JPS6274629U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6274629U JPS6274629U JP16389785U JP16389785U JPS6274629U JP S6274629 U JPS6274629 U JP S6274629U JP 16389785 U JP16389785 U JP 16389785U JP 16389785 U JP16389785 U JP 16389785U JP S6274629 U JPS6274629 U JP S6274629U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- screw
- holder base
- wafer
- arms
- pair
- Prior art date
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- Granted
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るウエハ保
持装置を示す平面図である。第２図は、第１図の
線―方向に見た側面図である。第３図は、第
１図のＰ部の拡大断面図である。第４図および第
５図は、それぞれ、第１図の装置の動作例を示す
図である。第６図は、従来のウエハ保持装置を示
す平面図である。第７図は、第６図の線―に
沿う断面図である。 ２…真空容器、４…ウエハ、６…ホルダベース
、８…搬送ベルト、２８ａ，２８ｂ…クランプア
ーム、３０ａ，３０ｂ…アーム支持部、４４…ア
ームスライドネジ、５４…押上げ棒、５８…回転
駆動軸。
持装置を示す平面図である。第２図は、第１図の
線―方向に見た側面図である。第３図は、第
１図のＰ部の拡大断面図である。第４図および第
５図は、それぞれ、第１図の装置の動作例を示す
図である。第６図は、従来のウエハ保持装置を示
す平面図である。第７図は、第６図の線―に
沿う断面図である。 ２…真空容器、４…ウエハ、６…ホルダベース
、８…搬送ベルト、２８ａ，２８ｂ…クランプア
ーム、３０ａ，３０ｂ…アーム支持部、４４…ア
ームスライドネジ、５４…押上げ棒、５８…回転
駆動軸。
Claims (1)
- 真空容器内に設けられていてその上にウエハが
搬送されて来るホルダベースと、ホルダベースに
回転自在に軸支されたネジと、ホルダベースに向
けて弾性付勢されていてウエハの周辺部を押圧す
る一対のアームであつて、その基部が前記ネジに
その回転によつて当該アームが互いに逆方向に同
距離スライドするように螺合されたものと、真空
容器外からその真空気密を保つた状態で前記アー
ムを押してホルダベースから離す押圧手段と、真
空容器外からその真空気密保つた状態で前記ネジ
を回転させる回転駆動手段とを備えることを特徴
とするウエハ保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16389785U JPH0717151Y2 (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | ウエハ保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16389785U JPH0717151Y2 (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | ウエハ保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6274629U true JPS6274629U (ja) | 1987-05-13 |
| JPH0717151Y2 JPH0717151Y2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=31092520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16389785U Expired - Lifetime JPH0717151Y2 (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | ウエハ保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0717151Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-10-25 JP JP16389785U patent/JPH0717151Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0717151Y2 (ja) | 1995-04-19 |
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