JPH0448258U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0448258U JPH0448258U JP9058290U JP9058290U JPH0448258U JP H0448258 U JPH0448258 U JP H0448258U JP 9058290 U JP9058290 U JP 9058290U JP 9058290 U JP9058290 U JP 9058290U JP H0448258 U JPH0448258 U JP H0448258U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporation
- center
- evaporation source
- evaporated
- disposed
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 7
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 7
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例による真空蒸着装置
の縦断面概略図、第２図はその部分平面図、第３
図はその動作を説明するための図、第４図は本考
案の他の実施例による部分平面図、第５図は従来
の真空蒸着装置の部分平面図、第６図は試料の斜
視図、第７図は従来の問題点を説明するための図
である。 １０……真空チヤンバ、１２……蒸発源、２０
……試料保持装置、２４……試料、２５……係止
部、２６……駆動モータ、２８……回転円板、２
９……駆動ピン、ｍ……放射中心。
の縦断面概略図、第２図はその部分平面図、第３
図はその動作を説明するための図、第４図は本考
案の他の実施例による部分平面図、第５図は従来
の真空蒸着装置の部分平面図、第６図は試料の斜
視図、第７図は従来の問題点を説明するための図
である。 １０……真空チヤンバ、１２……蒸発源、２０
……試料保持装置、２４……試料、２５……係止
部、２６……駆動モータ、２８……回転円板、２
９……駆動ピン、ｍ……放射中心。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 真空チヤンバの中央部に配置された蒸発源と、 前記蒸発源の周囲に配置され、被蒸着面の一部
に曲面を有する被蒸着部材と、 前記蒸着源と被蒸発部材とを相対的に回転させ
るための回転機構とを備え、 前記蒸着源は、蒸発物質の放射中心が回転中心
から偏位するように配置されている、 真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9058290U JPH0448258U (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9058290U JPH0448258U (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0448258U true JPH0448258U (ja) | 1992-04-23 |
Family
ID=31825467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9058290U Pending JPH0448258U (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0448258U (ja) |
-
1990
- 1990-08-28 JP JP9058290U patent/JPH0448258U/ja active Pending