CN109725496B - Ccd相机调整固定装置及其调整固定方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种CCD相机调整固定装置及其固定调整方法，所述CCD相机调整固定装置用于调整、固定CCD相机和载体之间的位置，所述CCD相机调整固定装置包括转接镜筒、固定板、若干固定螺钉和若干锁紧螺钉，所述CCD相机和转接镜筒固定连接，所述转接镜筒通过所述固定螺钉固定在所述固定板上，所述固定板通过所述锁紧螺钉固定在所述载体上，所述固定板上具有若干腰形孔用于调整CCD相机与载体之间的角度。CCD相机在载体上连接稳定，避免了CCD相机不稳定而获取分辨率低的图像，影响对准系统的精确性。所述CCD相机调整固定装置的固定调整方法操作简单，方便快捷，节约了动作时间，提高了生产效率。

Description

CCD相机调整固定装置及其调整固定方法

技术领域

本发明涉及光刻机领域，特别涉及CCD相机调整固定装置及其调整固定方法。

背景技术

对准系统是光刻机系统中一个非常重要的核心分系统，对准精度往往决定了光刻机所能达到的精度。机器视觉系统(MVS，Machine Vision System)作为一种对准传感器，广泛应用于光刻领域。机器视觉系统通常用于把掩模上的标记和硅片上的标记进行对准。CCD相机是机器视觉系统中的核心部件，用于采集图像信号、传输信号。CCD相机通过获取一定分辨率的图像，控制计算机通过标定板及运动平台完成机器视觉系统的标定，再通过模板匹配定位，实现对被测物的定位。因此CCD相机固定的稳定性直接影响机器视觉系统的定位精度。

现有CCD相机调整固定装置采用旋转螺纹调整、锁紧环固定的方式。如图1所示，CCD相机801通过螺纹安装到CCD座803上，其调整方式为通过直接旋转CCD相机801和CCD座803之间的连接螺纹，旋转到一定角度后再将锁紧环802旋转到CCD相机801的端面上，进而将CCD相机801固定在CCD座803上，再通过CCD座803安装到载体上。由于CCD相机801的固定仅靠锁紧环802的螺纹预紧力，并无其他防松结构，故在一定的振动环境下，锁紧环802会松动，进而造成CCD相机801的不稳定，CCD相机获取的图像分辨率低，影响对准系统的精确性。另一方面CCD座803采用金属材料加工，CCD相机801产生的热量通过CCD座803直接传递到载体，影响载体的性能。

发明内容

本发明提供了一种CCD相机调整固定装置，用以解决现有的CCD相机调整固定装置固定不牢固的问题。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：

一种CCD相机调整固定装置，用于调整、固定CCD相机和载体之间的位置，所述CCD相机调整固定装置包括转接镜筒、固定板、若干固定螺钉和若干锁紧螺钉，所述CCD相机和转接镜筒固定连接，所述转接镜筒通过所述固定螺钉固定在所述固定板上，所述固定板通过所述锁紧螺钉固定在所述载体上，所述固定板上具有若干腰形孔用于调整CCD相机与载体之间的角度。所述CCD相机连接在所述转接镜筒上，所述转接镜筒通过固定螺钉固定在通过锁紧螺钉固定在载体上的固定板上，所述CCD相机通过螺钉固定方式固定在所述载体上，当载体有振动时，螺钉固定的方式较稳定不易产生松动，CCD相机在载体上连接稳定，避免了CCD相机不稳定而获取分辨率低的图像，影响对准系统的精确性。进行调整时，松开所述固定螺钉或同时所述固定螺钉和锁紧螺钉，整体旋转所述转接镜筒和CCD相机至需要的位置，然后拧紧松开的螺钉完成所述CCD相机10的调整。

作为优选，所述CCD相机和转接镜筒采用螺纹连接，所述CCD相机上设置有C-Mount接口。

作为优选，所述固定板包括转接所述转接镜筒的转接部和环绕所述转接部设置的固定部；所述转接部上设有与所述固定螺钉数量对应的固定螺钉过孔，所述固定螺钉过孔呈圆周分布，所述转接镜筒设置在所述转接部一侧，所述固定螺钉从所述转接部的另一侧穿过所述固定螺钉过孔连接所述转接镜筒；所述固定部上设有与所述锁紧螺钉数量对应的锁紧螺钉过孔，所述锁紧螺钉过孔呈圆周分布，所述锁紧螺钉从所述固定螺钉的对侧穿过所述锁紧螺钉过孔连接所述载体。

