JP4653160B2 - 光学素子 - Google Patents
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- 素子本体(2.1;12.1;22.1;32.1;42.1;52.1)を含む光学素子であって、
該素子本体が、光軸(2.3;12.3;22.3;32.3;42.3;52.3)を有する、光学的に有効な第一の領域(2.2;12.2;22.2;32.2;42.2;52.2)と、素子本体(2.1;12.1;22.1;32.1;42.1;52.1)の円周方向に延びる周辺領域(2.6;12.6;22.6;32.6;42.6;52.6)とを具え、
前記周辺領域(2.6;12.6;22.6;32.6;42.6;52.6)に少なくとも第一の保持領域(2.7;12.7;22.7;32.7;42.7;52.7)が配置され、該第一の保持領域(2.7;12.7;22.7;32.7;42.7;52.7)が、前記素子本体(2.1;12.1;22.1;32.1;42.1;52.1)を保持するために第一の保持装置(3;13;23)と協働する少なくとも第一の接触領域(2.8;12.8;22.8;32.8;42.8;52.8)を有する光学素子において、
前記周辺領域(22.6;32.6;42.6;52.6)が、光軸(22.3;32.3;42.3;52.3)方向に互いに間隔を開けて離れた、2つの接触面(22.10,22.11;32.10,32.11;42.10,42.11;52.10,52,11)においてのみ、前記第一の接触領域(22.8;32.8;42.8;52.8)を形成し、
前記二つの接触面(22.10,22.11;32.10,32.11;42.10,42.11;52.10,52,11)が、それぞれ、前記素子本体(22.1;32.1;42.1;52.1)の外周縁部(42.16、42.17;52.16、52.17)領域に配置され、
前記二つの接触面(22.10,22.11;32.10,32.11;42.10,42.11;52.10,52,11)のうち、少なくとも一方の接触面は、前記光軸(22.3;32.3;42.3;52.3)方向に対して傾きを有する、
ことを特徴とする、光学素子。 - 前記第一の接触領域(2.8;12.8;22.8;32.8;42.8;52.8)は、それと協働する前記第一の保持装置(3;13;23)が、光軸(2.3;12.3;22.3;32.3;42.3;52.3)方向では形状接続により、また、円周方向では摩擦接続により、前記素子本体(2.1;12.1;22.1;32.1;42.1;52.1)を保持するように構成されていることを特徴とする、請求項1に記載の光学素子。
- 前記周辺領域(2.6;12.6;22.6;32.6;42.6)は、素子本体(2.1;12.1;22.1;32.1;42.1)の円周方向において限定された第一の円周領域にのみ、前記第一の接触領域(2.8;12.8;22.8;32.8;42.8)を形成し、
前記第一の円周領域は、前記素子本体(2.1;12.1;22.1;32.1;42.1)の全周の30%未満を覆うことを特徴とする、請求項1または2に記載の光学素子。 - 前記第一の円周領域は、前記光軸(22.3;32.3)から離れて延びる、前記光学素子(2.1;12.1;22.1;32.1)上の第一の突出部(2.9;12.9;22.9;32.9)により形成されることを特徴とする、請求項3に記載の光学素子。
- 前記第一の突出部(22.9,32.9)の、前記光軸(22.3;32.3)方向における寸法が、前記第一の突出部(22.9;32.9)に隣接する領域における前記素子本体(22.1;32.1)の、前記光軸(22.3;32.3)方向における寸法に満たないことを特徴とする、請求項4に記載の光学素子。
- 前記第一の突出部(2.9;12.9;22.9;32.9)は、前記素子本体(2.1;12.1;22.1;32.1)から材料を取り除くことにより形成されることを特徴とする、請求項4または5のいずれか一項に記載の光学素子。
- 前記第一の突出部(32.9)は、前記素子本体(32.1)に取り付けられた第一の接触本体(32.14)によって形成されることを特徴とする、請求項4〜6のいずれか一項に記載の光学素子。
- 前記第一の接触本体(32.14)は、熱膨張係数に関して前記素子本体(32.1)の材料と同等の材料から出来ていることを特徴とする、請求項7に記載の光学素子。
- 前記第一の接触領域(32.8)は、前記円周方向または前記半径方向に延びる、V字形状の溝を有することを特徴とする、請求項4〜8のいずれか一項に記載の光学素子。
- 少なくとも一つの前記接触面(22.10,22.11;32.10,32.11;42.10,42.11;52.10,52,11)は、少なくとも部分的に平坦であり、および/または、前記光軸(2.3;12.3;22.3;32.2;42.3;52.3)を含む平面で、もしくは前記円周方向の接線方向に延びる平面で、少なくとも部分的に湾曲していることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一項に記載の光学素子。
- 前記素子本体(2.1;12.1;22.1;32.1;42.1;52.1)は、前記第一の接触領域(2.8;12.8;22.8;32.8;42.8;52.8)において、第一の接触面(2.10,2.11;12.10,12.11;32.10,32.11;42.10,42.11;52.10,52.11)上に位置する表面を有し、その表面は、円周方向および/または光軸(2.3;12.3;22.3;32.3;42.3;52.3)方向で隣接する領域の表面から外れていることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一項に記載の光学素子。
