JPH11160595A - 光学素子のホルダー - Google Patents
光学素子のホルダーInfo
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- JPH11160595A JPH11160595A JP9325876A JP32587697A JPH11160595A JP H11160595 A JPH11160595 A JP H11160595A JP 9325876 A JP9325876 A JP 9325876A JP 32587697 A JP32587697 A JP 32587697A JP H11160595 A JPH11160595 A JP H11160595A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- optical element
- moving plate
- holder
- plate
- Prior art date
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/003—Alignment of optical elements
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/50—Constructional details
- H04N23/54—Mounting of pick-up tubes, electronic image sensors, deviation or focusing coils
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Studio Devices (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Facsimile Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 できるだけ簡単な構成で６軸調整が可能な光
学素子のホルダーを提供する。 【解決手段】 ベース２０の２対の側壁２４の間に移動
板３０を配置し、光学素子を保持する回転板４０を移動
板３０の内部に回転自在に一体的に保持する。各対の側
壁２４の一方に固定したばね５２，６２で移動板３０を
付勢し、各対の側壁２４の他方に取り付けた調整ねじ５
０，６０により、移動板３０をベース２０に沿ってＸ，
Ｙ方向に位置調整する。コイルばね８２で付勢した回転
板４０を、移動板４０に取り付けた調整ねじ８０によ
り、θ方向に回転調整する。移動板３０および回転板４
０を板ばね７２でベース２０側に一体的に付勢し、回転
板４０に取り付けた４本の調整ねじ７０により、ベース
２０に対する接離方向Ｚの高さおよびＸ，Ｙ軸まわりの
傾きθ１、θ２を調整する。
学素子のホルダーを提供する。 【解決手段】 ベース２０の２対の側壁２４の間に移動
板３０を配置し、光学素子を保持する回転板４０を移動
板３０の内部に回転自在に一体的に保持する。各対の側
壁２４の一方に固定したばね５２，６２で移動板３０を
付勢し、各対の側壁２４の他方に取り付けた調整ねじ５
０，６０により、移動板３０をベース２０に沿ってＸ，
Ｙ方向に位置調整する。コイルばね８２で付勢した回転
板４０を、移動板４０に取り付けた調整ねじ８０によ
り、θ方向に回転調整する。移動板３０および回転板４
０を板ばね７２でベース２０側に一体的に付勢し、回転
板４０に取り付けた４本の調整ねじ７０により、ベース
２０に対する接離方向Ｚの高さおよびＸ，Ｙ軸まわりの
傾きθ１、θ２を調整する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学素子のホルダ
ーに関し、詳しくは、６軸調整が可能な光学素子のホル
ダーに関する。
ーに関し、詳しくは、６軸調整が可能な光学素子のホル
ダーに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＣＣＤや液晶デバイス等の光学素
子について６軸調整が可能なホルダーとして、種々のも
のが提供されている。
子について６軸調整が可能なホルダーとして、種々のも
のが提供されている。
