CN115928022B - 一种蒸镀设备、镀锅装置及镀膜方法 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种蒸镀设备、镀锅装置以及镀膜方法。所述蒸镀设备包括：镀锅装置和设置于镀锅装置上方的传动机构，所述镀锅装置包括多个间隔排列的环状固定架；可转动地承载于多个环状固定架上的多个环状转动部件，在所述环状转动部件的承载区域上承载待镀膜的工件；以及位于镀锅装置的转动轴线上的蒸发源。所述传动机构与各个环状转动部件相连，以驱动各个环状转动部件分别以不同的角速度围绕镀锅装置的转动轴线转动。根据本申请的蒸镀设备、镀锅装置以及镀膜方法，可以实现对具有不同旋转半径的环状转动部件的独立控制，因而便于调节镀锅上不同旋转半径处的蒸镀量，易于获得均匀的镀膜。

Description

一种蒸镀设备、镀锅装置及镀膜方法

技术领域

本申请属于镀膜技术领域,具体涉及一种蒸镀设备及所使用的镀锅装置以及相应的镀膜方法。

背景技术

真空蒸镀是一种重要的薄膜成膜技术，广泛地应用在电子电路、光学元件、及各种半导体器件的镀膜中。镀锅作为一种常用的蒸镀装置，其镀膜的基本过程如下：蒸镀物料放置在腔室内中的坩埚中，镀锅位于坩埚的正上方，在一定的真空度下，通过蒸发系统使得坩埚中的蒸镀物料达到一定温度，蒸镀物料的气体分子从坩埚中向上运动，沉积在镀锅内表面承载的工件例如基板上，最终在工件上形成薄膜。

为了让镀膜更加均匀，目前已有使镀锅绕蒸发源(例如坩埚)旋转以及镀锅自身围绕中心轴旋转的蒸镀装置，此外还有行星镀锅蒸镀装置。但是上述蒸镀装置中，镀锅基本上都是整体旋转，镀锅上不同半径处的蒸镀量仍然存在偏差且不易调整，因而不易获得均匀的镀膜。

发明内容

本申请提供一种蒸镀设备以解决镀锅上不同半径处的蒸镀量存在偏差且不易调整、不易获得均匀的镀膜的问题。

本申请第一方面提供一种蒸镀设备，包括：

圆拱形镀锅装置，所述镀锅装置包括：围绕镀锅装置的转动轴线的多个间隔排列的环状固定架；位于多个环状固定架之间并可转动地承载于多个环状固定架上的多个环状转动部件，所述环状转动部件包括承载区域和非承载区域，在所述承载区域上承载待镀膜的工件；以及位于镀锅装置的转动轴线上的蒸发源；以及

设置于镀锅装置上方的传动机构，所述传动机构与各个环状转动部件相连，以驱动各个环状转动部件分别以不同的角速度围绕镀锅装置的转动轴线转动。

根据本发明的一些实施例，假设各个环状转动部件的角速度分别为ω_i,各个环状转动部件的中心环距镀锅装置的转动轴线的距离分别为r_i,则各个环状转动部件的ω_i·r_i相等,其中i为大于等于1的正整数。

根据本发明的一些实施例，所述传动机构包括：驱动装置，驱动装置具有转动轴，该转动轴的轴心与镀锅装置的转动轴线重合；与驱动装置的转动轴固定连接的多个主动齿轮,所述多个主动齿轮具有不同的半径并分别通过传动装置连接到对应的多个传动齿轮，所述多个传动齿轮的转动轴上固定连接着对应的多个从动齿轮；所述多个从动齿轮分别与对应的多个环状转动部件连接，以分别驱动多个环状转动部件围绕镀锅装置的转动轴线转动。

根据本发明的一些实施例，通过分别设定多个主动齿轮与对应的多个传动齿轮的转速比来调节对应的多个从动齿轮的转速，进而调节各个环状转动部件的转速。

根据本发明的一些实施例，所述多个传动齿轮分别与对应的多个从动齿轮具有相同的半径。

根据本发明的一些实施例，所述多个传动齿轮与所述多个从动齿轮均具有相同的半径。

根据本发明的一些实施例，每个环状转动部件包括沿着环状转动部件的圆周方向设置于非承载区域的啮合齿轮，其中，所述多个从动齿轮分别与对应的多个环状转动部件的啮合齿轮对应啮合，以分别驱动多个环状转动部件围绕镀锅装置的转动轴线转动。