- 三個一組とした前記第一の保持領域(2.7;12.7;22.7;32.7;42.7;52.7;142.7)が、前記素子本体(2.1;12.1;22.1;32.1;42.1;52.1)上で前記円周方向に均等に分配されて設けられていることを特徴とする、請求項1〜11のいずれか一項に記載の光学素子。
- 前記光学的に有効な領域(2.2;12.2;22.2;32.2;42.2;52.2)が、レンズまたは平面平行板の形式で形成されていることを特徴とする、請求項1〜12のいずれか一項に記載の光学素子。
- 請求項1〜13のいずれか一項に記載の光学素子(2;12;22;32;42;52)と、前記光学素子(2;12;22;32;42;52)における前記第一の保持領域(2.7;12.7;22.7;32.7;42.7;52.7)と協働する第一の保持装置(3;13;23)とを具える光学配置。
- 前記第一の保持装置(3;13;23;133)は、前記光学素子(2;12;22;32;42;52;142)の半径方向または円周方向に作用する保持力としてのクランプ力を発生させることを特徴とする、請求項14に記載の光学配置。
- 前記第一の保持装置(3;13;133)は、前記第一の接触領域(2.8;12.8;22.8;32.8;42.8;52.8;142.8)と協働する第二の接触領域(3.2;13.2;133.2)を有する第一の保持要素(3.1;13.1;133.1)を具えることを特徴とする、請求項14または15に記載の光学配置。
- 前記第一の接触領域(2.8;12.8;22.8;32.8;42.8;52.8;142.8)と前記第二の接触領域(3.2;13.2;133.2)は、前記素子本体(2.1;12.1;22.1;32.1;42.1;52.1;142.1)と前記第一の保持要素(3.1;13.1;133.1)の間の接触位置で、これら両者間に接点または接線を有することを特徴とする、請求項16に記載の光学配置。
- 前記第一の接触領域(2.8;12.8;22.8;32.8;42.8;52.8)と前記第二の接触領域(3.2;13.2)は、前記第一の保持装置(3;13)が、前記素子本体を、光軸(2.3;12.3;22.3;32.3;42.3;52.3)方向では形状接続により、また、円周方向では摩擦接続により保持するように構成されていることを特徴とする、請求項16または17に記載の光学配置。
- 前記第一の接触領域(2.8;12.8;22.8;32.8;42.8;52.8)が、第一の接触面(2.10;12.10;32.10;42.10;52.10)と第二の接触面(2.11;12.11;32.11;42.11;52.11)とを有し、前記第二の接触領域(3.2;13.2)が、前記第一の接触面(2.10;12.10;32.10;42.10;52.10)と協働する第三の接触面(3.3;13.3)と、前記第二の接触面(2.11;12.11;32.11;42.11;52.11)と協働する第四の接触面(3.4;13.4)とを有し、
前記第一の接触面(32.10)と前記第二の接触面(32.11)とが互いに対向配置されると共に、前記第三の接触面と前記第四の接触面とが互いに非対向配置されているか、
または、
前記第一の接触面(2.10;12.10;42.10;52.10)と前記第二の接触面(2.11;12.11;42.11;52.11)とが互いに非対向配置されると共に、前記第三の接触面(3.3;13.3)と前記第四の接触面(3.4;13.4)とが互いに対向配置されている
ことを特徴とする、請求項16〜18のいずれか一項に記載の光学配置。 - 前記保持装置(3;13)は、前記第一の保持要素(3.1;13.1)が前記光軸(2.3;12.3;22.3;32.3;42.3;52.3)に対してほぼ垂直方向で、または、前記円周方向で弾性的に配置される、第一の保持本体(3.6;13.6)を有することを特徴とする、請求項16〜19のいずれか一項に記載の光学配置。
- 前記第一の保持装置(3;13)に接続されたフレーム装置(4;4’;4”)と、前記第一の保持装置と前記フレーム装置に接続された位置決め装置(5.1')とを具え、前記位置決め装置は、前記光軸(2.3;12.3;22.3;32.3;42.3;52.3)方向で前記フレーム装置(4;4';4")に対して前記第一の保持装置(3;13)の位置を調整するものであることを特徴とする、請求項14〜20のいずれか一項に記載の光学配置。
- 三個一組とした前記第一の保持装置(3;13)が、前記光学素子(2;12;22;32;42;52)の円周方向に均等に分配されて配置されていることを特徴とする、請求項14〜21のいずれか一項に記載の光学配置。
- 前記光学素子における素子本体(2.1;12.1;22.1;32.1;42.1;52.1)が、光軸(2.3;12.3;22.3;32.3;42.3;52.3)を有する、光学的に有効な第一の領域(2.2;12.2;22.2;32.2;42.2;52.2)と、前記素子本体(2.1;12.1;22.1;32.1;42.1;42.1;52.1)の円周方向に延びる周辺領域(2.6;12.6;22.6;32.6;42.6;52.6)とを具え、
前記周辺領域(2.6;12.6;22.6;32.6;42.6;52.6)に少なくとも第一の保持領域(2.7;12.7;22.7;32.7;42.7;52.7)が配置され、該第一の保持領域(2.7;12.7;22.7;32.7;42.7;52.7)が、前記素子本体(2.1;12.1;22.1;32.1;42.1;52.1)を保持するために第一の保持装置(3;13;23)と協働する少なくとも一つの第一の接触領域(2.8;12.8;22.8;32.8;42.8;52.8)を有し、
