JPS5940358U - 蒸着物質収容器 - Google Patents

蒸着物質収容器

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Publication number
JPS5940358U
JPS5940358U JP13445782U JP13445782U JPS5940358U JP S5940358 U JPS5940358 U JP S5940358U JP 13445782 U JP13445782 U JP 13445782U JP 13445782 U JP13445782 U JP 13445782U JP S5940358 U JPS5940358 U JP S5940358U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vapor deposition
deposition material
container
material container
detection means
Prior art date
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Pending
Application number
JP13445782U
Other languages
English (en)
Inventor
博行 森口
彰 西脇
保雄 諸星
野守　弘之
Original Assignee
コニカ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by コニカ株式会社 filed Critical コニカ株式会社
Priority to JP13445782U priority Critical patent/JPS5940358U/ja
Publication of JPS5940358U publication Critical patent/JPS5940358U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の実施例を示すものであつそ、第１図は真
空蒸着装置の概略断面図、第２図は蒸発源部分の拡大断
面図である。 なお、図面に用いられている符号において、２・・・・
・・ペルジャー、３・・・・・・蒸発源、４・・・・・
・基体、６・・・・・・蒸発物質、７・・・・・・ヒー
ター、８・・・・・・容器、１０・・・・・・蒸気通過
口、１１・・・・・・突沸防止板、１２゜１２′・・・
・・・熱電対、′１３・・・・・・上端開口部、１４・
・・・・・スリット、１５・・・・・・蒸気流制御板で
ある。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　容器内に収容した蒸着物質を加熱、蒸発せしめて基
    体上に蒸着させるに際し用いられる蒸着物質収容器にお
    いて、前記容器の外壁面に温度検知手段が設けられ、こ
    れによって前記蒸着物質の温度が制御されることを特徴
    とする蒸着物質収容器。 ２　温度検知手段が熱電対からなっている、実用新案登
    録請求の範囲の第１項に記載した蒸着物質収容器。
JP13445782U 1982-09-04 1982-09-04 蒸着物質収容器 Pending JPS5940358U (ja)

Priority Applications (1)

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JP13445782U JPS5940358U (ja) 1982-09-04 1982-09-04 蒸着物質収容器

Applications Claiming Priority (1)

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JP13445782U JPS5940358U (ja) 1982-09-04 1982-09-04 蒸着物質収容器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5940358U true JPS5940358U (ja) 1984-03-15

Family

ID=30302957

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13445782U Pending JPS5940358U (ja) 1982-09-04 1982-09-04 蒸着物質収容器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5940358U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6238164U (ja) * 1985-08-28 1987-03-06

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6011102A (ja) * 1983-07-01 1985-01-21 Inoue Japax Res Inc スケ−ル

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6011102A (ja) * 1983-07-01 1985-01-21 Inoue Japax Res Inc スケ−ル

Cited By (1)

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