根据本发明的一些实施例，所述环状固定架包括环形滑轨，所述环状转动部件包括设置于非承载区域的环形滑动部件，所述环形滑动部件适于沿着所述环形滑轨运动；并且所述啮合齿轮设置于所述环形滑动部件上。

根据本发明的一些实施例，所述环形滑动部件设置于所述环状转动部件的两侧，所述啮合齿轮设置于所述环状转动部件一侧的所述环形滑动部件上。

根据本发明的一些实施例，所述环状固定架的两侧分别设置有滑轨，通过滑轨可滑动地承载两侧的环形转动部件。

根据本发明的一些实施例，所述环形滑轨包括上环形滑轨和下环形滑轨，所述环形滑动部件包括上环形滑动件和下环形滑动件，所述上环形滑动件和下环形滑动件分别沿着所述上环形滑轨和下环形滑轨运动。

根据本发明的一些实施例，所述上环形滑轨为凹槽滑轨，所述上环形滑动件为适于和凹槽滑轨滑动配合的凸形件；所述下环形滑轨上设置有滚珠轴承，所述下环形滑动件通过所述滚珠轴承与下环形滑轨转动连接。

根据本发明的一些实施例，所述的蒸镀设备，还包括支撑伞架,所述支撑伞架从镀锅顶部中心沿镀锅拱面呈辐射状延伸，并与所述环状固定架固定连接。

根据本发明的一些实施例，所述驱动装置包括支撑框架，所述支撑框架与所述环状固定架固定连接。

本发明另一方面提供一种镀锅装置，所述镀锅装置包括：

围绕镀锅装置的转动轴线的多个间隔排列的环状固定架；

位于多个环状固定架之间并可转动地承载于多个环状固定架上的多个环状转动部件，所述环状转动部件包括承载区域和非承载区域，在所述承载区域上承载待镀膜的工件；以及位于镀锅装置的转动轴线上的蒸发源。

根据本发明的一些实施例，所述承载区域设置有孔部，在所述孔部上装载孔盖，工件承载于孔盖上。

根据本发明的一些实施例，所述环状固定架包括环形滑轨，所述环状转动部件包括设置于非承载区域的环形滑动部件，所述环形滑动部件适于沿着所述环形滑轨运动。

本发明另一方面提供一种使用前述的蒸镀设备进行镀膜的方法，其中，通过传动机构控制各个环状转动部件的转速，使各个环状转动部件以大致相同的线速度旋转，从而位于不同的环状转动部件上的工件被均匀地镀膜。

根据本申请的蒸镀设备、镀锅装置以及镀膜方法，镀锅装置包括环状固定架，多个环状转动部件可转动地承载于多个环状固定架上，且通过传动机构驱动各个环状转动部件分别以不同的角速度转动，从而，可以实现对具有不同旋转半径的环状转动部件的独立控制，因而便于调节镀锅上不同旋转半径处的蒸镀量，易于获得均匀的镀膜。

附图说明

图1和图2为一种镀锅的原理示意图；

图3为根据本发明的一个实施例的蒸镀设备的俯视图；

图4为图3的局部放大图；

图5为图4的a-a’剖视图；

图6-8为图5的局部放大图；

图9为图8中的部分A的放大图；以及

图10为图8中的部分B的放大图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。除非另作定义，本发明实施例以及附图中，同一标号代表同一含义。需要注意，为了清楚起见，实施例的附图可能不一定按比例绘制；另外，实施例的附图只是示意结构，可能省略某些与本发明的构思无直接关系的常规结构的图示；并且，需要注意本发明实施例中描述的方法步骤的顺序并不必然表示各个步骤的实际执行顺序。在可行的情况下，实际执行顺序可与描述的顺序不同。

图1和图2为镀锅100’的工作原理的示意图。参见图1和2，图中，标号1101、1102、1103分别代表蒸镀过程中待镀膜的工件(例如基板)的位置，标号500表示位于镀锅转动轴线X上的蒸发源，用于将蒸发物料沉积在工件1101、1102、1103上。随着镀锅100’的转动，每个工件围绕镀锅100’的转轴X做圆周运动。图2是蒸镀过程的局部示意图，其中，L1、L2、L3分别对应图1中1101、1102、1103在Δt时间内运动过的弧长，r₁、r₂、r₃是1101、1102、1103做圆周运动对应的半径。

