JPS6032360U - 真空蒸着装置に於けるるつぼ交換装置 - Google Patents
真空蒸着装置に於けるるつぼ交換装置Info
- Publication number
- JPS6032360U JPS6032360U JP12275783U JP12275783U JPS6032360U JP S6032360 U JPS6032360 U JP S6032360U JP 12275783 U JP12275783 U JP 12275783U JP 12275783 U JP12275783 U JP 12275783U JP S6032360 U JPS6032360 U JP S6032360U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- vacuum evaporation
- exchange device
- evaporation equipment
- crucible exchange
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の実施例の平面図、第２図はそのｎ−ｎ
線截断面図である。 １・・・・・・真空室、２・・・・・・るつぼ、２ａ・
・・・・・フランジ、３・・・・・・加熱装置、４・・
・・・・るつぼ貯蔵装置、５・・・・・・移送装置。
線截断面図である。 １・・・・・・真空室、２・・・・・・るつぼ、２ａ・
・・・・・フランジ、３・・・・・・加熱装置、４・・
・・・・るつぼ貯蔵装置、５・・・・・・移送装置。
Claims (1)
- 真空室１内に蒸発材料を収容したるつぼ２とこれを加熱
して該材料を溶解させる加熱装置３とを設ける式のもの
に於て、該るつぼ２の外周にフランジ２ａを形成してそ
の複数個を該加熱装置３とその′側方のるつぼ貯蔵装置
４とに着脱自在に収容し、該るつぼ２のフランジ２ａを
把持して該加熱装置３と貯蔵装置４の間を往復動する移
送装置５を設けて成る真空蒸着装置に於けるるつぼ交換
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12275783U JPS6032360U (ja) | 1983-08-06 | 1983-08-06 | 真空蒸着装置に於けるるつぼ交換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12275783U JPS6032360U (ja) | 1983-08-06 | 1983-08-06 | 真空蒸着装置に於けるるつぼ交換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6032360U true JPS6032360U (ja) | 1985-03-05 |
| JPH0238922Y2 JPH0238922Y2 (ja) | 1990-10-19 |
Family
ID=30280469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12275783U Granted JPS6032360U (ja) | 1983-08-06 | 1983-08-06 | 真空蒸着装置に於けるるつぼ交換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6032360U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0585848U (ja) * | 1992-04-27 | 1993-11-19 | 石川島播磨重工業株式会社 | 電子ビーム銃 |
| JP2012246534A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Nec Corp | 蒸着装置 |
-
1983
- 1983-08-06 JP JP12275783U patent/JPS6032360U/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0585848U (ja) * | 1992-04-27 | 1993-11-19 | 石川島播磨重工業株式会社 | 電子ビーム銃 |
| JP2012246534A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Nec Corp | 蒸着装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0238922Y2 (ja) | 1990-10-19 |
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