前記周辺領域(22.6;32.6;42.6;52.6)が、光軸(22.3;32.3;42.3;52.3)方向に互いに間隔を開けて離れた、2つの接触面(22.10,22.11;32.10,32.11;42.10,42.11;52.10,52,11)においてのみ、前記第一の接触領域(22.8;32.8;42.8;52.8)を形成し、
前記二つの接触面(22.10,22.11;32.10,32.11;42.10,42.11;52.10,52,11)が、それぞれ、前記素子本体(22.1;32.1;42.1;52.1)の外周縁部(42.16、42.17;52.16、52.17)領域に配置され、
前記二つの接触面(22.10,22.11;32.10,32.11;42.10,42.11;52.10,52,11)のうち、少なくとも一方の接触面は、前記光軸(22.3;32.3;42.3;52.3)方向に対して傾きを有する、
ことを特徴とする、請求項14〜22のいずれか一項に記載の光学配置。 - 前記周辺領域(2.6;12.6;22.6;32.6;42.6)は、素子本体(2.1;12.1;22.1;32.1;42.1)の円周方向において限定された第一の円周領域にのみ、前記第一の接触領域(2.8;12.8;22.8;32.8;42.8)を形成し、
前記第一の円周領域は、前記素子本体(2.1;12.1;22.1;32.1;42.1)の全周の30%未満を覆うことを特徴とする、請求項14〜23のいずれか一項に記載の光学配置。 - 前記第一の円周領域は、前記光軸(22.3;32.3)から離れて延びる、前記光学素子(2.1;12.1;22.1;32.1)上の第一の突出部(2.9;12.9;22.9;32.9)により形成されることを特徴とする、請求項14〜24のいずれか一項に記載の光学配置。
- 前記第一の突出部(22.9,32.9)の、前記光軸(22.3;32.3)方向における寸法が、前記第一の突出部(22.9;32.9)に隣接する領域における前記素子本体(22.1;32.1)の、前記光軸(22.3;32.3)方向における寸法に満たないことを特徴とする、ことを特徴とする、請求項24に記載の光学配置。
- 前記第一の突出部(2.9;12.9;22.9;32.9)は、前記素子本体(2.1;12.1;22.1;32.1)から材料を取り除くことにより形成されることを特徴とする、請求項25または26に記載の光学配置。
- 前記第一の突出部(32.9)は、前記素子本体(32.1)に取り付けられる第一の接触本体(32.14)により形成されることを特徴とする、請求項25〜27のいずれか一項に記載の光学配置。
- 前記第一の接触本体(32.14)は、熱膨張係数に関して前記素子本体(32.1)の材料と同等の材料から出来ていることを特徴とする、請求項28に記載の光学配置。
- 前記第一の接触領域(32.8)は、前記円周方向に、または、前記半径方向に延びるV字形状の溝であることを特徴とする、請求項25〜29のいずれか一項に記載の光学配置。
- 少なくとも一つの前記接触面(22.10,22.11;32.10,32.11;42.10,42.11;52.10,52,11)は、少なくとも部分的に平坦であり、および/または、前記光軸(2.3;12.3;22.3;32.2;42.3;52.3)を含む平面で、もしくは前記円周方向の接線方向に延びる平面で、少なくとも部分的に湾曲していることを特徴とする、請求項14〜30のいずれか一項に記載の光学配置。
- 前記素子本体(2.1;12.1;22.1;32.1;42.1;52.1) における前記第一の接触領域(2.8;12.8;22.8;32.8;42.8;52.8)は、前記第一の接触面(2.10,2.11;12.10,12.11;32.10,32.11;42.10,42.11;52.10,52.11)上に位置する表面を有し、その表面は、前記円周方向および/または前記光軸(2.3;12.3;22.3;32.3;42.3;52.3)方向において隣接する領域の表面から外れていることを特徴とする、請求項14から31のいずれか一項に記載の光学配置。
- 三個一組とした前記第一の保持領域(2.7;12.7;22.7,32.7;42.7;52.7)が、前記素子本体(2.1;12.1;22.1;32.1;42.1;52.1)の円周方向で、均等に分配されて配置されていることを特徴とする、請求項14〜32のいずれか一項に記載の光学配置。
- 請求項14〜33のいずれか一項に記載の光学配置のための第一の保持装置(3;13)。
- 請求項14〜34のいずれか一項に記載の光学配置(1)を有する少なくとも一つの光学モジュール(10.1)を含む、マイクロリソグラフィー装置用の鏡筒。
- マスク(9)に形成されたパターンを、請求項35に記載の鏡筒(10)を有する光学的投影システム(7)により基板(11)上に移すためのマイクロリソグラフィー装置。
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DE102009045163B4 (de) * | 2009-09-30 | 2017-04-06 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optische Anordnung in einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage |
DE102010008756A1 (de) * | 2010-02-17 | 2011-06-30 | Carl Zeiss Laser Optics GmbH, 73447 | Optische Anordnung |
DE102010017977A1 (de) * | 2010-04-23 | 2011-10-27 | Conti Temic Microelectronic Gmbh | Optische Vorrichtung mit optischem Modul und Trägergehäuse |