【０００３】たとえば図１に示すホルダーは、Ｘ，Ｙ，
Ｚ，θの各方向にそれぞれ移動するステージ１，２，
３，４を重ね合わせたものであり、残り２方向θ１，θ
２については、ホルダー全体をあおって固定することに
よって調整するようになっている（たとえば、特開平８
−９５０１３号公報）。
Ｚ，θの各方向にそれぞれ移動するステージ１，２，
３，４を重ね合わせたものであり、残り２方向θ１，θ
２については、ホルダー全体をあおって固定することに
よって調整するようになっている（たとえば、特開平８
−９５０１３号公報）。
【０００４】また、図２に示すホルダーは、２本の調整
ねじ６ａ，６ｂの進退によって、てこ部材７ａ，７ｂを
介してステージ８を２方向Ｘ，θに移動できるようにし
て、ステージの数を減らすようになっているが、θ方向
の調整時の回転中心が光学素子の中心からずれているの
で、θ方向の調整後にＸ，Ｙ方向の再調整が必要となる
（たとえば、実公平６−１７１５６号公報）。
ねじ６ａ，６ｂの進退によって、てこ部材７ａ，７ｂを
介してステージ８を２方向Ｘ，θに移動できるようにし
て、ステージの数を減らすようになっているが、θ方向
の調整時の回転中心が光学素子の中心からずれているの
で、θ方向の調整後にＸ，Ｙ方向の再調整が必要となる
（たとえば、実公平６−１７１５６号公報）。
【０００５】いずれにせよ、従来の６軸調整が可能な光
学素子のホルダーは、概して、構成が複雑であり、また
部品点数が多い。
学素子のホルダーは、概して、構成が複雑であり、また
部品点数が多い。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
解決すべき技術的課題は、できるだけ簡単な構成で６軸
調整が可能な光学素子のホルダーを提供することであ
る。
解決すべき技術的課題は、できるだけ簡単な構成で６軸
調整が可能な光学素子のホルダーを提供することであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段および作用・効果】上記の
技術的課題を解決するため、本発明は、以下の構成の光
学素子のホルダーを提供する。
技術的課題を解決するため、本発明は、以下の構成の光
学素子のホルダーを提供する。
【０００８】光学素子のホルダーは、ベースと、移動板
と、回転板とを備える。上記移動板は、上記ベース上に
配置される。上記移動板は、上記ベースに沿って２軸方
向Ｘ，Ｙに移動可能に、かつ、この２軸Ｘ，Ｙのまわり
θ１，θ２に傾きながら上記ベースから接離方向Ｚに移
動可能に、上記ベースに保持される。上記回転板は、上
記接離方向Ｚに延在する回転軸まわりθに回転自在に上
記移動板内に一体的に保持される。上記回転板には、光
学素子が取り付けられる。
と、回転板とを備える。上記移動板は、上記ベース上に
配置される。上記移動板は、上記ベースに沿って２軸方
向Ｘ，Ｙに移動可能に、かつ、この２軸Ｘ，Ｙのまわり
θ１，θ２に傾きながら上記ベースから接離方向Ｚに移
動可能に、上記ベースに保持される。上記回転板は、上
記接離方向Ｚに延在する回転軸まわりθに回転自在に上
記移動板内に一体的に保持される。上記回転板には、光
学素子が取り付けられる。
【０００９】上記構成において、回転板を移動板に対し
て回転軸まわりθに回転すると、光学素子は、ベースに
対して回転軸まわりθに回転する。光学素子を取り付け
た回転板と移動板とは、相対回転するのを除き、一体的
に移動する。移動板および回転板をベースに対してＸ、
Ｙ方向に移動すると、光学素子もベースに対してＸ、Ｙ
方向に移動する。また、移動板および回転板をベースに
対してＺ方向に接離すると、光学素子もベースに対して
Ｚ方向に移動する。移動板および回転板をベースに対し
て２軸Ｘ，Ｙのまわりθ１，θ２に傾けると、光学素子
も２軸Ｘ，Ｙのまわりθ１，θ２に傾く。つまり、Ｘ，
Ｙ，Ｚ，θ，θ１，θ２の６軸について光学素子の調整
が可能である。上記構成のホルダーは、ベースと移動板
と回転板の主要３部材によって構成され、部品点数が少
ない。
て回転軸まわりθに回転すると、光学素子は、ベースに
対して回転軸まわりθに回転する。光学素子を取り付け
た回転板と移動板とは、相対回転するのを除き、一体的
