JPH0448259U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0448259U JPH0448259U JP9112790U JP9112790U JPH0448259U JP H0448259 U JPH0448259 U JP H0448259U JP 9112790 U JP9112790 U JP 9112790U JP 9112790 U JP9112790 U JP 9112790U JP H0448259 U JPH0448259 U JP H0448259U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- electron beam
- outlet
- inlet
- vacuum chamber
- Prior art date
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- Pending
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- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 5
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 claims 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
Description
第１図は本考案実施例の外観図で、第２図はそ
の縦断面図である。また、第３図は本考案実施例
の使用状態を示す図である。 １……ハース本体、１ａ……電子ビーム導入口
、１ｂ……蒸気出口、２……ネツト、Ｂ……電子
ビーム、Ｍ……蒸着材料。
の縦断面図である。また、第３図は本考案実施例
の使用状態を示す図である。 １……ハース本体、１ａ……電子ビーム導入口
、１ｂ……蒸気出口、２……ネツト、Ｂ……電子
ビーム、Ｍ……蒸着材料。
Claims (1)
- 真空室内の蒸着材料に電子ビームを照射するこ
とによりその材料を蒸発させ、上記真空室内に置
かれた基板表面に蒸着膜を形成する装置において
、上記蒸着材料を収容するハースであつて、電子
ビーム導入口および蒸気出口のみが開口された略
密閉構造で、かつその導入口および出口は、当該
蒸着装置に設置された状態では膜を形成すべき基
板に対面しない位置に設けられているとともに、
上記蒸気出口にはネツトが取り付けられているこ
とを特徴とする、電子ビーム蒸着装置用ハース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9112790U JPH0448259U (ja) | 1990-08-29 | 1990-08-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9112790U JPH0448259U (ja) | 1990-08-29 | 1990-08-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0448259U true JPH0448259U (ja) | 1992-04-23 |
Family
ID=31826461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9112790U Pending JPH0448259U (ja) | 1990-08-29 | 1990-08-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0448259U (ja) |
-
1990
- 1990-08-29 JP JP9112790U patent/JPH0448259U/ja active Pending