JPS63118228U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63118228U JPS63118228U JP844287U JP844287U JPS63118228U JP S63118228 U JPS63118228 U JP S63118228U JP 844287 U JP844287 U JP 844287U JP 844287 U JP844287 U JP 844287U JP S63118228 U JPS63118228 U JP S63118228U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- shutter
- rotating shaft
- evaporation sources
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す模式的正面図
、第２図は第１図の実施例のウエハ下面から見た
平面図、第３図は回転軸と回転導入口の結合部を
示す斜視図、第４図乃至第７図は本考案の他の実
施例における動作説明図、第８図は従来のシヤツ
ター装置を示す模式的正面図である。 １……ウエハ、２，３……蒸発源、４，５……
シヤツター、６……回転軸、７……回転導入口、
８，９……アーム。１０，１１，１２，１３……
ストツパ。
、第２図は第１図の実施例のウエハ下面から見た
平面図、第３図は回転軸と回転導入口の結合部を
示す斜視図、第４図乃至第７図は本考案の他の実
施例における動作説明図、第８図は従来のシヤツ
ター装置を示す模式的正面図である。 １……ウエハ、２，３……蒸発源、４，５……
シヤツター、６……回転軸、７……回転導入口、
８，９……アーム。１０，１１，１２，１３……
ストツパ。
Claims (1)
- 真空雰囲気中における複数の蒸発源よりの分子
線をシヤツターによつて制御しながら基板等の表
面に薄膜を形成する真空蒸発装置において、被薄
膜形成材に対し直角に配設された回転軸と、該回
転軸に固定されると共にその回転に応じて前記複
数の蒸発源の各々の分子線経路を開閉する複数の
シヤツターとを設けたことを特徴とする薄膜形成
用シヤツター装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP844287U JPS63118228U (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP844287U JPS63118228U (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63118228U true JPS63118228U (ja) | 1988-07-30 |
Family
ID=30792821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP844287U Pending JPS63118228U (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63118228U (ja) |
-
1987
- 1987-01-23 JP JP844287U patent/JPS63118228U/ja active Pending