JPS6260253U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6260253U JPS6260253U JP15185685U JP15185685U JPS6260253U JP S6260253 U JPS6260253 U JP S6260253U JP 15185685 U JP15185685 U JP 15185685U JP 15185685 U JP15185685 U JP 15185685U JP S6260253 U JPS6260253 U JP S6260253U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- crucible
- door
- thin film
- vacuum container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す斜視図、第
２図は従来装置の斜視図、第３図は従来の薄膜形
成装置を示す断面図である。 図において、１は真空容器、３は坩堝、５は基
板、６ａは蒸着物質、６ｂは蒸気、７，９はフイ
ラメント、８はグリツド、１０は加速電極、１２
は蒸気発生源、１３は扉、１５は基板ホルダであ
る。なお、図中同一符号は同一又は相当部分を示
す。
２図は従来装置の斜視図、第３図は従来の薄膜形
成装置を示す断面図である。 図において、１は真空容器、３は坩堝、５は基
板、６ａは蒸着物質、６ｂは蒸気、７，９はフイ
ラメント、８はグリツド、１０は加速電極、１２
は蒸気発生源、１３は扉、１５は基板ホルダであ
る。なお、図中同一符号は同一又は相当部分を示
す。
補正 昭６１．２．２０
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書第７頁第９行の「１２」という記載を「
１１」と補正する。
１１」と補正する。
Claims (1)
- 真空容器内に配置された坩堝内で基板に対する
蒸着物質をフイラメントによつて加熱し、この坩
堝の小孔から噴出した蒸気をグリツドによつてイ
オン化した後このイオン化蒸気を上記基板方向に
加速する加速電極を具備した蒸気発生源と、この
蒸気発生源から供給されたイオン化蒸気によつて
薄膜の形成された上記基板を保持する基板ホルダ
と、上記真空容器内を真空状態に保持する開閉自
在に上記真空容器に取付けられた扉とを備えた薄
膜形成装置において、上記扉の閉塞時に上記基板
を上記坩堝の小孔上方に位置する基板ホルダとし
て上記扉内壁に延設したことを特徴とする薄膜形
成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15185685U JPS6260253U (ja) | 1985-10-03 | 1985-10-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15185685U JPS6260253U (ja) | 1985-10-03 | 1985-10-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6260253U true JPS6260253U (ja) | 1987-04-14 |
Family
ID=31069305
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15185685U Pending JPS6260253U (ja) | 1985-10-03 | 1985-10-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6260253U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS599006U (ja) * | 1982-07-12 | 1984-01-20 | 深作 保 | ワンタツチ着脱足袋 |
-
1985
- 1985-10-03 JP JP15185685U patent/JPS6260253U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS599006U (ja) * | 1982-07-12 | 1984-01-20 | 深作 保 | ワンタツチ着脱足袋 |
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