JPH0389269U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0389269U JPH0389269U JP15208489U JP15208489U JPH0389269U JP H0389269 U JPH0389269 U JP H0389269U JP 15208489 U JP15208489 U JP 15208489U JP 15208489 U JP15208489 U JP 15208489U JP H0389269 U JPH0389269 U JP H0389269U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- base material
- resistant film
- corrosion
- utility
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Details Of Valves (AREA)
- Diaphragms And Bellows (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第1図はこの考案のダイヤフラムの構成例を示
す概念図、第2図はこの考案の実施のために用い
られる薄膜形成装置の構成例を示す概念図、第3
図はバルブの構造を示す概念図である。 X…ダイヤフラム、1…母材、2…ミキシング
層、3…耐蝕性膜。
す概念図、第2図はこの考案の実施のために用い
られる薄膜形成装置の構成例を示す概念図、第3
図はバルブの構造を示す概念図である。 X…ダイヤフラム、1…母材、2…ミキシング
層、3…耐蝕性膜。
Claims (1)
- 母材の表面に、真空蒸着とイオン照射とを併用
して耐蝕性膜を形成したダイヤフラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15208489U JPH0389269U (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15208489U JPH0389269U (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0389269U true JPH0389269U (ja) | 1991-09-11 |
Family
ID=31698362
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15208489U Pending JPH0389269U (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0389269U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005157135A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 情報表示方法及びシステム及びプログラム |
-
1989
- 1989-12-27 JP JP15208489U patent/JPH0389269U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005157135A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 情報表示方法及びシステム及びプログラム |