に移動する。移動板および回転板をベースに対してＸ、
Ｙ方向に移動すると、光学素子もベースに対してＸ、Ｙ
方向に移動する。また、移動板および回転板をベースに
対してＺ方向に接離すると、光学素子もベースに対して
Ｚ方向に移動する。移動板および回転板をベースに対し
て２軸Ｘ，Ｙのまわりθ１，θ２に傾けると、光学素子
も２軸Ｘ，Ｙのまわりθ１，θ２に傾く。つまり、Ｘ，
Ｙ，Ｚ，θ，θ１，θ２の６軸について光学素子の調整
が可能である。上記構成のホルダーは、ベースと移動板
と回転板の主要３部材によって構成され、部品点数が少
ない。
【００１０】したがって、簡単な構成で光学素子を６軸
調整が可能である。
調整が可能である。
【００１１】上記構成において、移動板に対する回転板
の回転中心に光学素子の中心が一致するように光学素子
を回転板に取り付ければ、Ｘ，Ｙ方向について光学素子
の中心位置を調整した後にθ方向に回転しても光学素子
の中心位置はずれないので、調整が容易である。また、
回転板に取り付けた光学素子に対向してベースに透孔を
形成すれば、ホルダーに関してベース側に光学系があっ
ても、その光学系と光学素子との間の光路をベースが遮
らないようにすることができる。逆に、ホルダーに関し
て回転板側の光学系に光学素子がある場合には、たとえ
ば光学素子の配線をベースの透孔に通すことができる。
の回転中心に光学素子の中心が一致するように光学素子
を回転板に取り付ければ、Ｘ，Ｙ方向について光学素子
の中心位置を調整した後にθ方向に回転しても光学素子
の中心位置はずれないので、調整が容易である。また、
回転板に取り付けた光学素子に対向してベースに透孔を
形成すれば、ホルダーに関してベース側に光学系があっ
ても、その光学系と光学素子との間の光路をベースが遮
らないようにすることができる。逆に、ホルダーに関し
て回転板側の光学系に光学素子がある場合には、たとえ
ば光学素子の配線をベースの透孔に通すことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下に、図３〜図１０に示した本
発明の各実施形態に係る光学素子のホルダー１０につい
て詳細に説明する。
発明の各実施形態に係る光学素子のホルダー１０につい
て詳細に説明する。
【００１３】このホルダー１０は、図３〜図７の斜視図
および図８の平面図に示すように、大略、ベース２０
と、ベース２０上に配置された移動板３０と、移動板３
０の内部に配置された回転板４０と、押え板７６とを備
える。
および図８の平面図に示すように、大略、ベース２０
と、ベース２０上に配置された移動板３０と、移動板３
０の内部に配置された回転板４０と、押え板７６とを備
える。
【００１４】ベース２０は、図４に示すように、大略、
矩形板の四隅が階段状に折り曲げられたような形状であ
り、大略矩形の底壁２２と、底壁２２の四隅に立設され
互いに対向する２対の側壁２４と、各側壁２４の上部か
ら外側に延在する上壁２６とを有する。底壁２２の中央
には透孔２３が形成されている。詳しくは後述するが、
各対の側壁２４の一方には、調整ねじ５０，６０用のね
じ穴２５ａが形成され、他方には、板ばね５２，６２を
固定するためのねじ穴２５ｂが形成されている。上壁２
６には、押え板７６を固定するためのねじ穴２７が形成
されている。
矩形板の四隅が階段状に折り曲げられたような形状であ
り、大略矩形の底壁２２と、底壁２２の四隅に立設され
互いに対向する２対の側壁２４と、各側壁２４の上部か
ら外側に延在する上壁２６とを有する。底壁２２の中央
には透孔２３が形成されている。詳しくは後述するが、
各対の側壁２４の一方には、調整ねじ５０，６０用のね
じ穴２５ａが形成され、他方には、板ばね５２，６２を
固定するためのねじ穴２５ｂが形成されている。上壁２
６には、押え板７６を固定するためのねじ穴２７が形成
されている。
【００１５】移動板３０は、図５に示すように、大略八
角形の本体部３２と、本体部３２の一辺から突出した突
出部３６とを有し、図３および図８に示すように、本体
部３２がベース２０の底壁２２の上に配置され、本体部
３２の側面がベース２０の側壁２４に大略平行に対向す
るようになっている。本体部３２の内部には、大略円形
の案内穴３３が形成されている。また、突出部３６の内
