JPS6032360U - 真空蒸着装置に於けるるつぼ交換装置 - Google Patents

真空蒸着装置に於けるるつぼ交換装置

Info

Publication number
JPS6032360U
JPS6032360U JP12275783U JP12275783U JPS6032360U JP S6032360 U JPS6032360 U JP S6032360U JP 12275783 U JP12275783 U JP 12275783U JP 12275783 U JP12275783 U JP 12275783U JP S6032360 U JPS6032360 U JP S6032360U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
crucible
vacuum evaporation
exchange device
evaporation equipment
crucible exchange
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP12275783U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0238922Y2 (ja
Inventor
土谷 高陽
Original Assignee
日本真空技術株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本真空技術株式会社 filed Critical 日本真空技術株式会社
Priority to JP12275783U priority Critical patent/JPS6032360U/ja
Publication of JPS6032360U publication Critical patent/JPS6032360U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0238922Y2 publication Critical patent/JPH0238922Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の実施例の平面図、第2図はそのn−n
線截断面図である。 1・・・・・・真空室、2・・・・・・るつぼ、2a・
・・・・・フランジ、3・・・・・・加熱装置、4・・
・・・・るつぼ貯蔵装置、5・・・・・・移送装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空室1内に蒸発材料を収容したるつぼ2とこれを加熱
    して該材料を溶解させる加熱装置3とを設ける式のもの
    に於て、該るつぼ2の外周にフランジ2aを形成してそ
    の複数個を該加熱装置3とその′側方のるつぼ貯蔵装置
    4とに着脱自在に収容し、該るつぼ2のフランジ2aを
    把持して該加熱装置3と貯蔵装置4の間を往復動する移
    送装置5を設けて成る真空蒸着装置に於けるるつぼ交換
    装置。
JP12275783U 1983-08-06 1983-08-06 真空蒸着装置に於けるるつぼ交換装置 Granted JPS6032360U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12275783U JPS6032360U (ja) 1983-08-06 1983-08-06 真空蒸着装置に於けるるつぼ交換装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12275783U JPS6032360U (ja) 1983-08-06 1983-08-06 真空蒸着装置に於けるるつぼ交換装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6032360U true JPS6032360U (ja) 1985-03-05
JPH0238922Y2 JPH0238922Y2 (ja) 1990-10-19

Family

ID=30280469

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12275783U Granted JPS6032360U (ja) 1983-08-06 1983-08-06 真空蒸着装置に於けるるつぼ交換装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6032360U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0585848U (ja) * 1992-04-27 1993-11-19 石川島播磨重工業株式会社 電子ビーム銃
JP2012246534A (ja) * 2011-05-27 2012-12-13 Nec Corp 蒸着装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0585848U (ja) * 1992-04-27 1993-11-19 石川島播磨重工業株式会社 電子ビーム銃
JP2012246534A (ja) * 2011-05-27 2012-12-13 Nec Corp 蒸着装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0238922Y2 (ja) 1990-10-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6032360U (ja) 真空蒸着装置に於けるるつぼ交換装置
JPS6032361U (ja) 真空蒸着装置に於けるるつぼ交換装置
JPS5815196U (ja) 熱処理炉用移送盤
JPS59191078U (ja) 蓄熱装置
JPS6124472U (ja) 昇華式結晶成長装置
JPS5842159U (ja) 間接抵抗加熱式蒸発源
JPS5910291U (ja) 発熱物収納容器
JPS5842160U (ja) 間接抵抗熱式蒸発源
JPS59103769U (ja) 分子線源セル
JPS58112956U (ja) 試料皿
JPS5840045U (ja) ネクタイ掛兼用ハンガ−
JPS59186233U (ja) 温度管理材付きカツプ容器
JPS59127458U (ja) 水栽培保温器
JPS58131964U (ja) 半導体物質溶融用黒鉛ルツボ
JPS58143320U (ja) カンヅメのふた
JPS5980669U (ja) 熱交換トレイ
JPS58116001U (ja) 凝結融解槽
JPS58171884U (ja) 卵運搬器
JPS6024234U (ja) 温度センサ−つき鍋蓋の把手
JPS6129662U (ja) 変型ぶた付急須
JPS6062472U (ja) 保温容器
JPS5972474U (ja) ガラス氷
JPS5948052U (ja) ウエ−ハ搬送装置
JPS58124169U (ja) 保温用ゴルフボ−ルケ−ス
JPS5943365U (ja) 包装体