当镀锅100’整体绕转动轴线X以角速度ω旋转时，每个工件在蒸镀过程中的角速度均为ω，且ω＝Δθ/Δt，由于每个工件在Δt时间内转过的角度一样，均为θ，则ω₁＝ω₂＝ω₃，其中，ω₁、ω₂、ω₃分别表示工件1101、1102、1103的角速度。

假设每个工件在蒸镀过程中的线速度为V，弧长为L，且V＝ω*r，L＝V*Δt，则V1＝ω*r₁，V₂＝ω*r₂，V3＝ω*r₃，L₁＝ω*r₁*Δt，L₂＝ω*r₂*Δt，L₃＝ω*r₃*Δt，在Δt内L₃>L₂>L₁。

综上，由于在蒸镀过程中，镀锅的转速影响蒸镀量，进而影响成膜厚度以及成膜质量，并且由于镀锅整体转动，在镀锅中处于不同圆周位置处或具有不同旋转半径的工件在Δt时间内转动的角度θ相同，但运动过的轨迹长度不同，即弧长L₁、L₂、L₃不相同，因此，处于不同半径的圆周上的工件的成膜厚度有差异，影响成膜均匀性。

注意到上述缺陷，如图3-10所示，本申请的实施例提出一种蒸镀设备1000，其包括镀锅装置100和设置于镀锅装置100上方的传动机构400。蒸镀设备1000可放置于真空腔室中。镀锅装置100整体为圆拱形，即为球面的一部分，其包括围绕镀锅装置的转动轴线的多个间隔排列的环状固定架200；以及位于多个环状固定架200之间且可转动地承载于多个环状固定架200上的多个环状转动部件1200。图中示意地示出了旋转半径依次增大的3个环状转动部件，即第一环形转动部件1241、第二环形转动部件1242和第三环形转动部件1243。所述第一环形转动部件1241、第二环形转动部件1242和第三环形转动部件1243具有不同的半径，按照半径大小依次排列，半径比例如为2：3：4。实际应用中，环状转动部件1200的数量可以根据需要设定，并相应地设置环状固定架的数量。

每个环状转动部件1200可包括沿圆周方向顺序排列的多个圆形承载区域1210和除承载区域1210之外的非承载区域1220。在所述环状转动部件1200的承载区域1210上承载待镀膜的工件(未示出)。镀锅装置100还包括蒸发源，例如图1的蒸发源500，蒸发源可位于镀锅装置100的转动轴线(转轴)上。蒸发源例如可以是装有蒸发物料的坩埚。蒸镀设备1000还可包括支撑伞架300,所述支撑伞架300从镀锅装置顶部中心沿镀锅拱面呈辐射状延伸，并与所述环状固定架200固定连接。

传动机构400与各个环状转动部件1200相连，以驱动各个环状转动部件1200分别以不同的角速度围绕镀锅装置100的转动轴线转动。在附图所示的实施例中，传动机构400为齿轮传动机构，其中，通过若干与驱动装置的主轴具有不同转速比的传动齿轮，分别驱动旋转半径不同的各个环状转动部件1200以不同的期望角速度旋转。本领域技术人员可以理解，只要能实现驱动各个环状转动部件1200独立转动，传动机构400不限于齿轮传动机构，也可以为其它可行的传动机构，例如链条传动、蜗轮蜗杆传动等。

在本发明的一些实施例中，如图3所示，所述承载区域1210设置有圆形孔部，在所述孔部上可装载孔盖(未示出)，工件承载于孔盖上。以此方式，可先将工件预先装载到孔盖上，然后将孔盖安装于孔上，即可方便地完成所有工件的装载。附图只是作为示例，实际上，本领域技术人员可以理解，根据需要，孔部可以为除了圆形孔以外的其它形状，例如方形孔、不规则孔等；孔盖可具有对应的形状，并且孔盖内表面上可设置夹具用于装载工件。可选地，承载区域1210也可不设置孔部，而直接在镀锅内表面上设置装卡装置用于装载工件。因此，本申请对于承载区域的形式不做限制。

