JPH0399776U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0399776U JPH0399776U JP916790U JP916790U JPH0399776U JP H0399776 U JPH0399776 U JP H0399776U JP 916790 U JP916790 U JP 916790U JP 916790 U JP916790 U JP 916790U JP H0399776 U JPH0399776 U JP H0399776U
- Authority
- JP
- Japan
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- wall
- crucible
- vapor deposition
- deposition material
- distance
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案実施例の構造を示す図で、第２
図はその実施例の使用例を示す図である。第３図
は本考案実施例の他の使用例を説明する図である
。第４図は本考案の他の実施例の構造を示す図で
ある。第５図は、ＭＢＥ装置に用いられる分子線
セルの一般的に構造例を示す図である。 １……るつぼ、１ａ……外壁、１ｂ……内壁、
２……ヒータ、Ａ……空間、Ｍ……蒸着材料。
図はその実施例の使用例を示す図である。第３図
は本考案実施例の他の使用例を説明する図である
。第４図は本考案の他の実施例の構造を示す図で
ある。第５図は、ＭＢＥ装置に用いられる分子線
セルの一般的に構造例を示す図である。 １……るつぼ、１ａ……外壁、１ｂ……内壁、
２……ヒータ、Ａ……空間、Ｍ……蒸着材料。
Claims (1)
- 蒸着材料を真空雰囲気中で加熱することにより
その材料を蒸発させて基板表面に蒸着膜を形成す
る装置において、上記蒸着材料を収容するるつぼ
であつて、筒状の外壁と、その外壁と一定の距離
隔てて形成された筒状の内壁を備え、この内壁と
上記外壁との間の空間に蒸着材料を収容し得るよ
う構成したことを特徴とする、蒸着装置用るつぼ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP916790U JPH0399776U (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP916790U JPH0399776U (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0399776U true JPH0399776U (ja) | 1991-10-18 |
Family
ID=31512773
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP916790U Pending JPH0399776U (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0399776U (ja) |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP916790U patent/JPH0399776U/ja active Pending