作为优选，所述锁紧螺钉过孔为腰形孔。

作为优选，所述转接镜筒上设有与所述固定螺钉配合的固定螺钉固定孔，所述固定螺钉固定孔数量为所述固定螺钉过孔数量的N倍，其中N为大于等于1的整数。

作为优选，所述锁紧螺钉过孔设有三个，单个所述锁紧螺钉过孔的角度范围为0度～100度。

作为优选，所述锁紧螺钉过孔设有四个，单个所述锁紧螺钉过孔的角度范围为0度～80度。

作为优选，所述固定螺钉过孔为腰形孔。

作为优选，所述载体上设有与所述锁紧螺钉配合的锁紧螺钉固定孔，所述锁紧螺钉固定孔数量为所述锁紧螺钉过孔数量的N倍，其中N为大于等于1的整数。

作为优选，所述固定螺钉过孔设有三个，单个所述固定螺钉过孔的角度范围为0度～100度。

作为优选，所述固定螺钉过孔设有四个，单个所述固定螺钉过孔的角度范围为0度～80度。

作为优选，所述转接镜筒包括大端和小端，所述小端的尾部连接所述大端的头部，所述大端的外径大于所述小端的外径，所述小端的外表面设有螺纹，所述CCD相机与小端螺纹连接并抵住所述大端，所述大端连接所述转接部。

作为优选，所述转接部的一侧设有第一沉孔，另一侧设有凸台，所述凸台上设有第二沉孔，所述第一沉孔和第二沉孔的位置相对应，所述大端设置在所述第一沉孔内，所述固定螺钉设置在所述第二沉孔内穿过所述固定板连接所述转接镜筒，所述固定螺钉的头部位于所述第二沉孔内。所述第一沉孔的设置便于所述大端定位，同样的，在固定板与载体固定时，所述凸台的设置便于所述固定板的定位。

作为优选，还包括垫板，所述垫板设置在所述固定螺钉和固定板之间。

作为优选，还包括加强板，所述加强板设置在所述锁紧螺钉和固定板之间。

作为优选，所述固定板采用隔热材料制备，如聚甲醛等。

作为优选，所述固定螺钉和锁紧螺钉均采用防松螺钉，选用内六角螺钉和外六角螺钉。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：一种CCD相机调整固定装置，用于调整、固定CCD相机和载体之间的位置，所述CCD相机调整固定装置包括转接镜筒、固定板、若干固定螺钉和若干锁紧螺钉，所述CCD相机和转接镜筒固定连接，所述转接镜筒通过所述固定螺钉固定在所述固定板上，所述固定板通过所述锁紧螺钉固定在所述载体上，所述固定板上具有若干腰形孔用于调整CCD相机与载体之间的角度，当载体有振动时，CCD相机在载体上连接稳定，避免了CCD相机获取的图像分辨率低，影响对准系统的精确性。另外，所述固定板采用隔热材料制备，将CCD相机工作产生的热量隔断，防止热量传导至载体上，保证了载体性能的稳定。

本发明还公开了上述CCD相机调整固定装置的固定调整方法，包括如下步骤：

CCD相机和转接镜筒螺纹连接，整体调节CCD相机和转接镜筒，直至CCD相机位于需要的位置，接着，通过固定螺钉将转接镜筒固定在固定板，接着，通过锁紧螺钉将固定板固定在载体上。

作为优选，所述固定板包括转接所述转接镜筒的转接部和环绕所述转接部设置的固定部，所述转接部上设有与所述固定螺钉数量对应的固定螺钉过孔，所述固定螺钉过孔呈圆周分布，所述转接镜筒设置在所述转接部一侧，所述固定螺钉从所述转接部的另一侧穿过所述固定螺钉过孔连接所述转接镜筒，所述固定部上设有与所述锁紧螺钉数量对应的锁紧螺钉过孔，若干所述锁紧螺钉过孔呈圆周分布，所述锁紧螺钉从所述固定螺钉的对侧穿过所述锁紧螺钉过孔连接所述载体。

作为优选，设置所述锁紧螺钉过孔为腰形孔时，调整CCD相机，松开所述锁紧螺钉，此时固定板相对载体可以转动，不需要拆除所述锁紧螺钉即可旋转所述固定板而调整CCD相机至需要的位置，接着拧紧所述锁紧螺钉完成CCD相机调整。