根据本申请实施例的蒸镀设备，由于镀锅装置包括环状固定架，多个环状转动部件可转动地承载于多个环状固定架上，且通过传动机构驱动各个环状转动部件分别以不同的角速度转动，从而，可以实现对具有不同旋转半径的环状转动部件的独立控制，因而便于调节镀锅上不同旋转半径处的蒸镀量，易于获得均匀的镀膜。

有利地，本申请的蒸镀设备可以通过控制不同旋转半径的环状转动部件以大致相同的线速度转动，从而解决镀锅上不同半径处沉积薄膜厚度不均匀造成的膜厚偏差的问题，获得均匀的镀膜；同时,本申请的蒸镀设备还可以根据需要任意调节不同旋转半径的环状转动部件的转速，进而获得期望的蒸镀量，因而在不同旋转半径处期望获得不同的膜厚时也易于实现。

有利地，本申请也提供了一种利用本申请的实施例提供的蒸镀设备进行镀膜的方法，其中，通过传动机构控制各个环状转动部件的转速，使各个环状转动部件以大致相同的线速度旋转，从而位于不同的环状转动部件上的工件可被均匀地镀膜。

在一些实施例中，假设各个环状转动部件1200沿圆周方向的中心环距镀锅的转动轴线X的距离(中心环半径)分别为r_i(i为大于等于1的正整数)，可以通过调节传动机构400以分别设定各个环状转动部件1200的角速度ω_i，使得各个环状转动部件的角速度ω_i与旋转半径r_i的乘积ω_i·r_i相等。此时，位于旋转半径不同的各个环状转动部件1200上的工件均能够以大致相同的线速度转动，相同时间内转过的弧长相等，即L₁＝L₂＝L₃,从而，镀锅上不同旋转半径处的蒸镀量相同，可获得均匀的镀膜。

以下结合实施例的附图，对本发明实施例的蒸镀装置的各组成部分的具体结构进行详细地说明。

参见图3-10，传动机构400包括驱动装置410、主动齿轮组420、传动齿轮组430和从动齿轮组440。主动齿轮组420包括第一主动齿轮4203、第二主动齿轮4202、第三主动齿轮4201，传动齿轮组430包括第一传动齿轮4303、第二传动齿轮4302、第三传动齿轮4301，从动齿轮组440包括第一从动齿轮4401、第二从动齿轮4402、第三从动齿轮4403。所述驱动装置410具有转动轴，该转动轴的轴心与镀锅装置100的转动轴线X重合。所述驱动装置410可包括支撑框架411，所述支撑框架411可与所述环状固定架200固定连接。

第一主动齿轮4203、第二主动齿轮4202、第三主动齿轮4201与驱动装置410的转动轴固定连接，随着驱动装置410的转动轴同轴地转动。所述第一主动齿轮4203、第二主动齿轮4202、第三主动齿轮4201具有不同的半径，按照半径大小依次排列，其半径比例如为3：2：1，具体可根据环形转动部件的半径比进行具体设定。第一主动齿轮4203、第二主动齿轮4202、第三主动齿轮4201可分别通过传动装置421连接到第一传动齿轮4303、第二传动齿轮4302、第三传动齿轮4301。传动装置421例如可以是第一传动带4213、第二传动带4212和第三传动带4211)，或者轴承等其它传动方式。

各个传动齿轮的转速取决于各个主动齿轮的半径以及电机驱动装置的转速，具体可以根据实际需求进行设定，本申请中优选根据使不同旋转半径的镀锅以相同线速度进行旋转镀膜的要求来设定各个齿轮的转速或半径。

假设各个环状转动部件角速度分别为ω_i，中心环半径为r_i，且环状部件在作业过程中的弧长为L_i，则各个环状部件角速度与中心环半径的乘机V_i＝ω_i*r_i，L_i＝V_i*Δt，且L₁＝L₂＝L₃，主动齿轮的半径为r_Ai，传动齿轮的半径为r_Bi，从动齿轮的半径为r_Ci，其中i为≥1的正整数；

假设第一环状转动部件的中心环半径为r₁，第二环状转动部件的中心环半径为r₂，第三环状转动部件的中心环半径为r₃；第一环状转动部件的弧长为L₁，第二环状转动部件的弧长为L₂，第三环状转动部件的弧长为L₃，并且L₁＝L₂＝L₃，第一主动齿轮4203的半径为r_A1，第二主动齿轮4202的半径为r_A2，第三主动齿轮4201的半径为r_A3，线速度，角速度如下表所示：

