JPH0389161U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0389161U JPH0389161U JP15215189U JP15215189U JPH0389161U JP H0389161 U JPH0389161 U JP H0389161U JP 15215189 U JP15215189 U JP 15215189U JP 15215189 U JP15215189 U JP 15215189U JP H0389161 U JPH0389161 U JP H0389161U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- sputtering device
- degrees
- substrate holder
- sputtering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第1図は本考案はの実施例の概略を示す側面図
、第2図乃至第4図は第1図のスパツタ装置の一
部の各動作状態を示す部分側面図である。第5図
は従来のスパツタ装置の概略を示す正面図、第6
図は他の従来のスパツタ装置の概略を示す平面図
、第7図は第6図のスパツタ装置の部分拡大側面
図である。 2……基板、12……基板ホルダー、13……
ターゲツト。
、第2図乃至第4図は第1図のスパツタ装置の一
部の各動作状態を示す部分側面図である。第5図
は従来のスパツタ装置の概略を示す正面図、第6
図は他の従来のスパツタ装置の概略を示す平面図
、第7図は第6図のスパツタ装置の部分拡大側面
図である。 2……基板、12……基板ホルダー、13……
ターゲツト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板ホルダーに保持された基板に、この基板と
平行に対向させて配置されたターゲツトから放出
された金属材料を膜状に付着させるスパツタ装置
において、 前記ターゲツトを下向き、前記基板ホルダーと
基板を上向きにして、それぞれを鉛直方向に対し
て数度乃至10数度の所定の角度で傾斜させて配
置したことを特徴とするスパツタ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15215189U JPH0389161U (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15215189U JPH0389161U (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0389161U true JPH0389161U (ja) | 1991-09-11 |
Family
ID=31698426
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15215189U Pending JPH0389161U (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0389161U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09195035A (ja) * | 1996-01-10 | 1997-07-29 | Teijin Ltd | 透明導電性フィルムの製造装置 |
-
1989
- 1989-12-28 JP JP15215189U patent/JPH0389161U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09195035A (ja) * | 1996-01-10 | 1997-07-29 | Teijin Ltd | 透明導電性フィルムの製造装置 |