JPS6283866U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は膜を形成する基板となる自動車用ミラ
ーを示す斜視図、第２図は本考案の第１実施例を
示す斜視図、第３図は本考案の第２実施例を示す
断面図、第４図は第２実施例の変形例を示す要部
断面図、第５図は本考案の第３実施例を示す断面
図、第６図は従来例を示す概略図である。 １０，１０′……ベルジヤー、１０ｃ……開口
部、１１，２４，２５……Ｏリング、１２……ボ
ード、１３……蒸着材料、１４……電源、１５…
…排気管、２０……基板、２１……膜、２２……
底壁部材、２３……外周壁部材、Ｒ……密閉室。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ベルジヤーに接続した真空排気系により、
   ベルジヤー内を真空引きした後、ベルジヤー内に
   設置している成膜材料を加熱して基板に膜を形成
   する装置にして、 上記ベルジヤーの一部に開口部を設け、該開口
   部にＯリングを介して成膜すべき部分の基板を密
   着して設置し、該基板とベルジヤーとによつて密
   閉室を構成し、該密閉室内に露出している基板の
   部分にのみ膜を形成することを特徴とする真空成
   膜装置。 (2) 実用新案登録請求の範囲(1)記載の装置にお
   いて、ベルジヤーを外周壁部材と底壁部材とに分
   割して着脱自在に連結する分解式とし、外周壁部
   材の基板密着側の開口端面を平面あるいは曲面な
   ど任意の形状とし、基板の形状に応じて、適宜の
   開口端面を有する外周壁部材を選択して底壁部材
   に連結することを特徴とする真空成膜装置。 (3) 実用新案登録請求の範囲(1)記載の装置にお
   いて、上記ベルジヤー内に、真空排気系と連通す
   ると共に成膜材料設置部を内包する予備室用外周
   壁部材を設置し、該予備室用外周壁部材に設けた
   開口部にＯリングを介して基板を密着することを
   特徴とする真空成膜装置。