则：

V_Ai＝ω_Ai*r_Ai，ω_A1＝ω_A2＝ω_A3，V_A1：V_A2：V_A3＝r_A1：r_A2：r_A3；

V_Ai＝V_Bi，V_B1：V_B2：V_B3＝V_A1：V_A2：V_A3＝r_A1：r_A2：r_A3；

V_i＝V_Ci，ω_i*r_i＝ω_Ci*r_Ci，

因此，本领域技术人员可根据上述关系式，并根据各个环形转动部件所需的角速度确定各个齿轮的半径大小。

例如，当第一环形转动部件1241、第二环形转动部件1242和第三环形转动部件1243的半径比为2：3：4时，第一主动齿轮4203的角速度可设为第一传动齿轮的角度速的6-8倍，第二主动齿轮4202的角速度可设为第二传动齿轮4302的角速度的4-6倍，第三主动齿轮4201的角速度可设为第三传动齿轮4301的角速度的2-4倍，第一传动齿轮4303、第二传动齿轮4302、第三传动齿轮4301和对应的第一从动齿轮4401、第二从动齿轮4402、第三从动齿轮4403的角速度设置为相同。这样，各个环状转动部件的线速度大致相等，从而保证镀锅装置中不同半径的位置上可以获得均匀的镀膜。

所述第一从动齿轮4401、第二从动齿轮4402、第三从动齿轮4403分别固定连接到第一传动齿轮4303、第二传动齿轮4302、第三传动齿轮4301的转动轴上，并与第一传动齿轮4303、第二传动齿轮4302、第三传动齿轮4301同轴转动。所述第一从动齿轮4401、第二从动齿轮4402、第三从动齿轮4403分别位于第一环形转动部件1241、第二环形转动部件1242和第三环形转动部件1243的上方。

进一步地，所述第一从动齿轮4401、第二从动齿轮4402、第三从动齿轮4403分别与3个环状转动部件第一环形转动部件1241、第二环形转动部件1242和第三环形转动部件1243连接，以分别驱动3个环状转动部件围绕镀锅装置100的转动轴线X以相同或不同的角速度转动。通过分别设定第一主动齿轮4203、第二主动齿轮4202、第三主动齿轮4201和对应的第一传动齿轮4303、第二传动齿轮4302、第三传动齿轮4301的转速比来调节第一从动齿轮4401、第二从动齿轮4402、第三从动齿轮4403的转速，以此来调节各个环状转动部件1200的转速。

假设各个环状转动部件的中心环距镀锅的转动轴线X的距离(即中心环半径)分别为r_i，角速度分别为ω_i,i为大于等于1的正整数，在一些实施例中，可通过分别调节第一主动齿轮4203、第二主动齿轮4202、第三主动齿轮4201和对应的第一传动齿轮4303、第二传动齿轮4302、第三传动齿轮4301以及第一从动齿轮4401、第二从动齿轮4402、第三从动齿轮4403的转速比或半径比，以使得各个环状转动部件的ω_i·r_i相等。在这种情况下，各个环状转动部件1200上的工件均能够以大致相同的线速度转动，从而，镀锅上不同旋转半径处的蒸镀量相同，可获得均匀的镀膜。

可选地，第一传动齿轮4303、第二传动齿轮4302、第三传动齿轮4301与对应的第一从动齿轮4401、第二从动齿轮4402、第三从动齿轮4403的半径比可以为1:2或者1:3，具体可以根据镀锅尺寸以及腔室大小制定。优选第一传动齿轮4303、第二传动齿轮4302、第三传动齿轮4301分别与对应的第一从动齿轮4401、第二从动齿轮4402、第三从动齿轮4403具有相同的半径，以利于生产制造。

在一些实施例中，优选所述第一传动齿轮4303、第二传动齿轮4302、第三传动齿轮4301和第一从动齿轮4401、第二从动齿轮4402、第三从动齿轮4403均具有相同的半径，以利于生产制造。

