JPS6032361U - 真空蒸着装置に於けるるつぼ交換装置 - Google Patents
真空蒸着装置に於けるるつぼ交換装置Info
- Publication number
- JPS6032361U JPS6032361U JP12329883U JP12329883U JPS6032361U JP S6032361 U JPS6032361 U JP S6032361U JP 12329883 U JP12329883 U JP 12329883U JP 12329883 U JP12329883 U JP 12329883U JP S6032361 U JPS6032361 U JP S6032361U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum evaporation
- exchange device
- crucible
- evaporation equipment
- crucible exchange
- Prior art date
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- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案装置の１例の平面図、第２図はその■−
■線截線側断側面図３図はその変形例の数個面図である
。 １・・・・・・真空室、２・・・・・・るつぼ、３・・
・・・・加熱装置、４・・・・・・テーブル。
■線截線側断側面図３図はその変形例の数個面図である
。 １・・・・・・真空室、２・・・・・・るつぼ、３・・
・・・・加熱装置、４・・・・・・テーブル。
Claims (1)
- 真空室１内に蒸発材料を収容したるつぼ２とこれを加熱
して該材料を溶解させる加熱装置３とを設ける式のもに
於て、複数個のるつぼ２を備え且つこれを順次加熱装置
３に収容する旋回並びに昇降自在のテーブル４を設けて
成る真空蒸着装置に於けるるつぼ交換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12329883U JPS6032361U (ja) | 1983-08-10 | 1983-08-10 | 真空蒸着装置に於けるるつぼ交換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12329883U JPS6032361U (ja) | 1983-08-10 | 1983-08-10 | 真空蒸着装置に於けるるつぼ交換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6032361U true JPS6032361U (ja) | 1985-03-05 |
| JPH0238923Y2 JPH0238923Y2 (ja) | 1990-10-19 |
Family
ID=30281506
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12329883U Granted JPS6032361U (ja) | 1983-08-10 | 1983-08-10 | 真空蒸着装置に於けるるつぼ交換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6032361U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004030416A1 (en) * | 2002-08-30 | 2004-04-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Fabrication system, light-emitting device and fabricating method of organic compound-containing layer |
| US8025735B2 (en) * | 2005-03-09 | 2011-09-27 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Multiple vacuum evaporation coating device and method for controlling the same |
| JP2012246534A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Nec Corp | 蒸着装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4494126B2 (ja) * | 2003-08-15 | 2010-06-30 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 成膜装置および製造装置 |
-
1983
- 1983-08-10 JP JP12329883U patent/JPS6032361U/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004030416A1 (en) * | 2002-08-30 | 2004-04-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Fabrication system, light-emitting device and fabricating method of organic compound-containing layer |
| US8025735B2 (en) * | 2005-03-09 | 2011-09-27 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Multiple vacuum evaporation coating device and method for controlling the same |
| US8623455B2 (en) | 2005-03-09 | 2014-01-07 | Samsung Display Co., Ltd. | Multiple vacuum evaporation coating device and method for controlling the same |
| JP2012246534A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Nec Corp | 蒸着装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0238923Y2 (ja) | 1990-10-19 |
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