JPS5842157U - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置Info
- Publication number
- JPS5842157U JPS5842157U JP13527381U JP13527381U JPS5842157U JP S5842157 U JPS5842157 U JP S5842157U JP 13527381 U JP13527381 U JP 13527381U JP 13527381 U JP13527381 U JP 13527381U JP S5842157 U JPS5842157 U JP S5842157U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum deposition
- deposition equipment
- substrate holder
- mask
- deposition chamber
- Prior art date
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- Granted
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の実施例を示す構成図、第２図イは基板
ホルダーの平面図、第２図口は基板ホルダーの側面図、
第３図は半導体基板をマスクを介して取付けた基板ホル
ダーの断面図である。 １・・・・・・蒸着室、２・・・・・・ホルダ、３・・
・・・・加熱源、９・・・・・・マスク。
ホルダーの平面図、第２図口は基板ホルダーの側面図、
第３図は半導体基板をマスクを介して取付けた基板ホル
ダーの断面図である。 １・・・・・・蒸着室、２・・・・・・ホルダ、３・・
・・・・加熱源、９・・・・・・マスク。
Claims (1)
- 蒸着室内の下部にソースの加熱源を設け、その上方に向
き合せてドーム型の基板ホルダーを回転可能に配設し、
該基板ホルダーに多数の孔を開口し、各孔内に所要のパ
ターンを有するマスクを装備したことを特徴とする真空
蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13527381U JPS5842157U (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13527381U JPS5842157U (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | 真空蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5842157U true JPS5842157U (ja) | 1983-03-19 |
| JPS6120031Y2 JPS6120031Y2 (ja) | 1986-06-17 |
Family
ID=29928647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13527381U Granted JPS5842157U (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5842157U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS609241U (ja) * | 1983-06-28 | 1985-01-22 | 株式会社東芝 | 太陽光発電設備 |
-
1981
- 1981-09-11 JP JP13527381U patent/JPS5842157U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS609241U (ja) * | 1983-06-28 | 1985-01-22 | 株式会社東芝 | 太陽光発電設備 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6120031Y2 (ja) | 1986-06-17 |
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