JPH0248422Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、真空成膜装置に関し、詳しくは、ベ
ルジヤー内を真空引きした後に、蒸着やスパツタ
等の方法により基板に膜を形成する装置に関する
ものである。

従来の技術 従来、この種の装置においては、第６図に示す
ように、固定されたベルジヤー１内に真空成膜す
る基板２を挿入して後、ベルジヤー内を密閉して
いる。該密封後に、ベルジヤー１に接続した排気
装置４によりベルジヤー１内を真空引きし、電源
３をオンしてヒータ５を加熱し、該ヒータ５上の
成膜材料６を蒸発させ、基板２の表面に膜を形成
し、成膜後、基板２を取り出す所謂バツチ式また
はインライン式を採用している。

上記従来の方法では、基板全体をベルジヤー内
に挿入するため、大きな基板の一部に膜を設ける
場合、例えば、第１図に示すような、自動車用の
ミラー７の一部に雨センサー用の膜８を設ける場
合等では、膜を設ける必要の無い所は前以てマス
クを付け、膜を設ける所だけ露出させておかなけ
ればならず、手数がかかる問題があつた。また、
大きな基板全体をベルジヤー内に挿入するため、
ベルジヤーが大型化し、コスト高になると共に、
排気量、成膜材料も多くなる等の問題があつた。

考案の目的 本考案の目的は、上記した従来の問題を解消せ
んとするものであり、ベルジヤー内に基板を挿入
する代わりに、基板の膜を形成する部分の上に、
持ち運び可能とした小型のベルジヤーを設置して
膜を形成するようにし、特に、大型基板の一部に
膜を形成する場合に、手数およびコストの低減を
図るものである。

考案の構成 本考案は、ベルジヤーに接続した真空排気系に
より、ベルジヤー内を真空引きした後、ベルジヤ
ー内に設置している成膜材料を加熱して基板に膜
を形成する装置にして、 上記ベルジヤーは外周壁部材と底壁部材を着脱
自在に連結する分割式であつて、 上記底壁部材は、真空排気系と接続すると共に
加熱源と接続した成膜材料設置部を備え、 上記外周壁部材には、底壁部材側の開口部にフ
ランジを設け、該フランジに設けたシール溝内に
Ｏリングを挿入している一方、基板側の開口部に
平面あるいは曲面等の任意の形状のフランジを設
け、該フランジに刻設したシール溝内にＯリング
を挿入しており、 基板の形状に応じて、適宜の基板側の開口端面
を有する外周壁部材を選択し、その底壁部材側の
Ｏリング側を底壁部材に密着して外周壁部材と底
壁部材とを連結すると共に、該外周壁部材の基板
側の開口端面を上記Ｏリングを介して基板に密着
して該基板とベルジヤーにより密閉室を構成し、
該密閉室に露出している基板の部分にのみ膜を形
成することを特徴とするものである。

また、本考案は、真空引きに要する時間をでき
るだけ少なくするため、上記ベルジヤー内に、真
空排気系と連通すると共に加熱源と接続した成膜
材料設置部を内含する内容積が可能な限り小さい
予備室用外周壁部材を設置し、該予備室用外周壁
部材に設けた開口端面にＯリングを介して基板を
密着することを特徴とするものである。

実施例 以下、本考案を図面に示す実施例により詳細に
説明する。

第２図は、本考案の第１実施例を示し、ベルジ
ヤー１０を底壁部材２２と外周壁部材２３とより
分割して構成している。

外周壁部材２３は円筒状とし、その両端を開口
部２３ａ，２３ｂとして、両開口部の周縁にフラ
ンジ２３ｃ，２３ｄを突設している。一方のフラ
ンジ２３ｃは底壁部材２２とＯリング２４を介し
て着脱自在に連結している。他方のフランジ２３
ｄは平面あるいは第３図に示す如く曲面に形成し
ており、かつ、該フランジ２３ｄにＯリング２５
を挿入するシール溝２３ｅを刻設している。

上記底壁部材２２には、蒸着材料１３を載置す
る成膜材料設置部を構成するボード１２を取付け
ていると共に、該ボード１２に電流を送る加熱源
の電源１４を接続しており、また、真空排気系を
構成する排気管１５、バルブ１６および排気装置
１７を取り付けている。

上記装置において、膜を形成する基板２０の形
状に対応して、該形状に密着するフランジ２３ｄ
を有する外周壁部材２３を選択し、該外周壁部材
２３を底壁部材２２にＯリング２４を介して着脱
自在に連結している。即ち、基板２０が第２図に
示す如く平面の場合は、フランジ２３ｄが平面の
ものを用い、基板２０が第３図に示す如く曲面の
場合はフランジ２３ｄが湾曲したものを用い、基
板２０がベルジヤー１０の開口端面にＯリング２
５を密着し、ベルジヤー１０と基板２０とで密閉
室Ｒを構成するようにしている。

上記真空成膜装置による成膜作用を説明する
と、まず、ベルジヤー１０内のボート１２上に蒸
着材料１３をセツトすると共に、膜を形成する基
板２０（例えば、第１図に示す自動車用ミラー
７）を洗浄する。ついで、基板２０を蒸着すべき
洗浄面を下にして、且つ膜を形成する部分がベル
ジヤー１０の外周壁部材２３の開口部１０ｂに露
出するように位置決めし、基板２０を押接して、
開口端面のＯリング２５と基板２０とを密着させ
る。これにより、ベルジヤー１０と基板２０（ミ
ラー）とにより外界と隔離した密閉室Ｒを構成す
る。該状態とした後、排気装置１７を作動して上
記密閉室Ｒ内の真空引きを開始する。真空度を測
定しながら、真空度が蒸着作業条件に達したら、
ボード１２に電流を流し、ボード１２上の蒸着材
料１３を蒸発させて、基板２０の密閉室Ｒに露出
している面に膜を堆積させる。所定膜厚となつて
蒸着が終了すると、密閉室Ｒ内に空気を導入し、
真空を破つてから、基板２０をベルジヤー１０の
外周壁部材２３の開口端面より取り外す。

