JPH0165851U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0165851U JPH0165851U JP1987158953U JP15895387U JPH0165851U JP H0165851 U JPH0165851 U JP H0165851U JP 1987158953 U JP1987158953 U JP 1987158953U JP 15895387 U JP15895387 U JP 15895387U JP H0165851 U JPH0165851 U JP H0165851U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporation source
- substrate
- vacuum
- chamber
- evaporation
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 8
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 8
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す蒸着装置の縦断
側面図、第２図は従来例を示す蒸着装置の縦断側
面図である。 １１……真空槽、１２……蒸発源、１３……蒸
発源、１４……基板ホルダ、１５……基板、１６
……冷却器、１７……隔壁、１８……ゲートバル
ブ、１９……蒸発源室、２０……基板室。
側面図、第２図は従来例を示す蒸着装置の縦断側
面図である。 １１……真空槽、１２……蒸発源、１３……蒸
発源、１４……基板ホルダ、１５……基板、１６
……冷却器、１７……隔壁、１８……ゲートバル
ブ、１９……蒸発源室、２０……基板室。
Claims (1)
- 真空槽内に蒸発源と、この蒸発源へ向けて基板
を装着する基板ホルダとを配置した真空蒸着装置
に於て、真空槽を蒸発源が配置された蒸発源室と
、基板ホルダが配置される基板室との上下に区画
し、その間の隔壁に前記蒸発源から前記基板ホル
ダに装着された基板に至る蒸気の照射経路を開閉
するゲートバルブを設けて成ることを特徴とする
真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987158953U JPH0165851U (ja) | 1987-10-17 | 1987-10-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987158953U JPH0165851U (ja) | 1987-10-17 | 1987-10-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0165851U true JPH0165851U (ja) | 1989-04-27 |
Family
ID=31439736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987158953U Pending JPH0165851U (ja) | 1987-10-17 | 1987-10-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0165851U (ja) |
-
1987
- 1987-10-17 JP JP1987158953U patent/JPH0165851U/ja active Pending