JPS6151729U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6151729U JPS6151729U JP13624884U JP13624884U JPS6151729U JP S6151729 U JPS6151729 U JP S6151729U JP 13624884 U JP13624884 U JP 13624884U JP 13624884 U JP13624884 U JP 13624884U JP S6151729 U JPS6151729 U JP S6151729U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circumferential surface
- outer circumferential
- gas supply
- cylindrical
- inner circumferential
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Pipeline Systems (AREA)
Description
第1図は本考案に係る気相成長用ガス供給器の
実施例であつて気相成長装置内に配置した構成を
を示す正断面図、第2図は従来の気相成長用ガス
供給器であつて気相成長装置内に配置した構成を
示す正断面図である。 1,12…ガス供給器、2,10…反応室、3
…基板保持具、4,18…基板、5,13…ラン
プ、30…外周面、31…内周面。
実施例であつて気相成長装置内に配置した構成を
を示す正断面図、第2図は従来の気相成長用ガス
供給器であつて気相成長装置内に配置した構成を
示す正断面図である。 1,12…ガス供給器、2,10…反応室、3
…基板保持具、4,18…基板、5,13…ラン
プ、30…外周面、31…内周面。
Claims (1)
- 外周面を円筒状、内周面も円筒状とし、前記外
周面と内周面との間に袋状の空間を形成し、前記
外周面にガス供給口を設けたことを特徴とする気
相成長用ガス供給器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1984136248U JPH0526734Y2 (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1984136248U JPH0526734Y2 (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6151729U true JPS6151729U (ja) | 1986-04-07 |
JPH0526734Y2 JPH0526734Y2 (ja) | 1993-07-07 |
Family
ID=30694712
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1984136248U Expired - Lifetime JPH0526734Y2 (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0526734Y2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50124256U (ja) * | 1974-03-25 | 1975-10-11 |
-
1984
- 1984-09-10 JP JP1984136248U patent/JPH0526734Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50124256U (ja) * | 1974-03-25 | 1975-10-11 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0526734Y2 (ja) | 1993-07-07 |