なお、密閉室Ｒ内を真空引きする際、基板２０
は気圧の圧力差により変形するようなものではい
けないが、ガラス板やある程度の板厚を有する金
属板の場合は全く問題はない。

上記したように、ベルジヤーを分割式として、
基板の形状に対応する開口端面を有する外周壁部
材を選択して用いると、あらゆる形状の基板に対
して使用することが出来る。

第４図は本考案の第２実施例を示し、膜を形成
する部分が極めて小さい場合に、ベルジヤーの内
容積を可能な限り小さくして、真空引きに要する
時間および蒸着材料１３の量などを出来るだけ少
なくするものである。即ち、ベルジヤー１０′内
に、予備室用外周壁部材３０を着脱自在に設置す
るものであり、該予備室用外周壁部材３０を底壁
部材２２に対して、ボード１２および真空排気系
の排気管を囲繞するように連結し、該予備室用外
周壁部材３０の他側に基板側密着用の開口部３０
ａを設け、該開口部３０ａにＯリング２５を介し
て基板２０を密着するようにしている。

第５図に示す第３実施例では、ベルジヤー１
０″は小型な円筒状で、底壁部材１０a″と外周壁
部１０″ｂとを一体に形成し、外周壁部１０″ｂの
先端を開口部１０″ｃとし、該開口端面１０″ｄに
Ｏリング１１を装着している。該ベルジヤー１
０″内には、底壁部材１０″ａよりボード１２を突
設し、該ボード上に蒸着材料１３を搭載しするよ
うにしており、該ボード１２に取り付けた電極
（図示せず）を電源１４と接続し、ボード１２に
電流を流して加熱することにより蒸着材料を蒸発
させるようにしている。また、外周壁部材１０″
ｂを排気管１５に接続し、バルブ１６を介して排
気装置１７と接続し、排気装置１７によりベルジ
ヤー１０″内を真空引きするようにしている。

効 果 以上の説明より明らかなように、本考案に係わ
る真空成膜装置によれば、ベルジヤーに設けた開
口部に、基板の膜を形成する部分をＯリングを介
して密着し、該開口部に露出する部分のみに膜を
形成するようにしているため、従来の如く基板全
体をベルジヤー内に挿入する必要がない。よつ
て、大型基板の一部に膜を形成する場合に、ベル
ジヤーを大型化しなくて良く、安価な装置で成膜
作業が可能となる。

上記ベルジヤーは外周壁部材の一端を底壁部材
と着脱自在に連結してなり、外周壁部材の基板側
の開口部には基板の形状に適合したフランジを設
けているため、成膜するフランジの凹凸等の形状
に適合した外周壁部材を選択して使用することに
より、ベルジヤーと基板の密着をより密にするこ
とができる。

また、ベルジヤーは小型化するため、持ち運び
が可能となり、作業の自由度が増す。

更に、ベルジヤーの内容積が小さくなるため、
蒸着材料、真空排気量の低減が図れると共に、洗
浄工程なども簡略化出来るなどの種々の効果を有
するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は膜を形成する基板となる自動車用ミラ
ーを示す斜視図、第２図は本考案の第１実施例を
示す断面図、第３図は第１実施例の変形例を示す
要部断面図、第４図は本考案の第２実施例を示す
断面図、第５図は本考案の第３実施例を示す斜視
図、第６図は従来例を示す概略図である。 １０，１０′，１０″……実施例、１１，２４，
２５……Ｏリング、１２……ボード、１３……蒸
着材料、１４……電源、１５……排気管、２０…
…基板、２１……膜、２２……底壁部材、２３…
…外周壁部材、Ｒ……密閉室。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ベルジヤーに接続した真空排気系により、ベ
   ルジヤー内を真空引きした後、ベルジヤー内に
   設置している成膜材料を加熱して基板に膜を形
   成する装置にして、 上記ベルジヤーは外周壁部材と底壁部材を着
   脱自在に連結する分割式であつて、 上記底壁部材は、真空排気系と接続すると共
   に加熱源と接続した成膜材料設置部を備え、 上記外周壁部材には、底壁部材側の開口部に
   フランジを設け、該フランジに設けたシール溝
   内にＯリングを挿入している一方、基板側の開
   口部に平面あるいは曲面等の任意の形状のフラ
   ンジを設け、該フランジに刻設したシール溝内
   にＯリングを挿入しており、 基板の形状に応じて、適宜の基板側の開口端
   面を有する外周壁部材を選択し、その底壁部材
   側のＯリング側を底壁部材に密着して外周壁部
   材と底壁部材とを連結すると共に、該外周壁部
   材の基板側の開口端面を上記Ｏリングを介して
   基板に密着して該基板とベルジヤーにより密閉
   室を構成し、該密閉室に露出している基板の部
   分にのみ膜を形成することを特徴とする真空成
   膜装置。 (2) 実用新案登録請求の範囲(1)記載の装置におい
   て、 上記ベルジヤー内に、真空排気系と連通する
   と共に加熱源と接続した成膜材料設置部を内含
   する予備室用外周壁部材を設置し、該予備室用
   外周壁部材に設けた開口端面にＯリングを介し
   て基板を密着することを特徴とする真空成膜装
   置。