JPH02137041U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02137041U JPH02137041U JP4424289U JP4424289U JPH02137041U JP H02137041 U JPH02137041 U JP H02137041U JP 4424289 U JP4424289 U JP 4424289U JP 4424289 U JP4424289 U JP 4424289U JP H02137041 U JPH02137041 U JP H02137041U
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- JP
- Japan
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- wafer
- sides
- gas
- onto
- reaction
- Prior art date
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- Pending
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- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 1
- 238000001505 atmospheric-pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第1図はこの考案の一実施例を示す常圧CVD
装置の要部概念図、第2図は第1図の装置に用い
るトレーの斜視図であり、第3図はその側面図で
ある。第4図は従来の常圧CVD装置の概観図、
第5,6図はその装置に用いるトレーの斜視図、
側面図である。 1a,1b……ヘツドカバー、2a,2b……
ガスヘツド、3a,3b……ランプ、4……トレ
ー、5……ウエーハ、8……開孔。
装置の要部概念図、第2図は第1図の装置に用い
るトレーの斜視図であり、第3図はその側面図で
ある。第4図は従来の常圧CVD装置の概観図、
第5,6図はその装置に用いるトレーの斜視図、
側面図である。 1a,1b……ヘツドカバー、2a,2b……
ガスヘツド、3a,3b……ランプ、4……トレ
ー、5……ウエーハ、8……開孔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ウエーハへ反応ガスをガスヘツドにより吹き付
けて、加熱することにより、ウエーハにCVD反
応・成長による成膜処理をする装置において、 ウエーハの裏面を露出させて載置するトレーを
用いて、ウエーハの表・裏両面へ両側からガスを
吹き付けるガスヘツドと、両面を両側から加熱す
るランプとを具備することを特徴とする常圧CV
D装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4424289U JPH02137041U (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4424289U JPH02137041U (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02137041U true JPH02137041U (ja) | 1990-11-15 |
Family
ID=31557364
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4424289U Pending JPH02137041U (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02137041U (ja) |
-
1989
- 1989-04-14 JP JP4424289U patent/JPH02137041U/ja active Pending