作为优选，设置所述固定螺钉过孔为腰形孔时，调整CCD相机，松开所述锁紧螺钉从所述载体上拆除所述固定板，接着，松开所述固定螺钉，此时所述转接镜筒相对所述固定板可以转动，不需要拆除所述固定螺钉即可旋转所述转接镜筒来调整CCD相机至需要的位置，接着，拧紧固定螺钉将所述转接镜筒固定在固定板上，接着，拧紧锁紧螺钉将固定板固定在载体上。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：本发明所述CCD相机调整固定装置的固定调整方法操作简单，方便快捷。

附图说明

图1是现有技术中CCD相机调整固定装置的结构示意图；

图2是本发明实施例一的CCD相机调整固定装置的结构示意图；

图3是本发明实施例一的CCD相机调整固定装置的剖视图；

图4是本发明实施例一的固定板的剖视图；

图5～图6是本发明实施例一的固定板的结构示意图；

图7～图8是本发明实施例二的固定板的结构示意图；

图9是本发明实施例三的固定板的结构示意图；

图10是本发明实施例四的固定板的结构示意图；

图11是本发明实施例一的转接镜筒的结构示意图。

图1中所示：801-CCD相机、802-锁紧环、803-CCD座；

图2～11中所示：10-CCD相机、20-载体、22-固定螺钉固定孔、31-转接镜筒、311-大端、312-小端、32-固定板、321-第一沉孔、322-凸台、323-第二沉孔、33-固定螺钉、331-固定螺钉过孔、34-锁紧螺钉、341-锁紧螺钉过孔、35-垫板、36-加强板。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。需说明的是，本发明附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

实施例一

请参见图2和图3，一种CCD相机调整固定装置，用于调整、固定CCD相机10和载体20之间的位置，所述CCD相机调整固定装置包括转接镜筒31、固定板32、若干固定螺钉33和若干锁紧螺钉34，所述CCD相机10和转接镜筒31固定连接(例如采用螺纹连接)，所述CCD相机10上设置有C-Mount接口，其它接口的CCD相机也适用，所述固定螺钉33将所述转接镜筒31固定在所述固定板32上，所述锁紧螺钉34将所述固定板32固定在载体20上。所述CCD相机10连接在所述转接镜筒31上，所述转接镜筒31通过固定螺钉33固定在固定板32上，而固定板32通过锁紧螺钉34固定在载体20上，间接保证了所述CCD相机10和所述载体20相对位置不会松动，当载体20有振动时，螺钉固定的方式较稳定不易产生松动，CCD相机10在载体20上连接稳定，避免了CCD相机10不稳定而获取分辨率低的图像，影响对准系统的精确性。进行调整时，松开所述锁紧螺钉34或同时松开所述锁紧螺钉34和固定螺钉33，整体旋转所述转接镜筒31和CCD相机10至需要的位置，然后拧紧松开的螺钉完成所述CCD相机10的调整。

请参见图4，所述固定板32包括转接所述转接镜筒31的转接部和环绕所述转接部设置的固定部；所述转接部上设有与所述固定螺钉33数量对应的固定螺钉过孔331，所述固定螺钉过孔331呈圆周分布，所述转接镜筒31设置在所述转接部一侧，所述固定螺钉33从所述转接部的另一侧穿过所述固定螺钉过孔331连接所述转接镜筒31将所述转接镜筒31固定在所述固定板32上，所述固定螺钉33通过穿入所述转接镜筒31上的固定螺钉固定孔22与所述转接镜筒31固定，所述固定螺钉固定孔22的数量为所述固定螺钉过孔331的数量的N倍，N为大于等于1的整数；所述固定部上设有与所述锁紧螺钉34数量对应的锁紧螺钉过孔341，若干所述锁紧螺钉过孔341呈圆周分布，所述锁紧螺钉34从所述固定螺钉33的对侧穿过所述锁紧螺钉过孔341连接所述载体20将所述固定板32固定在所述载体上。

请参见图11，所述转接镜筒31包括大端311和小端312，所述小端312的尾部连接所述大端311的头部，所述大端311的外径大于所述小端312的外径，所述大端311和小端312形成一个台阶，所述小端311的外表面设有螺纹，所述CCD相机10与小端312螺纹连接并抵住所述大端311，所述大端311连接所述转接部，所述大端311和小端312的设置避免了转接镜筒31左右移动。

