一預定角度以使該第一撓性絞鏈鄰近該第一端；該第一和該第三參考平面之間具有一第二預定角度以使該第二撓性絞鏈鄰近該第二端；該第一和該第四參考平面之間具有一第三預定角度以使該第三撓性絞鏈鄰近該第八側；該第一和該第五參考平面之間具有一第四預定角度以使該第四撓性絞鏈鄰近該第九側；以及該支撐組件為一體成形的；以及在該第二狀態中：每一該撓性本體部更包含設置於該第一端和該中央部之間的一第一相對剛性相連部分、及設置於該中央部和該第二端之間的一第二相對剛性相連部分；該中央部包含：一第一端部，耦合於該第一相對剛性相連部分；一第二端部，耦合於該第二相對剛性相連部分；一相對剛性本體部分，設置於該第一和該第二端部之間；以及一撓性單元，設置於該第一和該第二端部之間，位於該相對剛性本體部分之上，形成一撓性板件，並 包含一第三端部、和相對於該第三端部的一第四端部，其中該第三和該第四端部分別耦合於該第一和該第二端部分，且該撓性單元和對應的該第二支撐部組成包含於該支撐樑中的一撓性樑；該撓性單元和該相對剛性本體部分之間具有一空隙；該撓性單元更包含面向該相對剛性本體部分的一第一表面、和相對於該第一表面的一第二表面；對應的該第二支撐部設置於該撓性單元的該第二表面上；該第一和該第二端部分別包含一第一支撐結構和一第二支撐結構；該第一支撐結構和該第三端部之間具有一第一連接關係以使該第一支撐結構支撐該第三端部；該第二支撐結構和該第四端部之間具有對應於該第一連接關係的一第二連接關係以使該第二支撐結構支撐該第四端部；該第一連接關係為複數預定關係的其中之一，該複數預定關係包含一第一預定關係、一第二預定關係和一第三預定關係；該中央部存在分別相關於該第一、該第二和該第三預定關係的一第三狀態、一第四狀態和一第五狀態；在該第三狀態中，該中央部更包含一螺紋件，該螺紋件使該第一支撐結構和該第三端部結合以形成該第一 預定關係；在該第四狀態中，該第一支撐結構和該第三端部是一體成形的以形成該第二預定關係；以及在該第五狀態中，該第一支撐結構包含一第一拘束件和相對於該第一拘束件的一第二拘束件，該第一支撐結構使用該第一和該第二拘束件拘束該第三端部以形成該第三預定關係。
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