JPS6016319U - 真空蒸着による薄膜形成装置 - Google Patents
真空蒸着による薄膜形成装置Info
- Publication number
- JPS6016319U JPS6016319U JP10927083U JP10927083U JPS6016319U JP S6016319 U JPS6016319 U JP S6016319U JP 10927083 U JP10927083 U JP 10927083U JP 10927083 U JP10927083 U JP 10927083U JP S6016319 U JPS6016319 U JP S6016319U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- film forming
- vacuum evaporation
- evaporation
- crucible
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
１ 第１図は、この考案の一実施例を示す断面説明
図、第２図は、同実施例における移動機構の一例を示す
要部斜視説明図である。 、 ７・・・電子銃、８・・・坩堝、９・・・マス
ク、１０・・・移動機構、ａ・・・基材、ｂ・・・蒸着
材料。
図、第２図は、同実施例における移動機構の一例を示す
要部斜視説明図である。 、 ７・・・電子銃、８・・・坩堝、９・・・マス
ク、１０・・・移動機構、ａ・・・基材、ｂ・・・蒸着
材料。
Claims (1)
- 蒸着材料を収納する坩堝と、この蒸着材料に電子線を照
射する電子線照射手段と、入射角規制用のマスクを備え
、電子線の照射により加熱蒸発させた蒸着材料の蒸発気
流を上記マスクに通して基材の表面に一定の角度で入射
させ、その表面に同蒸着材料の薄膜を形成するようにし
た真空蒸着による薄膜形成装置において、上記マスクに
よる入射角規制方向と直行する方向において、坩堝を２
次元的に移動させるよう同坩堝に移動機構を連結：
したことを特徴とする真空蒸着による薄膜形成装置
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10927083U JPS6016319U (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | 真空蒸着による薄膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10927083U JPS6016319U (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | 真空蒸着による薄膜形成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6016319U true JPS6016319U (ja) | 1985-02-04 |
Family
ID=30254610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10927083U Pending JPS6016319U (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | 真空蒸着による薄膜形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6016319U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5736437A (en) * | 1980-08-14 | 1982-02-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | Producing device of magnetic recording medium |
| JPS5718134B2 (ja) * | 1975-07-01 | 1982-04-15 |
-
1983
- 1983-07-14 JP JP10927083U patent/JPS6016319U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5718134B2 (ja) * | 1975-07-01 | 1982-04-15 | ||
| JPS5736437A (en) * | 1980-08-14 | 1982-02-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | Producing device of magnetic recording medium |
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