側には、案内穴３３から径方向外側に連続する溝穴３７
が形成されている。突出部３６の外周壁には、径方向に
延在し溝穴３７まで貫通するねじ穴３８が形成されてい
る。本体部３２の上面には、案内穴３３より径方向内側
に突出する係止片３４が設けられている。また、本体部
３２の上面には、板ばね７２を収納するための有底溝３
５が設けられている。
角形の本体部３２と、本体部３２の一辺から突出した突
出部３６とを有し、図３および図８に示すように、本体
部３２がベース２０の底壁２２の上に配置され、本体部
３２の側面がベース２０の側壁２４に大略平行に対向す
るようになっている。本体部３２の内部には、大略円形
の案内穴３３が形成されている。また、突出部３６の内
側には、案内穴３３から径方向外側に連続する溝穴３７
が形成されている。突出部３６の外周壁には、径方向に
延在し溝穴３７まで貫通するねじ穴３８が形成されてい
る。本体部３２の上面には、案内穴３３より径方向内側
に突出する係止片３４が設けられている。また、本体部
３２の上面には、板ばね７２を収納するための有底溝３
５が設けられている。
【００１６】回転板４０は、図６に示すように、大略円
形の本体部４２と、本体部４２から径方向に突出した突
出部４６とを有し、図３および図８に示すように、本体
部４２が移動板３０の案内穴３３に摺接し、突出部４６
が移動板３０の溝穴３７に遊嵌するようになっている。
本体部４２の内部には、光学素子、たとえば、ＤＭＤ
（デジタルミラーデバイス）や液晶パネルを取り付ける
ための光学素子取付穴４４が形成されている。光学素子
取付穴４４は、断面凸状に２段に形成されている。本体
部４２の周囲には、厚さ方向に貫通する４つのねじ穴４
３が形成されている。突出部４６は、その一つの角が面
取りされ、面取り部４７が形成されている。
形の本体部４２と、本体部４２から径方向に突出した突
出部４６とを有し、図３および図８に示すように、本体
部４２が移動板３０の案内穴３３に摺接し、突出部４６
が移動板３０の溝穴３７に遊嵌するようになっている。
本体部４２の内部には、光学素子、たとえば、ＤＭＤ
（デジタルミラーデバイス）や液晶パネルを取り付ける
ための光学素子取付穴４４が形成されている。光学素子
取付穴４４は、断面凸状に２段に形成されている。本体
部４２の周囲には、厚さ方向に貫通する４つのねじ穴４
３が形成されている。突出部４６は、その一つの角が面
取りされ、面取り部４７が形成されている。
【００１７】押え板７６は、図７に示すように、大略三
角形の形状であり、貫通穴７７を有する。
角形の形状であり、貫通穴７７を有する。
【００１８】このホルダー１０は、図８に示すように組
み立てられる。
み立てられる。
【００１９】すなわち、ベース２０の各一対の側壁２４
の一方のねじ穴２５ａには調整ねじ５０，６０が内側に
向けてそれぞれ取り付けられ、調整ねじ５０，６０の先
端が移動板３０の側面に当接するようになっている。ベ
ース２０の各一対の側壁２４の他方には、それぞれのね
じ穴２５ｂを利用して板ばね５２，６２が固定され、板
ばね５２，６２が移動板３０の側面に当接して移動板３
０を他方の側壁２４側、つまり調整ねじ５０，６０側に
付勢するようになっている。したがって、調整ねじ５
０，６０を回転して軸方向に進退させることによって、
光学素子をベース２０に沿ってＸ，Ｙ方向に移動させる
ことができる。
の一方のねじ穴２５ａには調整ねじ５０，６０が内側に
向けてそれぞれ取り付けられ、調整ねじ５０，６０の先
端が移動板３０の側面に当接するようになっている。ベ
ース２０の各一対の側壁２４の他方には、それぞれのね
じ穴２５ｂを利用して板ばね５２，６２が固定され、板
ばね５２，６２が移動板３０の側面に当接して移動板３
０を他方の側壁２４側、つまり調整ねじ５０，６０側に
付勢するようになっている。したがって、調整ねじ５
０，６０を回転して軸方向に進退させることによって、
光学素子をベース２０に沿ってＸ，Ｙ方向に移動させる
ことができる。
【００２０】移動板３０の溝穴３７には、回転板４０の
突出部４６の面取り部４７とは反対側にコイルばね８２
が配置されていて、移動板３０に対して回転板４０を面
取り部４７側に付勢するようになっている。移動板３０
の突出部３６のねじ穴３８には調整ねじ８０が取り付け