参见图3-10，每个环状转动部件1200包括沿着环状转动部件的圆周方向设置于非承载区域1220的啮合齿轮1203，所述第一从动齿轮4401、第二从动齿轮4402、第三从动齿轮4403分别与3个环状转动部件1241、1242和1243的啮合齿轮1203对应啮合，以分别驱动3个环状转动部件围绕镀锅装置100的转动轴线X转动。

参见图8，所述环状固定架200包括环形滑轨2001、2002，所述环状转动部件1200包括设置于非承载区域1220上的环形滑动部件1230，所述环形滑动部件1230适于沿着所述环形滑轨运动。所述啮合齿轮1203设置于所述环形滑动部件1230上。从而，随着啮合齿轮1203的转动，环形滑动部件1230带动各个环形转动部件1200相对于所述环状固定架200转动。

进一步，所述环形滑动部件1230可设置于所述环状转动部件1200的两侧，所述啮合齿轮1203设置于所述环状转动部件1200一侧的所述环形滑动部件1230上。所述环状固定架200的两侧分别设置有滑轨2001、2002，通过滑轨2001、2002可滑动地承载两侧的环状转动部件1200。

具体地，所述环形滑轨可包括上环形滑轨2001和下环形滑轨2002，所述环形滑动部件1230包括上环形滑动件1204、1205和下环形滑动件1201、1202，所述上环形滑动件1204、1205和下环形滑动件1201、1202可分别沿着对应的上环形滑轨2001和下环形滑轨2002运动。可选地，所述环状固定架可连接于驱动装置410的支撑框架411上，以增加环状固定架的刚度，并提高环形转动部件旋转中的稳定性。

在图示的实施例中，所述上环形滑轨2001为凹槽滑轨，所述上环形滑动件1204、1205为适于和凹槽滑轨滑动配合的凸形件，从而所述滑动件可稳定地沿着凹槽滑轨运动。所述下环形滑轨2002上设置有滚珠轴承1206，所述下环形滑动件1201、1202通过所述滚珠轴承1206与下环形滑轨2002转动连接，从而下环形滑动件可以平滑地沿着下滑轨转动。

本领域技术人员可以理解，以上只是示例地说明本发明的具体实施方式。例如虽然以3个环形转动部件为例说明了本发明的构思，但本领域技术人员可根据具体情况和实际需要设置环形转动部件的数量以及相应的齿轮、保持部件、滑动部件等其它部件的数量。本领域技术人员可根据本发明的构思设计其它的实现方式，这些实现方式均属于本发明的涵盖范围。

综上，在本申请的实施例中，通过使镀锅装置上具有不同旋转半径的各个环状转动部件在环状固定架上相对于转动轴线以相同或不同的转速转动，可以实现对具有不同旋转半径的环状转动部件的独立控制，使得位于不同旋转半径上的工件以不同的旋转速度进行旋转，因而可根据需要调节镀锅上不同旋转半径处的蒸镀量，在不同旋转半径处均获得期望的镀膜厚度。有利地，通过调节传动机构中的齿轮的转速比，使得不同半径的环状转动部件具有大致相同的转速，从而可保证在蒸镀过程中，位于不同旋转半径上的工件以相同的旋转速度进行旋转蒸镀，保证不同旋转半径上的工件成膜的均匀性，以此提高产品质量稳定性，减少蒸镀物料的浪费。

上述实施例仅示例性的说明了本发明的原理及构造，而非用于限制本发明，本领域的技术人员应明白，在不偏离本发明的总体构思的情况下，对本发明所作的任何改变和改进都在本发明的范围内。本发明的保护范围，应如本申请的权利要求书所界定的范围为准。

Claims (16)

1.一种蒸镀设备，包括：

圆拱形镀锅装置，所述镀锅装置包括：

围绕镀锅装置的转动轴线的多个间隔排列的环状固定架；

位于多个环状固定架之间并可转动地承载于多个环状固定架上的多个环状转动部件，所述环状转动部件包括承载区域和非承载区域，在所述承载区域上承载待镀膜的工件；

位于镀锅装置的转动轴线上的蒸发源；以及

设置于镀锅装置上方的传动机构，所述传动机构与各个环状转动部件相连，以驱动各个环状转动部件围绕镀锅装置的转动轴线转动；

其中，所述环状固定架包括环形滑轨，所述环状转动部件包括设置于非承载区域的环形滑动部件，所述环形滑动部件适于沿着所述环形滑轨运动；

其中，设各个环状转动部件的角速度分别为ω_i,各个环状转动部件的中心环距镀锅装置的转动轴线的距离分别为r_i,则各个环状转动部件的角速度与中心环半径的乘积ω_i·r_i相等，其中i为大于等于1的正整数。

