JPS5842159U - 間接抵抗加熱式蒸発源 - Google Patents
間接抵抗加熱式蒸発源Info
- Publication number
- JPS5842159U JPS5842159U JP13819381U JP13819381U JPS5842159U JP S5842159 U JPS5842159 U JP S5842159U JP 13819381 U JP13819381 U JP 13819381U JP 13819381 U JP13819381 U JP 13819381U JP S5842159 U JPS5842159 U JP S5842159U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporation source
- resistance heating
- crucible
- indirect resistance
- heating type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、従来の間接抵抗加熱式蒸発源の構成を示す概
略図、第２図、第３図、第４゛図は、この考案に係る間
接抵抗加熱式蒸発源の構成と各態様を示す概略図である
。 １・・・・・・ヒータ、２・・・・・・ルツボ、３・・
・・・・カーボンシート。
略図、第２図、第３図、第４゛図は、この考案に係る間
接抵抗加熱式蒸発源の構成と各態様を示す概略図である
。 １・・・・・・ヒータ、２・・・・・・ルツボ、３・・
・・・・カーボンシート。
Claims (3)
- （１）巻回しているヒータ中にルツボを挿着してなる間
接加熱式蒸発源において、上記ルツボの側面に沿った外
側に、カーボンシートを介在させ、該ルツボを巻回して
いるヒータ中に挿着させたことを特徴とする間接抵抗加
熱式蒸発源。 - （２）ルツボの底面および側面にカーボンシートを介在
させたことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
記載の間接抵抗加熱式蒸発源。 - （３） ルツボの側面に沿ったカーボンシートの上部
を外側に延設したことを特徴とする実用新案登録請求の
範囲第１項記載の間接抵抗加熱式蒸発源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13819381U JPS6038671Y2 (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | 間接抵抗加熱式蒸発源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13819381U JPS6038671Y2 (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | 間接抵抗加熱式蒸発源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5842159U true JPS5842159U (ja) | 1983-03-19 |
| JPS6038671Y2 JPS6038671Y2 (ja) | 1985-11-19 |
Family
ID=29931425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13819381U Expired JPS6038671Y2 (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | 間接抵抗加熱式蒸発源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6038671Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6091490U (ja) * | 1983-11-28 | 1985-06-22 | 武藤工業株式会社 | 自動製図機の芯ヘツドにおける押しピン曲がり防止機構 |
-
1981
- 1981-09-16 JP JP13819381U patent/JPS6038671Y2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6091490U (ja) * | 1983-11-28 | 1985-06-22 | 武藤工業株式会社 | 自動製図機の芯ヘツドにおける押しピン曲がり防止機構 |
| JPH0217920Y2 (ja) * | 1983-11-28 | 1990-05-18 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6038671Y2 (ja) | 1985-11-19 |
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