JPH036459U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH036459U JPH036459U JP6741389U JP6741389U JPH036459U JP H036459 U JPH036459 U JP H036459U JP 6741389 U JP6741389 U JP 6741389U JP 6741389 U JP6741389 U JP 6741389U JP H036459 U JPH036459 U JP H036459U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lid
- crucible
- crucible body
- cap
- screw
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims 1
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- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は実施例に係る真空薄膜蒸着装置のるつ
ぼの断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線に沿う断
面図、第３図はねじ込み式キヤツプの断面図、第
４図はふたに設けられた材料投入口の断面図、第
５図は従来の技術によるるつぼ本体とふたとの断
面図、第６図は真空薄膜蒸着装置の概念図である
。 １……るつぼ本体、２……ふた、３……材料投
入口、５……ねじ込み式キヤツプ。
ぼの断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線に沿う断
面図、第３図はねじ込み式キヤツプの断面図、第
４図はふたに設けられた材料投入口の断面図、第
５図は従来の技術によるるつぼ本体とふたとの断
面図、第６図は真空薄膜蒸着装置の概念図である
。 １……るつぼ本体、２……ふた、３……材料投
入口、５……ねじ込み式キヤツプ。
Claims (1)
- るつぼ本体１のふた２にねじ込み式キヤツプ５
を備えた材料投入口３を設け、前記ふた２をるつ
ぼ本体１に溶着して、るつぼ本体１とふた２とを
一体構造としたことを特徴とする真空蒸着装置の
るつぼ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6741389U JPH036459U (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6741389U JPH036459U (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH036459U true JPH036459U (ja) | 1991-01-22 |
Family
ID=31600963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6741389U Pending JPH036459U (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH036459U (ja) |
-
1989
- 1989-06-09 JP JP6741389U patent/JPH036459U/ja active Pending