JPH0263534U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0263534U JPH0263534U JP14356288U JP14356288U JPH0263534U JP H0263534 U JPH0263534 U JP H0263534U JP 14356288 U JP14356288 U JP 14356288U JP 14356288 U JP14356288 U JP 14356288U JP H0263534 U JPH0263534 U JP H0263534U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction chamber
- holder
- semiconductor substrate
- holder provided
- target material
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 239000013077 target material Substances 0.000 claims description 2
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- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第1図および第2図は本考案の第1および第2
の実施例の断面図である。 1…高真空源、2…反応室、3…高電圧電源、
4…アース、5…保持台、6…ターゲツト材料、
7…半導体基板、8…モーター、9…爪、10…
支持台、11…回転駆動支持棒、12…回転ロー
ラー、21…駆動支持棒、22…支持棒固定台、
23…ベローズ、24…回転板。
の実施例の断面図である。 1…高真空源、2…反応室、3…高電圧電源、
4…アース、5…保持台、6…ターゲツト材料、
7…半導体基板、8…モーター、9…爪、10…
支持台、11…回転駆動支持棒、12…回転ロー
ラー、21…駆動支持棒、22…支持棒固定台、
23…ベローズ、24…回転板。
Claims (1)
- 高真空源に連結する反応室と該反応室内に設け
られターゲツト材料を保持する保持台と該保持台
に対向して設けられ半導体基板を支持する支持台
とを有するスパツタリング装置において、前記支
持台に歳差運動を与えるための手段を設けたこと
を特徴とするスパツタリング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14356288U JPH0263534U (ja) | 1988-11-01 | 1988-11-01 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14356288U JPH0263534U (ja) | 1988-11-01 | 1988-11-01 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0263534U true JPH0263534U (ja) | 1990-05-11 |
Family
ID=31410494
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14356288U Pending JPH0263534U (ja) | 1988-11-01 | 1988-11-01 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0263534U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004269988A (ja) * | 2003-03-10 | 2004-09-30 | Canon Inc | スパッタ装置 |
-
1988
- 1988-11-01 JP JP14356288U patent/JPH0263534U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004269988A (ja) * | 2003-03-10 | 2004-09-30 | Canon Inc | スパッタ装置 |