JPH0217552U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0217552U JPH0217552U JP9549588U JP9549588U JPH0217552U JP H0217552 U JPH0217552 U JP H0217552U JP 9549588 U JP9549588 U JP 9549588U JP 9549588 U JP9549588 U JP 9549588U JP H0217552 U JPH0217552 U JP H0217552U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- jig
- workpiece
- thin film
- main body
- forming apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例の断面図、第２図
はその治具の部分斜視図、第３図は従来例の断面
図、第４図はその治具の部分斜視図である。 １……真空容器、２……治具、２ａ……治具本
体、３……被処理物、９……放射温度計、１０…
…ホルダ、１１……回転軸、１２……ヒータ。
はその治具の部分斜視図、第３図は従来例の断面
図、第４図はその治具の部分斜視図である。 １……真空容器、２……治具、２ａ……治具本
体、３……被処理物、９……放射温度計、１０…
…ホルダ、１１……回転軸、１２……ヒータ。
Claims (1)
- 真空容器内で細物の被処理物に薄膜を蒸着する
薄膜形成装置において、前記真空容器内に設置さ
れて前記被処理物を保持する治具を、筒形の治具
本体と、この治具本体の周壁の外面に開口して内
側へ突出し被処理物を収めるホルダとからなるも
のとし、前記治具本体の内部空間にヒータを配置
したことを特徴とする薄膜形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9549588U JPH0217552U (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9549588U JPH0217552U (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0217552U true JPH0217552U (ja) | 1990-02-05 |
Family
ID=31320163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9549588U Pending JPH0217552U (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0217552U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014507558A (ja) * | 2010-12-28 | 2014-03-27 | エリコン・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフト，トリュープバッハ | 穿孔ヘッドコーティング用ホールダ |
| WO2016156601A1 (de) * | 2015-04-02 | 2016-10-06 | Cemecon Ag | Chargierung von werkstücken in einer beschichtungsanlage |
-
1988
- 1988-07-19 JP JP9549588U patent/JPH0217552U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014507558A (ja) * | 2010-12-28 | 2014-03-27 | エリコン・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフト，トリュープバッハ | 穿孔ヘッドコーティング用ホールダ |
| WO2016156601A1 (de) * | 2015-04-02 | 2016-10-06 | Cemecon Ag | Chargierung von werkstücken in einer beschichtungsanlage |