られ、調整ねじ８０の先端が回転板４０の突出部４６の
面取り部４７に当接し、コイルばね８２の付勢力に抗し
て、回転板４０を移動板３０の案内穴３３に沿って回転
することができるようになっている。
突出部４６の面取り部４７とは反対側にコイルばね８２
が配置されていて、移動板３０に対して回転板４０を面
取り部４７側に付勢するようになっている。移動板３０
の突出部３６のねじ穴３８には調整ねじ８０が取り付け
られ、調整ねじ８０の先端が回転板４０の突出部４６の
面取り部４７に当接し、コイルばね８２の付勢力に抗し
て、回転板４０を移動板３０の案内穴３３に沿って回転
することができるようになっている。
【００２１】移動板３０の有底溝３５内には、図９およ
び図１０の断面図に示すように、大略Ｗ字状の板ばね７
２が挿入され、ベース２０の上壁２６にねじ７８で固定
した押え板７６で押さえられ、移動板３０をベース２０
の底壁２２側に付勢するようになっている。移動板３０
の本体部３２の係止片３４は回転板４０の本体部４２の
上面に当接するので、回転板４０はベース２０の底壁２
２側に付勢される。一方、回転板４０の本体部４２のね
じ穴４３には、図９に示すように、上面から調整ねじ７
０が取り付けられ、その先端がベース２０の底壁２２に
当接するようになっている。したがって、４つの調整ね
じ７０を回転して軸方向の進退させることによって、回
転板４０をベース２０に対して接離方向Ｚに移動させる
ことができる。また、各調整ねじ７０の突出量をそれぞ
れ適宜変えることによって、移動板３０をベース２０に
対してＸ，Ｙ軸まわりに、すなわちθ１、θ２方向に傾
けることができる。
び図１０の断面図に示すように、大略Ｗ字状の板ばね７
２が挿入され、ベース２０の上壁２６にねじ７８で固定
した押え板７６で押さえられ、移動板３０をベース２０
の底壁２２側に付勢するようになっている。移動板３０
の本体部３２の係止片３４は回転板４０の本体部４２の
上面に当接するので、回転板４０はベース２０の底壁２
２側に付勢される。一方、回転板４０の本体部４２のね
じ穴４３には、図９に示すように、上面から調整ねじ７
０が取り付けられ、その先端がベース２０の底壁２２に
当接するようになっている。したがって、４つの調整ね
じ７０を回転して軸方向の進退させることによって、回
転板４０をベース２０に対して接離方向Ｚに移動させる
ことができる。また、各調整ねじ７０の突出量をそれぞ
れ適宜変えることによって、移動板３０をベース２０に
対してＸ，Ｙ軸まわりに、すなわちθ１、θ２方向に傾
けることができる。
【００２２】以上説明したように、ホルダー１０は、調
整ねじ５０，６０，７０，８０を回転することによっ
て、光学素子の位置をＸ，Ｙ，Ｚ，θ，θ１，θ２の６
軸について調整することができる。ホルダー１０は、ベ
ース２０と移動板３０と回転板４０の主要３部材からな
り、その構成は簡単であり、従来のホルダーに比べて小
型化が容易である。
整ねじ５０，６０，７０，８０を回転することによっ
て、光学素子の位置をＸ，Ｙ，Ｚ，θ，θ１，θ２の６
軸について調整することができる。ホルダー１０は、ベ
ース２０と移動板３０と回転板４０の主要３部材からな
り、その構成は簡単であり、従来のホルダーに比べて小
型化が容易である。
【００２３】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく、その他種々の態様で実施可能である。
ものではなく、その他種々の態様で実施可能である。
【図１】 従来例のホルダーの分解斜視図である。
【図２】 従来例の他のホルダーの平面図である。
【図３】 本発明の一実施形態のホルダーの組立斜視図
である。
である。
【図４】 図３のホルダーのベースの斜視図である。
【図５】 図３のホルダーの移動板の斜視図である。
【図６】 図３のホルダーの回転板の斜視図である。
【図７】 図３のホルダーの押え板の斜視図である。
【図８】 図３のホルダーの組立平面図である。
【図９】 図８の略IX−IX線に沿って切断した要部拡大
断面図である。
断面図である。
【図１０】 図９の略X−X線に沿って切断した要部拡大
断面図である。
断面図である。