请参见图4，所述转接部的一侧设有第一沉孔321，另一侧设有凸台322，所述凸台322上设有第二沉孔323，所述第一沉孔321和第二沉孔323的位置相对应，所述大端311设置在所述第一沉孔321内，所述固定螺钉33设置在所述第二沉孔323内穿过所述固定板32连接所述转接镜筒31，所述固定螺钉33的头部位于所述第二沉孔323内。所述第一沉孔321的设置便于所述大端311定位，同样的，在固定板32与载体20固定时，所述凸台322的设置便于所述固定板32的定位。

请参见图3，所述CCD相机调整固定装置还包括垫板35，所述垫板35设置在所述固定螺钉33和固定板32之间，所述固定螺钉33的头部与固定板32之间设置所述垫板35，所述垫板35承受所述固定螺钉33拧紧的预紧力，避免对固定板32造成破坏。

请参见图3，所述CCD相机调整固定装置还包括加强板36，所述加强板36设置在所述锁紧螺钉34和固定板32之间，所述锁紧螺钉34的头部与固定板32之间设置所述加强板36，所述加强板36承受所述锁紧螺钉34拧紧的预紧力，避免对固定板32造成伤害。

所述固定板32采用隔热材料制备，如聚甲醛等，用于将CCD相机10工作产生的热量隔断，防止热量传导到载体上，影响对准系统指标。

所述固定螺钉33和锁紧螺钉34均采用防松螺钉，选用内六角螺钉或外六角螺钉，增加整个结构的稳定性。

请参见图5～图6，设置所述锁紧螺钉过孔341为腰形孔。需要调整CCD相机10时，部分松开所述锁紧螺钉34，此时固定板32相对载体20可以转动，不需要拆除所述锁紧螺钉34即可旋转所述固定板32而调整CCD相机10至需要的位置，接着拧紧所述锁紧螺钉34完成CCD相机10调整。所述锁紧螺钉过孔341至少为两个，当锁紧螺钉过孔341为两个，对应的锁紧螺钉34为两个，固定不稳定，请参见图5和图6，所述锁紧螺钉过孔341设有三个时，单个所述锁紧螺钉过孔341的角度范围为0度～100度，对应的，锁紧螺钉34为三个，三个锁紧螺钉34固定较稳定。

实施例二

实施例二与实施例一的区别在于，所述锁紧螺钉过孔341为四个及以上。请参见图7和图8，当锁紧螺钉过孔341为四个及以上时，对应的，锁紧螺钉34为四个及以上，固定稳定但是单个所述锁紧螺钉过孔341的角度范围小，设置四个时，单个所述锁紧螺钉过孔341的角度范围为0度～80度，锁紧螺钉过孔341个数越多角度范围越小，因此优选所述锁紧螺钉过孔341为三个。

实施例三

请参见图9，实施例三与实施例一的区别在于，所述固定螺钉过孔331为腰形孔，所述锁紧螺钉34通过穿入所述载体20上的锁紧螺钉固定孔(未图示)与所述载体20固定，所述锁紧螺钉固定孔的数量为所述锁紧螺钉过孔341的数量的N倍，其中N为大于等于1的整数，使载体20与固定板32之间的相对角度能够调节进而调节CCD相机10与载体20间的角度，需要调整CCD相机10时，松开所述锁紧螺钉34从所述载体20上拆除所述固定板32，接着，松开所述固定螺钉33，此时所述转接镜筒31相对所述固定板32可以转动，不需要拆除所述固定螺钉33即可旋转所述转接镜筒31来调整CCD相机10至需要的位置，接着，拧紧固定螺钉33将所述转接镜筒31固定在固定板32上，接着，拧紧锁紧螺钉34将固定板32固定在载体20上。如上所述，所述固定螺钉过孔331设有三个，单个所述固定螺钉过孔331的角度范围为0度～100度。

实施例四

实施例四与实施例三的区别在于，所述固定螺钉过孔331为四个及以上，请参见图10，当固定螺钉过孔331为四个及以上时，对应的，固定螺钉33为四个及以上，固定稳定但是单个所述固定螺钉过孔33的角度范围小，请参见图10，设置四个时，单个所述固定螺钉过孔331的角度范围为0度～80度，固定螺钉过孔331个数越多角度范围越小，因此优选所述固定螺钉过孔331为三个。

