JP2004269988A5 - - Google Patents
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【特許請求の範囲】
【請求項１】 凹凸又は平面形状を有する基板に物理的気相成長にて膜を成膜するスパッタ装置に於いて、
真空チャンバーの内部に配置されターゲットを保持するカソードユニットと、前記真空チャンバーの内部に配置され、前記基板を前記ターゲットに対向するように保持する基板保持ユニットとを有しており、
前記基板保持ユニットは、前記基板を軸回転する第１の駆動手段と、前記基板の軸を回転中心として前記基板を首振り走査する第２の駆動手段とを有していることを特徴とするスパッタ装置。
【請求項２】 前記カソードユニットは、複数のターゲットを保持しており、前記基板に対向するターゲットを変更する回転機構を備えていることを特徴とする請求項１に記載のスパッタ装置。
【請求項３】 前記カソードユニットは、ターゲット中心の法線と前記基板と垂直に交わる様に基板保持ユニットと連動して回転移動する機構を備えていることを特徴とする請求項２に記載のスパッタ装置。
【請求項４】 前記基板の回転軸はX軸方向であり、前記カソードユニットの回転軸はY軸方向であり、前記基板の回転軸と前記カソードユニットの回転軸はZ方向にオフセットしていることを特徴とする請求項２に記載のスパッタ装置。
【請求項５】 前記基板保持ユニットは、前記基板を前記軸方向に駆動することで、前記基板と前記ターゲットとの距離を調整する第３の駆動手段を有していることを特徴とする請求項４に記載のスパッタ装置。
【請求項６】 前記基板保持ユニットは、複数のベローズにより、前記真空チャンバーに取り付けられており、前記第１、第２の駆動機構の駆動手段は、前記ベローズを介して、前記真空チャンバーの外部に配置されていることを特徴とする請求項２に記載のスパッタ装置。
【請求項７】 前記第２の駆動機構は、前記ベローズを曲げることにより、前記基板の軸を中心として首振り走査することを特徴とする請求項６に記載のスパッタ装置。
【請求項８】 前記カソードユニットと前記基板保持ユニットの間には、成膜レートまたは成膜領域を可変にする調整機構が配置されていることを特徴とする請求項２に記載のスパッタ装置。
【請求項９】 前記調整機構は可動型のマスクであることを特徴とする請求項８に記載のスパッタ装置。
【請求項１０】 前記調整機構は角度を変更可能なコリメータであることを特徴とする請求項８に記載のスパッタ装置。
【請求項１】 凹凸又は平面形状を有する基板に物理的気相成長にて膜を成膜するスパッタ装置に於いて、
真空チャンバーの内部に配置されターゲットを保持するカソードユニットと、前記真空チャンバーの内部に配置され、前記基板を前記ターゲットに対向するように保持する基板保持ユニットとを有しており、
前記基板保持ユニットは、前記基板を軸回転する第１の駆動手段と、前記基板の軸を回転中心として前記基板を首振り走査する第２の駆動手段とを有していることを特徴とするスパッタ装置。
【請求項２】 前記カソードユニットは、複数のターゲットを保持しており、前記基板に対向するターゲットを変更する回転機構を備えていることを特徴とする請求項１に記載のスパッタ装置。
【請求項３】 前記カソードユニットは、ターゲット中心の法線と前記基板と垂直に交わる様に基板保持ユニットと連動して回転移動する機構を備えていることを特徴とする請求項２に記載のスパッタ装置。
【請求項４】 前記基板の回転軸はX軸方向であり、前記カソードユニットの回転軸はY軸方向であり、前記基板の回転軸と前記カソードユニットの回転軸はZ方向にオフセットしていることを特徴とする請求項２に記載のスパッタ装置。
【請求項５】 前記基板保持ユニットは、前記基板を前記軸方向に駆動することで、前記基板と前記ターゲットとの距離を調整する第３の駆動手段を有していることを特徴とする請求項４に記載のスパッタ装置。
【請求項６】 前記基板保持ユニットは、複数のベローズにより、前記真空チャンバーに取り付けられており、前記第１、第２の駆動機構の駆動手段は、前記ベローズを介して、前記真空チャンバーの外部に配置されていることを特徴とする請求項２に記載のスパッタ装置。
【請求項７】 前記第２の駆動機構は、前記ベローズを曲げることにより、前記基板の軸を中心として首振り走査することを特徴とする請求項６に記載のスパッタ装置。
【請求項８】 前記カソードユニットと前記基板保持ユニットの間には、成膜レートまたは成膜領域を可変にする調整機構が配置されていることを特徴とする請求項２に記載のスパッタ装置。
【請求項９】 前記調整機構は可動型のマスクであることを特徴とする請求項８に記載のスパッタ装置。
【請求項１０】 前記調整機構は角度を変更可能なコリメータであることを特徴とする請求項８に記載のスパッタ装置。
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