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US8919724B2 (en) * | 2010-08-24 | 2014-12-30 | Raytheon Company | Mount for cryogenic fast switching mechanism |
US8049978B1 (en) * | 2011-01-22 | 2011-11-01 | Cheng-Wei Su | Assembling structure for a magnifying glass |
USD666353S1 (en) * | 2012-04-09 | 2012-08-28 | Advanced Optoelectronic Technology, Inc. | LED lens |
JP6305048B2 (ja) * | 2013-12-17 | 2018-04-04 | キヤノン株式会社 | 光学機器 |
DE102014113733B3 (de) * | 2014-09-23 | 2016-01-14 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Optische Linse mit Halteelementen und Fassungsbaugruppe mit optischer Linse |
DE102015114263A1 (de) | 2015-08-27 | 2017-03-02 | Trumpf Laser Gmbh | Verspannungsoptimiertes Laserscheibenträgersystem |
US11860441B2 (en) * | 2018-05-18 | 2024-01-02 | Unispectral Ltd. | Optical device with expansion compensation |
DE102019201509A1 (de) * | 2019-02-06 | 2020-08-06 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Abstützung eines optischen Elements |
JP7046886B2 (ja) * | 2019-11-07 | 2022-04-04 | ミネベアミツミ株式会社 | 光学部材および照明器具 |
JP7342681B2 (ja) * | 2019-12-19 | 2023-09-12 | セイコーエプソン株式会社 | レンズユニット、投写光学系、およびプロジェクター |
CN114894117A (zh) * | 2022-04-22 | 2022-08-12 | 南京中安半导体设备有限责任公司 | 标准镜单元、标准镜安装组件及晶圆检测装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001284226A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Nikon Corp | 光学部材保持装置及び露光装置並びにマイクロデバイスの製造方法。 |
JP2002048962A (ja) * | 2000-06-17 | 2002-02-15 | Carl-Zeiss-Stiftung Trading As Carl Zeiss | 光学素子装着装置 |
JP2002107595A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-04-10 | Nikon Corp | 光学取付組立体 |
JP2003241049A (ja) * | 2002-02-22 | 2003-08-27 | Nikon Corp | 光学素子保持方法、光学素子研磨加工方法及び光学素子成膜方法 |
JP2004078209A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-03-11 | Canon Inc | 保持装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3041659A (en) * | 1959-04-16 | 1962-07-03 | Goodyear Tire & Rubber | Rubber mixer |
US3352952A (en) * | 1964-06-22 | 1967-11-14 | Shell Oil Co | Method of coloring thermoplastics |
JPS61258210A (ja) * | 1985-05-13 | 1986-11-15 | Olympus Optical Co Ltd | レンズ保持装置 |
JPH0219812A (ja) * | 1988-07-07 | 1990-01-23 | Topcon Corp | 光学素子保持装置 |
IT1255016B (it) * | 1992-03-27 | 1995-10-13 | Sorema Srl | Silo a fondo conico, particolarmente per materiale plastico e gomma di piccola pezzatura con caratteristiche di elevata elasticita' |
CA2149576A1 (en) * | 1994-05-19 | 1995-11-20 | Hideomi Harada | Surge detection device and turbomachinery therewith |