所述CCD相机调整固定装置的固定调整方法，包括如下步骤：CCD相机10和转接镜筒31螺纹连接，整体调节CCD相机10和转接镜筒31，直至CCD相机10位于需要的位置，接着，通过固定螺钉33将转接镜筒31固定在固定板32，接着，通过锁紧螺钉34将固定板32固定在载体20上，当载体20有振动时，螺钉固定的方式较稳定不易产生松动，CCD相机10在载体20上连接稳定，避免了CCD相机10获取的图像分辨率低，影响对准系统的精确性。

所述固定板32包括转接所述转接镜筒31的转接部和环绕所述转接部设置的固定部，所述转接部上设有固定螺钉过孔331，所述固定螺钉过孔331呈圆圈分布，所述转接镜筒31设置在所述转接部一侧，所述固定螺钉33从所述转接部的另一侧穿过所述固定螺钉过孔331连接所述转接镜筒31将所述转接镜筒31固定在所述固定板32上，所述固定部上设有与所述锁紧螺钉34数量对应的锁紧螺钉过孔341，若干所述锁紧螺钉过孔341呈圆圈分布，所述锁紧螺钉34从所述固定螺钉33的对侧穿过所述锁紧螺钉过孔341连接所述载体20将所述固定板32固定在所述载体20上。

设置所述锁紧螺钉过孔341为腰形孔时，调整CCD相机10，松开所述锁紧螺钉34，此时固定板32相对载体可以转动，不需要拆除所述锁紧螺钉34即可旋转所述固定板32而调整CCD相机10至需要的位置，接着拧紧所述锁紧螺钉34完成CCD相机10调整。

设置所述固定螺钉过孔331为腰形孔时，调整CCD相机10，松开所述锁紧螺钉34从所述载体上拆除所述固定板32，接着，松开所述固定螺钉33，此时所述转接镜筒31相对所述固定板32可以转动，不需要拆除所述固定螺钉33即可旋转所述转接镜筒31来调整CCD相机10至需要的位置，接着，拧紧固定螺钉33将所述转接镜筒31固定在固定板32上，接着，拧紧锁紧螺钉34将固定板32固定在载体20上。

所述转接镜筒31通过固定螺钉33固定在固定板32上，而固定板32通过锁紧螺钉34固定在载体20上，间接保证了所述CCD相机10和所述载体20相对位置不会松动，当载体20有振动时，螺钉固定的方式较稳定不易产生松动，CCD相机10在载体上连接稳定，避免了CCD相机10获取的图像分辨率低，影响对准系统的精确性。并且本发明所述CCD相机固定及调整装置的固定调整方法操作简单，方便快捷，节约了动作时间，提高了生产效率。

本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包括这些改动和变型在内。

Claims (20)

1.一种CCD相机调整固定装置，用于调整、固定CCD相机和载体之间的位置，其特征在于，所述CCD相机调整固定装置包括转接镜筒、固定板、若干固定螺钉和若干锁紧螺钉，所述CCD相机和转接镜筒固定连接，所述转接镜筒通过所述固定螺钉固定在所述固定板上，所述固定板通过所述锁紧螺钉固定在所述载体上，所述固定板上具有若干腰形孔用于调整CCD相机与载体之间的角度；所述固定板包括转接所述转接镜筒的转接部和环绕所述转接部设置的固定部；所述转接部上设有与所述固定螺钉数量对应的固定螺钉过孔，所述固定螺钉过孔呈圆周分布，所述转接镜筒设置在所述转接部一侧，所述固定螺钉从所述转接部的另一侧穿过所述固定螺钉过孔连接所述转接镜筒；所述固定部上设有与所述锁紧螺钉数量对应的锁紧螺钉过孔，所述锁紧螺钉过孔呈圆周分布，所述锁紧螺钉从所述固定螺钉的对侧穿过所述锁紧螺钉过孔连接所述载体。

2.根据权利要求1所述的CCD相机调整固定装置，其特征在于，所述CCD相机和转接镜筒采用螺纹连接，所述CCD相机上设置有C-Mount接口。

3.根据权利要求1所述的CCD相机调整固定装置，其特征在于，所述锁紧螺钉过孔为腰形孔。

4.根据权利要求3所述的CCD相机调整固定装置，其特征在于，所述转接镜筒上设有与所述固定螺钉配合的固定螺钉固定孔，所述固定螺钉固定孔数量为所述固定螺钉过孔数量的N倍，其中N为大于等于1的整数。

