JPH0287065U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0287065U JPH0287065U JP16589988U JP16589988U JPH0287065U JP H0287065 U JPH0287065 U JP H0287065U JP 16589988 U JP16589988 U JP 16589988U JP 16589988 U JP16589988 U JP 16589988U JP H0287065 U JPH0287065 U JP H0287065U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating container
- evaporation
- upward opening
- shaped rotating
- vacuum
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 4
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の基本的実施例の真空蒸着装置
の縦断側面図、第２図はその変形を含む回転容器
の正面図、第３図は本考案の変形実施例の回転容
器の縦断側面図、第４図は他の変形実施例の回転
容器群の縦断側面図、第５図はその正面図、第６
図は従来技術の真空蒸着装置の破断を示した斜視
図、第７図はその部分の縦断端面図である。 １……真空槽、２……回転軸封装置、３……傾
斜回転軸、４，４Ａ，４ａ，４ｂ，４ｃ……回転
容器、５……小形物品、６……蒸着源、７……掻
上板、ａ……真空槽、ｂ……容器、ｂ′……周面
、ｃ……小形物品、ｄ……蒸発源。
の縦断側面図、第２図はその変形を含む回転容器
の正面図、第３図は本考案の変形実施例の回転容
器の縦断側面図、第４図は他の変形実施例の回転
容器群の縦断側面図、第５図はその正面図、第６
図は従来技術の真空蒸着装置の破断を示した斜視
図、第７図はその部分の縦断端面図である。 １……真空槽、２……回転軸封装置、３……傾
斜回転軸、４，４Ａ，４ａ，４ｂ，４ｃ……回転
容器、５……小形物品、６……蒸着源、７……掻
上板、ａ……真空槽、ｂ……容器、ｂ′……周面
、ｃ……小形物品、ｄ……蒸発源。
Claims (1)
- 真空槽内に多数の小形物品からなるサブストレ
ートを収容して傾斜軸線のまわりに回転する上向
開口のたらい状回転容器に対し、その上位に回転
容器中のサブストレート集積個所に向けられた下
向き蒸発面の蒸着材料蒸発源を設けたことを特徴
とする真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16589988U JPH0287065U (ja) | 1988-12-21 | 1988-12-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16589988U JPH0287065U (ja) | 1988-12-21 | 1988-12-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0287065U true JPH0287065U (ja) | 1990-07-10 |
Family
ID=31452803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16589988U Pending JPH0287065U (ja) | 1988-12-21 | 1988-12-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0287065U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005247615A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Ricoh Co Ltd | Ｉｉｉ族窒化物の結晶成長方法及び結晶成長装置 |
| JP2007204784A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Bridgestone Corp | 粒子コーティング方法及び粒子コーティング装置 |
| JP2016176127A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | 株式会社豊田中央研究所 | 成膜装置および成膜方法 |
-
1988
- 1988-12-21 JP JP16589988U patent/JPH0287065U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005247615A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Ricoh Co Ltd | Ｉｉｉ族窒化物の結晶成長方法及び結晶成長装置 |
| JP4560308B2 (ja) * | 2004-03-03 | 2010-10-13 | 株式会社リコー | Ｉｉｉ族窒化物の結晶製造方法 |
| JP2007204784A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Bridgestone Corp | 粒子コーティング方法及び粒子コーティング装置 |
| JP2016176127A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | 株式会社豊田中央研究所 | 成膜装置および成膜方法 |