KR970706117A (ko) * | 1995-07-20 | 1997-11-03 | 타쿠야 사토 | 온도제어 시스템과 그를 구비한 혼련 압출 성형 장치 |
JP3894509B2 (ja) * | 1995-08-07 | 2007-03-22 | キヤノン株式会社 | 光学装置、露光装置およびデバイス製造方法 |
US5599099A (en) * | 1995-08-11 | 1997-02-04 | K-Tron Technologies, Inc. | Material blending apparatus having a pivotally mounted hopper |
JPH1054932A (ja) * | 1996-08-08 | 1998-02-24 | Nikon Corp | 投影光学装置及びそれを装着した投影露光装置 |
EP1094348B1 (de) * | 1999-10-06 | 2005-04-20 | JENOPTIK Aktiengesellschaft | Elastische Linsenträger |
KR100775796B1 (ko) * | 2000-08-18 | 2007-11-12 | 가부시키가이샤 니콘 | 광학소자 유지장치 |
DE10115914A1 (de) * | 2001-03-30 | 2002-10-02 | Zeiss Carl | Vorrichtung zur Lagerung eines optischen Elementes in einer Optik |
DE10139805C1 (de) * | 2001-08-13 | 2002-10-10 | Jenoptik Laser Optik Sys Gmbh | Spannungsarme Linsenfassung |
JP2003156668A (ja) | 2001-11-20 | 2003-05-30 | Canon Inc | 光学ユニット、露光装置および光学機器 |
US20030234918A1 (en) | 2002-06-20 | 2003-12-25 | Nikon Corporation | Adjustable soft mounts in kinematic lens mounting system |
JP4565261B2 (ja) * | 2002-06-24 | 2010-10-20 | 株式会社ニコン | 光学素子保持機構、光学系鏡筒及び露光装置 |
US6922293B2 (en) * | 2002-07-02 | 2005-07-26 | Nikon Corporation | Kinematic optical mounting assembly with flexures |
DE60317088T2 (de) | 2002-07-31 | 2008-07-24 | Canon K.K. | Optische Vorrichtung, Belichtungsapparat, und Herstellungsmethode für Halbleiterbauteile |
-
2004
- 2004-04-13 DE DE102004018656A patent/DE102004018656A1/de not_active Ceased
-
2005
- 2005-04-13 WO PCT/EP2005/003900 patent/WO2005101082A2/de not_active Application Discontinuation
- 2005-04-13 EP EP05733315A patent/EP1735651A2/de not_active Withdrawn
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- 2005-04-13 US US11/578,364 patent/US7529046B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001284226A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Nikon Corp | 光学部材保持装置及び露光装置並びにマイクロデバイスの製造方法。 |
JP2002048962A (ja) * | 2000-06-17 | 2002-02-15 | Carl-Zeiss-Stiftung Trading As Carl Zeiss | 光学素子装着装置 |
JP2002107595A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-04-10 | Nikon Corp | 光学取付組立体 |
JP2003241049A (ja) * | 2002-02-22 | 2003-08-27 | Nikon Corp | 光学素子保持方法、光学素子研磨加工方法及び光学素子成膜方法 |
JP2004078209A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-03-11 | Canon Inc | 保持装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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US7529046B2 (en) | 2009-05-05 |
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DE102004018656A1 (de) | 2005-11-03 |
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