5.根据权利要求3所述的CCD相机调整固定装置，其特征在于，所述锁紧螺钉过孔设有三个，单个所述锁紧螺钉过孔的角度范围为0度～100度。

6.根据权利要求3所述的CCD相机调整固定装置，其特征在于，所述锁紧螺钉过孔设有四个，单个所述锁紧螺钉过孔的角度范围为0度～80度。

7.根据权利要求1所述的CCD相机调整固定装置，其特征在于，所述固定螺钉过孔为腰形孔。

8.根据权利要求7所述的CCD相机调整固定装置，其特征在于，所述载体上设有与所述锁紧螺钉配合的锁紧螺钉固定孔，所述锁紧螺钉固定孔数量为所述锁紧螺钉过孔数量的N倍，其中N为大于等于1的整数。

9.根据权利要求8所述的CCD相机调整固定装置，其特征在于，所述固定螺钉过孔设有三个，单个所述固定螺钉过孔的角度范围为0度～100度。

10.根据权利要求8所述的CCD相机调整固定装置，其特征在于，所述固定螺钉过孔设有四个，单个所述固定螺钉过孔的角度范围为0度～80度。

11.根据权利要求1所述的CCD相机调整固定装置，其特征在于，所述转接镜筒包括大端和小端，所述小端的尾部连接所述大端的头部，所述小端的外表面设有螺纹，所述CCD相机与小端螺纹连接并抵住所述大端，所述大端连接所述转接部。

12.根据权利要求11所述的CCD相机调整固定装置，其特征在于，所述转接部的一侧设有第一沉孔，另一侧设有凸台，所述凸台上设有第二沉孔，所述第一沉孔和第二沉孔的位置相对应，所述大端设置在所述第一沉孔内，所述固定螺钉设置在所述第二沉孔内穿过所述固定板连接所述转接镜筒。

13.根据权利要求1所述的CCD相机调整固定装置，其特征在于，还包括垫板，所述垫板设置在所述固定螺钉和固定板之间。

14.根据权利要求1所述的CCD相机调整固定装置，其特征在于，还包括加强板，所述加强板设置在所述锁紧螺钉和固定板之间。

15.根据权利要求1所述的CCD相机调整固定装置，其特征在于，所述固定板采用聚甲醛制备。

16.根据权利要求1所述的CCD相机调整固定装置，其特征在于，所述固定螺钉和锁紧螺钉均采用防松螺钉。

17.一种采用如权利要求1所述的CCD相机调整固定装置的调整固定方法，其特征在于，包括如下步骤：CCD相机和转接镜筒螺纹连接，整体调节CCD相机和转接镜筒，直至CCD相机位于需要的位置，接着，通过固定螺钉将转接镜筒固定在固定板，接着，通过锁紧螺钉将固定板固定在载体上。

18.根据权利要求17所述的CCD相机固定及调整装置固定调整方法，其特征在于，所述固定板包括转接所述转接镜筒的转接部和环绕所述转接部设置的固定部，所述转接部上设有与所述固定螺钉数量对应的固定螺钉过孔，所述固定螺钉过孔呈圆周分布，所述转接镜筒设置在所述转接部一侧，所述固定螺钉从所述转接部的另一侧穿过所述固定螺钉过孔连接所述转接镜筒，所述固定部上设有与所述锁紧螺钉数量对应的锁紧螺钉过孔，若干所述锁紧螺钉过孔呈圆周分布，所述锁紧螺钉从所述固定螺钉的对侧穿过所述锁紧螺钉过孔连接所述载体。

19.根据权利要求18所述的CCD相机调整固定装置固定调整方法，其特征在于，设置所述锁紧螺钉过孔为腰形孔时，调整CCD相机，松开所述锁紧螺钉，此时固定板相对载体可以转动，不需要拆除所述锁紧螺钉即可旋转所述固定板而调整CCD相机至需要的位置，接着拧紧所述锁紧螺钉完成CCD相机调整。

20.根据权利要求18所述的CCD相机调整固定装置固定调整方法，其特征在于，设置所述固定螺钉过孔为腰形孔时，调整CCD相机，松开所述锁紧螺钉从所述载体上拆除所述固定板，接着，松开所述固定螺钉，此时所述转接镜筒相对所述固定板可以转动，不需要拆除所述固定螺钉即可旋转所述转接镜筒来调整CCD相机至需要的位置，接着，拧紧固定螺钉将所述转接镜筒固定在固定板上，接着，拧紧锁紧螺钉将固定板固定在载体上。

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