JPS6029167U - エッチング装置等用試料駆動装置 - Google Patents

エッチング装置等用試料駆動装置

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Publication number
JPS6029167U
JPS6029167U JP12146383U JP12146383U JPS6029167U JP S6029167 U JPS6029167 U JP S6029167U JP 12146383 U JP12146383 U JP 12146383U JP 12146383 U JP12146383 U JP 12146383U JP S6029167 U JPS6029167 U JP S6029167U
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JP
Japan
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sample
gear
cooling fluid
vacuum chamber
fluid path
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JP12146383U
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English (en)
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JPS617244Y2 (ja
Inventor
吉川　善三郎
Original Assignee
日本電子株式会社
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS617244Y2 publication Critical patent/JPS617244Y2/ja
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  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の７実施例を示す断面図、第２図は第１
図をＡ−Ａ’力方向ら見た図、第３図は第１図をＢ−Ｂ
’力方向ら見た図、第４図及び第５図は杢考案の他の実
施例を示す断面図、第６図−は第５図をＡ−Ａ’力方向
ら見た図である。　２１・・・試料台、３・・・回転台
、８．１８．２４・・・支　、持合、９，１０・・・回
転シャフト、１６．　２７．　２　〜９．３０・・・奥
車、１９．２８・・・軸、１１・・・冷却流体導入口、
１２・・・冷却流体排出口、１３．２６・・・モニタ、
１４・・・レバー、１５・・・真空室、１７，２０．２
５・・・軸受。 第５図− ２５ノ　３　＼ ・　　　−２６１３− 又、３ ２９′−＼Ｉ

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 外周には回転駆動力を受ける歯車が刻設され内部には冷
    却流体路が穿設された試料台と、回転駆動力を受けるた
    めの外歯歯車が刻設されると共に端面の該歯車と同・ｑ
    円上部分に前記試料台が回転可能に取り付けられ内部に
    は前記試料台の冷却流体路に連通ずるように冷却流体路
    が穿設された回転台と、該回転台を回転可能に支持し且
    つ前記試−料台の歯車と噛合する太陽歯車を有し、更に
    試料台及び前記回転台を真空室のビームの照射方向に対
    して任意の傾斜角度に設定できるようにその一部が真空
    室の側壁から突出するように回転可能に一側壁に取り付
    けられ、内部に６１一端が前記回転台の冷却流体枠に連
    通し他端が真空室の外部に連通ずる冷却流体路が穿設さ
    ・れた支持台と、真空室の外部から前記試料台及び前詰
    回転台を回転駆動するための回転駆動手段とを備えたこ
    とを特徴とするエツチング装置等用試料駆動装置。
JP12146383U 1983-08-04 1983-08-04 エッチング装置等用試料駆動装置 Granted JPS6029167U (ja)

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JP12146383U JPS6029167U (ja) 1983-08-04 1983-08-04 エッチング装置等用試料駆動装置

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JP12146383U JPS6029167U (ja) 1983-08-04 1983-08-04 エッチング装置等用試料駆動装置

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Publication Number Publication Date
JPS6029167U true JPS6029167U (ja) 1985-02-27
JPS617244Y2 JPS617244Y2 (ja) 1986-03-05

Family

ID=30277992

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JP12146383U Granted JPS6029167U (ja) 1983-08-04 1983-08-04 エッチング装置等用試料駆動装置

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JP (1) JPS6029167U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01180968A (ja) * 1988-01-13 1989-07-18 Hitachi Ltd イオンビーム加工装置
JPH031961U (ja) * 1989-05-31 1991-01-10

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01180968A (ja) * 1988-01-13 1989-07-18 Hitachi Ltd イオンビーム加工装置
JPH031961U (ja) * 1989-05-31 1991-01-10

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JPS617244Y2 (ja) 1986-03-05

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