2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其中，所述传动机构包括：

驱动装置，驱动装置具有转动轴，该转动轴的轴心与镀锅装置的转动轴线重合；

与驱动装置的转动轴固定连接的多个主动齿轮,所述多个主动齿轮具有不同的半径并分别通过传动装置连接到对应的多个传动齿轮，所述多个传动齿轮的转动轴上固定连接着对应的多个从动齿轮；

所述多个从动齿轮分别与对应的多个环状转动部件连接，以分别驱动多个环状转动部件围绕镀锅装置的转动轴线转动。

3.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其中，通过分别设定多个主动齿轮与对应的多个传动齿轮的转速比来调节对应的多个从动齿轮的转速，进而调节各个环状转动部件的转速。

4.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其中，所述多个传动齿轮分别与对应的多个从动齿轮具有相同的半径。

5.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其中，所述多个传动齿轮与所述多个从动齿轮均具有相同的半径。

6.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其中，每个环状转动部件包括沿着环状转动部件的圆周方向设置于非承载区域的啮合齿轮，

其中，所述多个从动齿轮分别与对应的多个环状转动部件的啮合齿轮对应啮合，以分别驱动多个环状转动部件围绕镀锅装置的转动轴线转动。

7.根据权利要求6所述的蒸镀设备，其中，所述啮合齿轮设置于所述环形滑动部件上。

8.根据权利要求7所述的蒸镀设备，其中，所述环形滑动部件设置于所述环状转动部件的两侧，所述啮合齿轮设置于所述环状转动部件一侧的所述环形滑动部件上。

9.根据权利要求7所述的蒸镀设备，其中，所述环状固定架的两侧分别设置有滑轨，通过滑轨可滑动地承载两侧的环形转动部件。

10.根据权利要求7所述的蒸镀设备，其中，所述环形滑轨包括上环形滑轨和下环形滑轨，所述环形滑动部件包括上环形滑动件和下环形滑动件，所述上环形滑动件和下环形滑动件分别沿着所述上环形滑轨和下环形滑轨运动。

11.根据权利要求10所述的蒸镀设备，其中，所述上环形滑轨为凹槽滑轨，所述上环形滑动件为适于和凹槽滑轨滑动配合的凸形件；

所述下环形滑轨上设置有滚珠轴承，所述下环形滑动件通过所述滚珠轴承与下环形滑轨转动连接。

12.根据权利要求1所述的蒸镀设备，还包括支撑伞架,所述支撑伞架从镀锅顶部中心沿镀锅拱面呈辐射状延伸，并与所述环状固定架固定连接。

13.根据权利要求2所述的蒸镀设备，所述驱动装置包括支撑框架，所述支撑框架与所述环状固定架固定连接。

14.一种镀锅装置，所述镀锅装置包括：

围绕镀锅装置的转动轴线的多个间隔排列的环状固定架；

位于多个环状固定架之间并可转动地承载于多个环状固定架上的多个环状转动部件，所述环状转动部件包括承载区域和非承载区域，在所述承载区域上承载待镀膜的工件；以及

位于镀锅装置的转动轴线上的蒸发源；

其中，所述环状固定架包括环形滑轨，所述环状转动部件包括设置于非承载区域的环形滑动部件，所述环形滑动部件适于沿着所述环形滑轨运动；

其中，设各个环状转动部件的角速度分别为ω_i,各个环状转动部件的中心环距镀锅装置的转动轴线的距离分别为r_i,则各个环状转动部件的角速度与中心环半径的乘积ω_i·r_i相等，其中i为大于等于1的正整数。

15.根据权利要求14所述的镀锅装置，其中，所述承载区域设置有孔部，在所述孔部上装载孔盖，工件承载于孔盖上。

16.一种使用权利要求1所述的蒸镀设备进行镀膜的方法，其中，通过传动机构控制各个环状转动部件的转速，使各个环状转动部件以相同的线速度旋转，从而位于不同的环状转动部件上的工件被均匀地镀膜。