１０ ホルダー ２０ ベース ２２ 底壁 ２３ 透孔 ２４ 側壁 ２５ａ，２５ｂ ねじ穴 ２６ 上壁 ２７ ねじ穴 ３０ 移動板 ３２ 本体部 ３３ 案内穴 ３４ 係止片 ３５ 有底溝 ３６ 突出部 ３７ 溝穴 ３８ ねじ穴 ４０ 回転板 ４２ 本体部 ４３ ねじ穴 ４４ 光学素子取付穴 ４６ 突出部 ４７ 面取り部 ５０ 調整ねじ ５２ 板ばね ６０ 調整ねじ ６２ 板ばね ７０ 調整ねじ ７２ 板ばね ７６ 押え板 ７７ 貫通穴 ７８ ねじ ８０ 調整ねじ ８２ コイルばね
Claims (1)
- 【請求項１】 ベースと、 上記ベース上に配置され、上記ベースに沿って２軸方向
Ｘ，Ｙに移動可能に、かつ、該２軸Ｘ，Ｙのまわりθ
１，θ２に傾きながら上記ベースから接離方向Ｚに移動
可能に、上記ベースに保持された移動板と、 上記接離方向Ｚに延在する回転軸まわりθに回転自在に
上記移動板内に一体的に保持され、光学素子が取り付け
られる回転板とを備えたことをことを特徴とする、光学
素子のホルダー。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9325876A JPH11160595A (ja) | 1997-11-27 | 1997-11-27 | 光学素子のホルダー |
| US09/197,618 US6115166A (en) | 1997-11-27 | 1998-11-23 | Optical element holder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9325876A JPH11160595A (ja) | 1997-11-27 | 1997-11-27 | 光学素子のホルダー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11160595A true JPH11160595A (ja) | 1999-06-18 |
Family
ID=18181610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9325876A Pending JPH11160595A (ja) | 1997-11-27 | 1997-11-27 | 光学素子のホルダー |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6115166A (ja) |
| JP (1) | JPH11160595A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101537949B1 (ko) * | 2008-12-24 | 2015-07-20 | 삼성전자주식회사 | 촬상 장치 |
| JP2018025803A (ja) * | 2011-12-02 | 2018-02-15 | ジョンソン コントロールズ オートモーティブ エレクトロニクス エスエイエス | 位置決め固定装置とこれを含む表示装置 |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001126821A (ja) * | 1999-10-27 | 2001-05-11 | Sumitomo Wiring Syst Ltd | コネクタの取付構造 |
| US6571041B2 (en) * | 2001-08-02 | 2003-05-27 | Corning Incorporated | Method and apparatus for positioning optical elements |
| US20050073757A1 (en) * | 2002-03-18 | 2005-04-07 | Ian Turner | Optical element mounting technique |
| US6842277B2 (en) * | 2002-07-23 | 2005-01-11 | Nikon Corporation | Deformable mirror with high-bandwidth servo for rigid body control |
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